热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质制造方法及图纸

本申请公开了一种热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质。热发射电子源包括阳极、阴极和栅极，栅极位于阳极和阴极之间，栅极的电压根据发射电压和预设映射关系调整，其中，预设映射关系表示发射电压和栅极的电压的对应关系，发射电压包括阳极的电压与阴极的电压之间的电压差。本申请实施方式的热发射电子源，能够根据发射电压，调整栅极的电压至与发射电压相适应的值，从而使得束流较小的同时，保障电子束的亮度，降低电子束相互作用引起的能散，降低空间电荷效应对电子束亮度的影响，平衡电子束的亮度和能散，优化了各种发射电压下的分辨率和信噪比。电压下的分辨率和信噪比。电压下的分辨率和信噪比。

【技术实现步骤摘要】
热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质


[0001]本申请涉及扫描电镜
，尤其涉及一种热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质。

技术介绍

[0002]扫描电镜的电子源根据发射机制不同可分为热发射电子源和场发射电子源。热发射电子源的特点是亮度不及场发射电子源，但发射条件要求不高，成本较低。热发射电子源一般为三极构型：阴极、阳极、栅极。栅极起到会聚电子束和调节电流大小的作用。经典的热发射电子源的栅极电压多为串联大电阻进行自反馈调节，缺乏反馈调节的自由度。这使得在中低电压条件工作时，亮度由于空间电荷效应的影响将有很大损失，又或者束流过大而导致能散增大，进而影响了中低压条件下的最佳分辨率和信噪比，未达到最佳成像质量。

技术实现思路

[0003]本申请提供一种热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质。
[0004]本申请实施方式的用于扫描电镜的热发射电子源包括阳极、阴极和栅极，所述栅极位于所述阳极和所述阴极之间，所述栅极的电压根据发射电压和预设映射关系调整，其中，所述预设映射关系表示所述发射电压和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热发射电子源，用于扫描电镜，其特征在于，所述热发射电子源包括阳极、阴极和栅极，所述栅极位于所述阳极和所述阴极之间，所述栅极的电压根据发射电压和预设映射关系调整，其中，所述预设映射关系表示所述发射电压和所述栅极的电压的对应关系，所述发射电压包括所述阳极的电压与所述阴极的电压之间的电压差。2.根据权利要求1所述的热发射电子源，其特征在于，所述热发射电子源还包括中间极，所述中间极位于所述栅极与所述阳极之间，所述阴极发出的电子束依次穿过所述栅极、所述中间极以及所述阳极，所述发射电压包括所述中间极的电压与所述电压差之和。3.根据权利要求2所述的热发射电子源，其特征在于，所述中间极具有10kV的正电位。4.根据权利要求2所述的热发射电子源，其特征在于，所述中间极和所述阳极之间形成减速场。5.根据权利要求1所述的热发射电子源，其特征在于，所述阳极接地，所述阴极与负高压电源连接。6.根据权利要求1所述的热发射电子源，...

【专利技术属性】
技术研发人员：阴达，孙斌，张伟，唐骐杰，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：发明
国别省市：