一种高温纯化设备的气罩分气盘系统技术方案

本发明专利技术涉及纯化设备技术领域，尤其是一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，针对存在的技术问题，现提出以下方案，包括基座和设于基座内的分气盘机构、载物机构，所述载物机构位于分气盘机构的上方，且载物机构和分气盘机构均水平设置，所述分气盘机构的底端设有注气法兰，且分气盘机构的内部设有气道，所述气道呈雪花状结构。该高温纯化设备的气罩分气盘系统，采用独特的气道结构，可有效的降低气道阻力，有利于纯化气体在气罩内部扩散，可使气体较为均匀且全面的垂直吹至载物托盘，载物托盘动态调节，可绕着定铅锤线动态转动调节，带动载物托盘始终维持动态水平状态，可以提高纯化气体通过物料的纯化效果。气体通过物料的纯化效果。气体通过物料的纯化效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高温纯化设备的气罩分气盘系统


[0001]本专利技术属于纯化设备
，具体涉及一种高温纯化设备的气罩分气盘系统。

技术介绍

[0002]高温纯化设备属于真空热工设备，它采用先进的高温纯化技术，通过超高温(≥2200℃)真空气氛及氟利昂气体使石墨、硬质炭毡、石墨粉等材料中的杂质元素蒸发或生成低熔点的氯化物排除出产品本身之外达到纯化的目的，这些提纯后的物料又是生产三代半导体材料的基础材料。
[0003]我国高温纯化设备起步较晚，但得益于近几年高纯石墨、粉体和碳毡行业强劲的需求拉动，高温纯化技术也取得了飞速发展；但目前国内高温纯化设备纯化后的物料纯度不稳定，并且纯化水平一般在5N左右，与国外设备有一定的差距；
[0004]对于高温纯化设备而言，纯化气体的气罩分气盘系统设计对于提纯效果有很大的影响，一个好的气罩分气盘系统设计可以提高物料的纯化效果。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单，设计合理的高温纯化设备的气罩分气盘系统。
[0006]本专利技术通过以下技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，包括基座(100)和设于基座(100)内的分气盘机构(200)、载物机构(300)，其特征在于：所述载物机构(300)位于分气盘机构(200)的上方，且载物机构(300)和分气盘机构(200)均水平设置；所述分气盘机构(200)的底端设有注气法兰(240)，且分气盘机构(200)的内部设有气道(250)，所述气道(250)呈雪花状结构，分气盘结构位于气道(250)的上表面设有气孔(220)；所述载物机构(300)的中部设有透气膜(500)，且高温纯化设备所需纯化材料摊铺在透气膜(500)上表面，所述分气盘机构(200)通过注气法兰(240)注入纯化气体，并通过气道(250)和气孔(220)出气，对透气膜(500)上摊铺的纯化材料进行纯化作业。2.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述分气盘机构(200)还包括盘体(210)，盘体(210)的竖截面呈“工”字型结构，盘体(210)的外壁卡接有密封圈(230)，密封圈(230)抵靠在基座(100)的内壁上。3.根据权利要求1所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述基座(100)的底端内边分布有若干个支撑单元(320)，且载物机构(300)安装在若干个支撑单元(320)的内部。4.根据权利要求3所述的一种高温纯化设备的气罩分气盘系统，其特征在于：所述支撑单元(320)包括穿杆(321)、下托片(322)、上托片(323)和支撑弹簧(324)，所述支撑弹簧(324)、下托片(322)和上托片(323)均套设于穿杆(321)的外壁上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：单立国，曹殿学，陈思羽，袁绪龙，
申请(专利权)人：黑龙江省华升石墨集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：