一种真空烧结炉用石墨承烧底板制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空烧结炉用石墨承烧底板，包括：第一平板；第二平板，与所述第一平板相互平行；支撑架，位于所述第一平板与所述第二平板之间，用于支撑、固定所述第一平板和所述第二平板，由相互垂直交错设置的固定板组成，所述固定板垂直于所述第一平板和所述第二平板设置。本实用新型专利技术提供的真空烧结炉用石墨承烧底板，在承载样品的情况下依然保持优异的平面精度，可以满足大尺寸碳化硅陶瓷部件微小变形烧结的要求。小变形烧结的要求。小变形烧结的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种真空烧结炉用石墨承烧底板


[0001]本技术属于真空热工装备
，尤其涉及一种真空烧结炉用石墨承烧底板。

技术介绍

[0002]碳化硅陶瓷光学部件的烧结制备离不开真空热工装备。常压烧结碳化硅陶瓷的烧结温度要超过2000℃，其烧结致密化过程伴随着较大线收缩，因此大尺寸碳化硅陶瓷的高质量烧结要求承烧底板具备良好的平面精度和抗弯刚度，特别是针对米量级陶瓷部件烧结所需的石墨承烧底板，而现实中高致密石墨通常经过等静压成型制得，其石墨原料往往是长柱状石墨体，无法加工出满足尺寸要求的单块石墨承烧板，因此开发一种真空烧结炉用承烧底板具有重要的现实意义。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种真空烧结炉用石墨承烧底板，尤其适用于大型真空烧结炉，以满足大尺寸碳化硅陶瓷部件高质量烧结的制备需求。
[0004]本技术是通过以下技术方案实现的，本技术提供一种真空烧结炉用石墨承烧底板，包括：
[0005]第一平板；
[0006]第二平板，与所述第一平板相互平行；
[0007]支撑架，位于所述第一平板与所述第二平板之间，用于支撑、固定所述第一平板和所述第二平板，由相互垂直交错设置的固定板组成，所述固定板垂直于所述第一平板和所述第二平板设置。
[0008]优选地，所述第一平板、第二平板和支撑架的材质均为石墨。
[0009]优选地，所述第一平板的形状选自正方形、长方形或圆形。
[0010]优选地，所述第一平板由多块长条板状第一子板拼接而成，所述第二平板由多块长条板状第二子板拼接而成；所述第一子板与所述第二子板的延伸方向相互垂直。
[0011]优选地，还包括用于固定所述第一平板和第二平板的数个紧固件，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓垂直穿过所述第一平板和第二平板，所述螺母套在所述螺栓上、并锁紧所述第一平板和第二平板。
[0012]优选地，所述紧固件的材质为石墨或碳碳复合材料。
[0013]优选地，所述第一平板的厚度为5
‑
100mm，优选为10
‑
30mm。
[0014]优选地，所述第二平板的厚度为5
‑
100mm，优选为10
‑
30mm。
[0015]优选地，所述支撑架的高度为0
‑
400mm，优选为150
‑
250mm；所述支撑架的厚度为 0
‑
40mm，优选为15
‑
25mm。
[0016]针对目前常压烧结碳化硅陶瓷部件尺寸需求越来越大的趋势，同时其在烧结致密化过程伴随有较大的线收缩，要求石墨承烧底板具备优异的抗弯刚度和平面精度，石墨承
烧底板的整体性能直接决定碳化硅陶瓷部件的烧结质量。首先，本专利技术采用石墨支撑架的设计思路，通过石墨固定板相互交错榫卯连接的结构形式，有效地增加了承烧底板的抗弯截面模量和惯性矩，使得石墨承烧底板的抗弯刚度获得大幅提升。其次，第一、二石墨平板均为板状子石墨板组成，拼接后能够满足承烧底板的尺寸要求，装配好的石墨承烧底板上表面经研磨后可获得高平面精度，保证大尺寸样品烧结过程的平面精度要求。最后，由石墨平板与石墨支撑架组成的三层夹心结构由紧固件固定后，使石墨承烧底板在承载样品的情况下依然保持优异的平面精度，满足大尺寸碳化硅陶瓷部件微小变形烧结的要求。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0018]本技术提供的真空烧结炉用石墨承烧底板，在承载样品的情况下依然保持优异的平面精度，可以满足大尺寸碳化硅陶瓷部件微小变形烧结的要求。
附图说明
[0019]图1为本技术涉及的一种真空烧结炉用石墨承烧底板的结构示意图。
