一种便于观察防泄气的氮气罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于观察防泄气的氮气罩，包括设置的氮气罩本体，且氮气罩本体设置为筒状结构，并且氮气罩本体的两端分别通过连接法兰与喷头和输送管相连接，而且喷头用于喷射硅烷气体，同时输送管用于输送氮气；还包括：所述氮气罩本体与喷头和输送管的对接处的外侧均安装有防护框，且防护框的外侧轴连接有风扇，并且风扇的端部连接有敲击杆；所述防护框的外侧安装有固定金属板，且固定金属板的侧面铰接有活动金属板；所述防护框与喷头和输送管的连接处均通过第一密封垫和第二密封垫进行贴合密封处理。该便于观察防泄气的氮气罩，能够在氮气罩泄气时通过金属板的敲击响声来对工作人员进行及时的警示。来对工作人员进行及时的警示。来对工作人员进行及时的警示。

【技术实现步骤摘要】
一种便于观察防泄气的氮气罩


[0001]本技术涉及氮气罩生产
，具体为一种便于观察防泄气的氮气罩。

技术介绍

[0002]在对半导体硅抛光片进行加工时，有一道重要的加工背封工艺，是将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离，适当的气体配合适当的温度在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜，在生产过程中为保证工艺质量，要通过氮气罩，均匀地通入氮气，将易燃易爆的硅烷气体与大气进行隔离，并将反应的残余气体通过排风带走，然而现有的氮气罩在使用的过程中还存在以下问题：
[0003]现有的氮气罩，一般在与相应的喷头与管道进行密封连接后，就可以直接进行使用，而当连接处出现漏气时，不易察觉，进而会造成一定的安全隐患，从而需要进行防泄气警示处理，同时防泄气结构与其他部件连接部分需要紧密贴合。
[0004]所以我们提出了一种便于观察防泄气的氮气罩，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种便于观察防泄气的氮气罩，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上现有的氮气罩不便于进行防泄气警示处理的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于观察防泄气的氮气罩，包括设置的氮气罩本体，且氮气罩本体设置为筒状结构，并且氮气罩本体的两端分别通过连接法兰与喷头和输送管相连接，而且喷头用于喷射硅烷气体，同时输送管用于输送氮气；
[0007]还包括：
[0008]所述氮气罩本体与喷头和输送管的对接处的外侧均安装有防护框，且防护框的外侧轴连接有风扇，并且风扇的端部连接有敲击杆；
[0009]所述防护框的外侧安装有固定金属板，且固定金属板的侧面铰接有活动金属板；
[0010]所述防护框与喷头和输送管的连接处均通过第一密封垫和第二密封垫进行贴合密封处理。
[0011]优选的，所述防护框设置为矩形框体，且防护框的左右两侧中部连接处均预留有安装孔，并且防护框的连接处固定有第一密封垫，而且第一密封垫与第二密封垫贴合连接，同时第二密封垫套设于喷头和输送管的外侧，使得第一密封垫与第二密封垫可以对喷头和输送管与防护框之间进行贴合密封处理。
[0012]优选的，所述第一密封垫和第二密封垫均设置为中空的梯台状结构，且第一密封垫和第二密封垫呈凹凸配合，并且第二密封垫的外侧中部安装有卡环，而且卡环连接于凹槽中，同时凹槽开设于第一密封垫的侧壁上，使得第一密封垫与第二密封垫对接后，会经过卡环与凹槽进行加固，提高对接的稳定性。
[0013]优选的，所述防护框的侧壁上对称开设有通孔，且通孔中安装有单向阀，并且单向
阀的流向为只出不进，而且通孔的外侧与风扇的扇叶位置相对设置，使得氮气罩的连接处发生漏气时，气体就会经过通孔和单向阀后向外侧排出，从而对扇叶进行吹动。
[0014]优选的，所述风扇通过通孔中的气流进行转动，且风扇带动敲击杆同步转动，并且敲击杆与风扇为偏心连接，而且敲击杆与外侧的活动金属板转动抵接，使得扇叶被吹动的进行转动后，就会带动端部的敲击杆进行同步转动，敲击杆转动后就会对活动金属板进行间歇性的抵接推动。
