本实用新型专利技术公开了一种基于视觉检测的半导体检测装置，包括工作板台和定位机构；工作板台：其底面设有支架，工作板台的上表面后端设有力臂，力臂的前侧底面设有方槽，方槽的内部滑动连接有方杆，方杆的下端设有摄像头，方槽内部顶壁设置的圆孔内转动连接有第一丝杆，第一丝杆的下端与方杆中部设置的螺孔螺纹连接，工作板台的底面设有调节机构，调节机构的上端与第一丝杆的上端均设有同步轮，两个同步轮之间通过同步带传动连接，力臂的后端设有与调节机构配合的避让孔，该基于视觉检测的半导体检测装置，方便半导体的快速进行定位夹持，方便工作人员快速对半导体的外观进行目检，大大提高检测的效率。大提高检测的效率。大提高检测的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种基于视觉检测的半导体检测装置
[0001]本技术涉及半导体检测
，具体为一种基于视觉检测的半导体检测装置。
技术介绍
[0002]半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求，如几何尺寸与表面形貌的检测：半导体晶片、外延层、介质膜、金属膜，以及多晶硅膜等的厚度，杂质扩散层和离子注入层以及腐蚀沟槽等的深度，双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑等，这种外貌检测通常是通过投影仪进行目检，而现有的一些目检设备在使用时，大多是直接将半导体放置至检测区域，然后在对半导体位置进行调整检测，这种检测装置，在检测时，需要对半导体进行多次调整，检测不够方便，而且检测效率较低，为此，我们提出了一种基于视觉检测的半导体检测装置。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种基于视觉检测的半导体检测装置，方便半导体的快速进行定位夹持，方便工作人员快速对半导体的外观进行目检，使用更加方便，大大提高检测的效率，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于视觉检测的半导体检测装置，包括工作板台和定位机构；
[0005]工作板台：其底面设有支架，工作板台的上表面后端设有力臂，力臂的前侧底面设有方槽，方槽的内部滑动连接有方杆，方杆的下端设有摄像头，方槽内部顶壁设置的圆孔内转动连接有第一丝杆，第一丝杆的下端与方杆中部设置的螺孔螺纹连接，工作板台的底面设有调节机构，调节机构的上端与第一丝杆的上端均设有同步轮，两个同步轮之间通过同步带传动连接，力臂的后端设有与调节机构配合的避让孔，力臂的前侧设有显示屏；
[0006]定位机构：设置于工作板台的中部；
[0007]其中：所述工作板台的底面设有控制器，控制器的输入端电连接外部电源，摄像头的输出端电连接控制器的输入端，显示屏的输入端电连接控制器的输出端，方便半导体的快速进行定位夹持，方便工作人员快速对半导体的外观进行目检，使用更加方便，大大提高检测的效率。
[0008]进一步的，所述调节机构包括转轴、第一锥齿轮、驱动轴和第二锥齿轮，所述转轴转动连接于工作板台的后端中部，转轴的上端穿过力臂后端的避让孔并在上端与后侧的同步轮固定连接，转轴的下端设有第一锥齿轮，工作板台底面设置的安装板下端通口内转动连接有驱动轴，驱动轴后端设置的第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，方便对摄像头的高
度进行调整。
[0009]进一步的，所述力臂的前侧面下端设有LED灯，LED灯的输入端电连接控制器的输出端，为检测提供照明。
[0010]进一步的，所述定位机构包括条形槽、连接条、T型杆和第二丝杆，所述条形槽均匀设置于工作板台的中部，四个条形槽的内部均滑动连接有T型杆，纵向对应的两个T型杆下端均与连接条固定连接，工作板台底面左右对称设置的两个侧板之间转动连接有第二丝杆，两个连接条的中部均设置有与第二丝杆螺纹连接的螺纹孔，方便半导体的快速定位夹持。
[0011]进一步的，所述第二丝杆左右两端的螺纹方向相反，方便控制连接条的移动方向。
[0012]进一步的，所述T型杆外侧面上端设置的凹槽内均设有弹簧，纵向对应的两个弹簧外侧端头均与夹板固定连接，对夹板起到弹性支撑作用。
[0013]进一步的，所述工作板台的上表面中部后端设有与夹板配合的定位板，对半导体的后端起到限位作用。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本基于视觉检测的半导体检测装置，具有以下好处：
