一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台，包括顶板、减振腿和底座，所述减振腿为六条相互垂直、相互相连，所述减振腿与顶板底部通过铰链连接，所述减振腿底部与安装座通过铰链连接，所述安装座固定在底座顶部，所述顶板底部中间安装有球形铰链，所述球形铰链底部连接有压电驱动器，所述压电驱动器底部安装在底座顶部中间，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。本实用新型专利技术整体结构紧凑，占地空间小，承载能力强，固有频率可降到0.5Hz，通过金属弹簧与音圈电机组合的减振腿扩大了系统的隔振带，可现实0.5~500Hz的隔振要求。可现实0.5~500Hz的隔振要求。可现实0.5~500Hz的隔振要求。

【技术实现步骤摘要】
一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]Stewart平台是1965年由美国学者提出的，经过多年发展Stewart平台在工程领域有着广泛的应用。现有Stewart平台应承重能力不够，无法满足重型精密仪器的承重要求。且现有Stewart平台的工作空间有限，隔振带宽较窄，无法满足复杂的工作环境，极大地限制了Stewart平台的用途。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台，包括顶板、减振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于Stewart结构的大负载主被动防微振平台，包括顶板、减振腿和底座，其特征在于，所述减振腿为六条相互垂直、相互相连，所述减振腿与顶板底部通过铰链连接，所述减振腿底部与安装座通过铰链连接，所述安装座固定在底座顶部，所述顶板底部中间安装有球形铰链，所述球形铰链底部连接有压电驱动器，所述压电驱动器底部安装在底座顶部中间，所述减振腿包括外壳、推杆和支撑杆，所述外壳焊接在支撑腿内侧壁上，所述外壳顶部开设有通孔，所述推杆插入通孔，所述推杆顶部与顶板底部连接，所述推杆底部连接有支撑板，所述推杆的外侧套装有金属弹簧，所述金属弹簧的顶部与外壳的顶部内侧连接固定，所述金属弹簧的底部与支撑板的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，孙乐，胡振军，刘国东，
申请(专利权)人：大连地拓重工有限公司，
类型：新型
国别省市：