[0015]优选的，所述活动金属板与固定金属板之间安装有扭簧，且活动金属板通过敲击杆与扭簧与固定金属板之间构成敲击警示结构，使得活动金属板被推动后就会对扭簧进行反转，从而与固定金属板进行撞击，从而发出响声。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1、该便于观察防泄气的氮气罩，通过设置的防护框安装在氮气罩本体与喷头和输送管的接头处，当接头处出现泄气时，防护框内部的气体就会从通孔向外侧进行活动，经过单向阀后排放至防护框的外部，而气体排放时会对风扇的扇叶进行吹动，进而使得风扇进行转动，风扇转动后就会带动端部固定的敲击杆进行同步转动，敲击杆转动后就会对外侧的活动金属板进行抵接，从而使得活动金属板绕铰接点转动，进而对扭簧进行反转，而后就会与固定金属板进行撞击，从而就会发出响声，从而对人们进行提醒，使得工作人员及时对连接处进行密封处理；
[0018]2、该便于观察防泄气的氮气罩，防护框进行安装时，将第二密封垫套在氮气罩本体、喷头和输送管的外侧，而后再将防护框套设在对接接头处，而后防护框上的第一密封垫就会与第二密封垫进行凹凸配合的贴合，且第二密封垫上的卡环就会与第一密封垫上的凹槽进行对接，从而使得防护框的部件的连接处紧密贴合，密封良好。
附图说明
[0019]图1为本技术整体正剖结构示意图；
[0020]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0021]图3为本技术第一密封垫与第二密封垫连接结构示意图；
[0022]图4为本技术图1中B处放大结构示意图；
[0023]图5为本技术敲击杆、固定金属板与活动金属板后视结构示意图。
[0024]图中：1、氮气罩本体；2、连接法兰；3、喷头；4、输送管；5、防护框；6、第一密封垫；7、第二密封垫；8、卡环；9、凹槽；10、通孔；11、单向阀；12、风扇；13、敲击杆；14、固定金属板；15、活动金属板；16、扭簧。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种便于观察防泄气的氮气罩，包括设置的氮气罩本体1，且氮气罩本体1设置为筒状结构，并且氮气罩本体1的两端分别通过
连接法兰2与喷头3和输送管4相连接，而且喷头3用于喷射硅烷气体，同时输送管4用于输送氮气，如图1所示，首先，在使用时，将喷头3和输送管4分别通过连接法兰2与氮气罩本体1进行对接固定，而后加工时，喷头3喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过输送管4喷出氮气，使之与大气进行隔离，并且会在喷头3和输送管4与氮气罩本体1的对接处外侧安装有防护框5；
[0027]还包括：防护框5与喷头3和输送管4的连接处均通过第一密封垫6和第二密封垫7进行贴合密封处理，防护框5设置为矩形框体，且防护框5的左右两侧中部连接处均预留有安装孔，并且防护框5的连接处固定有第一密封垫6，而且第一密封垫6与第二密封垫7贴合连接，同时第二密封垫7套设于喷头3和输送管4的外侧，第一密封垫6和第二密封垫7均设置为中空的梯台状结构，且第一密封垫6和第二密封垫7呈凹凸配合，并且第二密封垫7的外侧中部安装有卡环8，而且卡环8连接于凹槽9中，同时凹槽9开设于第一密封垫6的侧壁上，如图2
‑
3所示，当防护框5进行安装时，先将第二密封垫7分别安装在氮气罩本体1、喷头3和输送管4的外侧，然本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于观察防泄气的氮气罩，包括设置的氮气罩本体（1），且氮气罩本体（1）设置为筒状结构，并且氮气罩本体（1）的两端分别通过连接法兰（2）与喷头（3）和输送管（4）相连接，而且喷头（3）用于喷射硅烷气体，同时输送管（4）用于输送氮气；其特征在于：还包括：所述氮气罩本体（1）与喷头（3）和输送管（4）的对接处的外侧均安装有防护框（5），且防护框（5）的外侧轴连接有风扇（12），并且风扇（12）的端部连接有敲击杆（13）；所述防护框（5）的外侧安装有固定金属板（14），且固定金属板（14）的侧面铰接有活动金属板（15）；所述防护框（5）与喷头（3）和输送管（4）的连接处均通过第一密封垫（6）和第二密封垫（7）进行贴合密封处理。2.根据权利要求1所述的一种便于观察防泄气的氮气罩，其特征在于：所述防护框（5）设置为矩形框体，且防护框（5）的左右两侧中部连接处均预留有安装孔，并且防护框（5）的连接处固定有第一密封垫（6），而且第一密封垫（6）与第二密封垫（7）贴合连接，同时第二密封垫（7）套设于喷头（3）和输送管（4）的外侧。3.根据权利要求1所述的一种便于观察防泄气的氮气罩，...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘国军，李霖，
申请(专利权)人：江苏钛斯鼎电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：