[0015]1、转动第二丝杆，由于第二丝杆左右两端的螺纹方向相反，从而使与第二丝杆螺纹连接的两个连接条同步反向移动，进而带动T型杆沿条形槽滑动，对两个夹板的间距进行调整，当两个夹板的间距调整至合适位置后，将半导体放入两个夹板之间，并使半导体的后端与定位板接触，此时弹簧对夹板起到弹性支撑作用，从而在弹簧的弹力作用下使夹板对半导体进行定位夹持，便于后续对半导体进行检测，大大提高检测的效率。
[0016]2、转动驱动轴，通过第一锥齿轮和第二锥齿轮的啮合带动转轴转动，通过同步轮和同步带带动第一丝杆转动，进而使与第一丝杆螺纹连接的方杆沿力臂前侧的方槽竖向滑动，对摄像头的高度进行调整，同时摄像头采集半导体的图像信息，图像放大一定倍数后通过显示屏进行显示，方便工作人员快速对半导体的外观进行目检，使用更加方便。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术定位机构的局部剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术左侧剖视结构示意图。
[0020]图中：1工作板台、2调节机构、21转轴、22第一锥齿轮、23驱动轴、24第二锥齿轮、3支架、4力臂、5方槽、6方杆、7摄像头、8第一丝杆、9定位机构、91条形槽、92连接条、93T型杆、94弹簧、95夹板、96第二丝杆、10定位板、11显示屏、12LED灯、13同步轮、14同步带、15控制器。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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3，本实施例提供一种技术方案：一种基于视觉检测的半导体检测装置，包括工作板台1和定位机构9；
[0023]工作板台1：其底面设有支架3，工作板台1的上表面后端设有力臂4，力臂4的前侧底面设有方槽5，方槽5的内部滑动连接有方杆6，方杆6的下端设有摄像头7，方槽5内部顶壁设置的圆孔内转动连接有第一丝杆8，第一丝杆8的下端与方杆6中部设置的螺孔螺纹连接，工作板台1的底面设有调节机构2，调节机构2的上端与第一丝杆8的上端均设有同步轮13，两个同步轮13之间通过同步带14传动连接，力臂4的后端设有与调节机构2配合的避让孔，力臂4的前侧设有显示屏11，调节机构2包括转轴21、第一锥齿轮22、驱动轴23和第二锥齿轮24，转轴21转动连接于工作板台1的后端中部，转轴21的上端穿过力臂4后端的避让孔并在上端与后侧的同步轮13固定连接，转轴21的下端设有第一锥齿轮22，工作板台1底面设置的安装板下端通口内转动连接有驱动轴23，驱动轴23后端设置的第二锥齿轮24与第一锥齿轮22啮合连接，转动驱动轴23，通过第一锥齿轮22和第二锥齿轮24的啮合带动转轴21转动，通过同步轮13和同步带14带动第一丝杆8转动，进而使与第一丝杆8螺纹连接的方杆6沿力臂4前侧的方槽5竖向滑动，对摄像头7的高度进行调整，同时摄像头7采集半本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于视觉检测的半导体检测装置，其特征在于：包括工作板台(1)和定位机构(9)；工作板台(1)：其底面设有支架(3)，工作板台(1)的上表面后端设有力臂(4)，力臂(4)的前侧底面设有方槽(5)，方槽(5)的内部滑动连接有方杆(6)，方杆(6)的下端设有摄像头(7)，方槽(5)内部顶壁设置的圆孔内转动连接有第一丝杆(8)，第一丝杆(8)的下端与方杆(6)中部设置的螺孔螺纹连接，工作板台(1)的底面设有调节机构(2)，调节机构(2)的上端与第一丝杆(8)的上端均设有同步轮(13)，两个同步轮(13)之间通过同步带(14)传动连接，力臂(4)的后端设有与调节机构(2)配合的避让孔，力臂(4)的前侧设有显示屏(11)；定位机构(9)：设置于工作板台(1)的中部；其中：所述工作板台(1)的底面设有控制器(15)，控制器(15)的输入端电连接外部电源，摄像头(7)的输出端电连接控制器(15)的输入端，显示屏(11)的输入端电连接控制器(15)的输出端。2.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的半导体检测装置，其特征在于：所述调节机构(2)包括转轴(21)、第一锥齿轮(22)、驱动轴(23)和第二锥齿轮(24)，所述转轴(21)转动连接于工作板台(1)的后端中部，转轴(21)的上端穿过力臂(4)后端的避让孔并在上端与后侧的同步轮(13)固定连接，转轴(21)的下端设有第一锥齿轮(22)，工作板台(1)底...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪永南，欧阳练军，
申请(专利权)人：长沙昊阳电气有限公司，
类型：新型
国别省市：
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