[0020]图2为本技术涉及的一种真空烧结炉用石墨承烧底板的一具体实施例的结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]1‑
第一石墨平板；
[0023]11
‑
第一平板子石墨板；
[0024]12
‑
第一平板阶梯安装孔；
[0025]2‑
石墨支撑桁架；
[0026]21
‑
石墨筋板；
[0027]3‑
第二石墨平板；
[0028]31
‑
第二平板子石墨板；
[0029]32
‑
第二平板安装孔；
[0030]4‑
紧固件；
[0031]41
‑
紧固螺栓；
[0032]42
‑
螺母。
具体实施方式
[0033]以下结合附图和下述实施方式进一步说明本技术，应理解，附图和下述实施方式仅用于说明本技术，而非限制本技术。
[0034]如图1、图2所示，本技术提供一种大型真空烧结炉用石墨承烧底板，包括第一石墨平板1、石墨支撑桁架2、第二石墨平板3和紧固件4，所述的石墨支撑桁架2由相互交错设置的石墨筋板21榫卯连接而成，并置于第一石墨平板1和第二石墨平板2之间。
[0035]如图2所示，第一石墨平板1由多块板状子石墨板11拼接而成，多块子石墨板11依次首尾对齐后水平放置，并在子石墨板11上设置用于紧固件4固定用的阶梯安装孔12。
[0036]如图2所示，石墨支撑桁架2由多根石墨支撑筋板21组成，石墨支撑筋板21之间呈直角或菱形布置且通过榫卯结构实现相互连接，组装好的支撑桁架2放置在第一石墨平板1 上，支撑桁架2的外形尺寸与第一石墨平板1一致。
[0037]如图2所示，第二石墨平板3由多块长板状子石墨板31拼接而成，多块子石墨板31 依次首尾对齐后水平放置，第二子石墨板31的长度延伸方向与第一子石墨板11的长度延伸方向基本垂直，第二石墨平板3设置在石墨支撑桁2上，同时在子石墨板31上设置用于紧固件固定用的安装孔32。
[0038]如图2所示，组装好的石墨承烧底板通过紧固件4依次紧固连接，其中紧固螺栓41 从上往下依次穿过第二石墨平板的阶梯安装孔32、石墨支撑桁架2、第一石墨平板的安装孔 12后，每根紧固螺栓41通过上下两个螺母42紧固连接。在本技术的一个优选实施方式中，紧固螺栓41上表面低于第二石墨平板2的上表面，以保证样品在石墨承烧底板上顺利进出。
[0039]实施例1
[0040]本实施例提供一种真空烧结区间为2000mm
×
2000mm的石墨承烧底板，以满足大尺寸碳化硅陶瓷部件高温烧结用石墨承烧底板结构。
[0041](1)采用4块2000mm
×
500mm
×
20mm的长板状子石墨块11，子石墨块11的首尾依次对齐后水平放置，组装成2000mm
×
2000mm
×
20mm的正方形第一石墨平板1，并在厚度方向等间距加工Φ20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空烧结炉用石墨承烧底板，其特征在于，包括：第一平板；第二平板，与所述第一平板相互平行；支撑架，位于所述第一平板与所述第二平板之间，用于支撑、固定所述第一平板和所述第二平板，由相互垂直交错设置的固定板组成，所述固定板垂直于所述第一平板和所述第二平板设置；所述第一平板由多块长条板状第一子板拼接而成，所述第二平板由多块长条板状第二子板拼接而成；所述第一子板与所述第二子板的延伸方向相互垂直。2.根据权利要求1所述的真空烧结炉用石墨承烧底板，其特征在于，所述第一平板、第二平板和支撑架的材质均为石墨。3.根据权利要求1所述的真空烧结炉用石墨承烧底板，其特征在于，所述第一平板的形状选自正方形、长方形或圆形。4.根据权利要求1所述的真空烧结炉用石墨承烧底板，其特征在于，还包括用于固定所述第一平板和第二平板的数个紧固件，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓垂直穿过所述第一平板和第二平板，所述螺母套在所述螺栓上、并锁紧所述第一平板和第二平板。5.根据权利要求4所述的真空烧结炉用石墨承烧底板，其特征在于，所述紧固件的材质为石墨或碳碳复合材料。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘雷敏，刘岩，孙安乐，陈忠明，姚秀敏，刘学建，黄政仁，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：新型
国别省市：