【技术实现步骤摘要】
一种视觉检测机构、检测方法及检测装置
[0001]本专利技术涉及检测
，具体涉及一种视觉检测机构、检测方法及检测装置。
技术介绍
[0002]集成电路(Integrated Circuit，IC)，也称微芯片、晶片或芯片，是一种把电路(包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面。
[0003]随着半导体行业的发展，集成电路芯片的厚度越做越薄，芯片的加工和检测精度越来越高。对于生产厂家制造的芯片尺寸以矩形最为常见，现有的芯片在加工完成之后需要通过检测机构进行检测，以确保芯片质量和性能合格，现有的检测手段通常使用相机视觉检测机构。
[0004]现有技术中的相机视觉检测机构通常采用四个相机视觉检测机构进行检测，四个相机视觉检测机构呈三棱锥分布并分布设置在三棱锥的顶点处，并且将待测芯片放置在三棱锥结构的中心。
[0005]三棱锥分布的相机视觉检测机构在对芯片进行检测时，对角度的要求严格，相机视觉检测机构往往因为摆放角度不正确会导致盲区的出现，导致芯片检测不全面。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种视觉检测机构，其特征在于，包括：第一检测区，具有适于放置待测芯片的平面；第二检测区，具有适于抓取待测芯片的收纳机械手；拍照组件，所述拍照组件包括第一相机(1)、第二相机(2)和第三相机(3)；所述第一相机(1)具有四个，四个所述第一相机(1)分设在所述第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；所述第二相机(2)设置在所述第一检测区的上方；所述第三相机(3)设置在所述第二检测区的下方。2.根据权利要求1所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一相机(1)设置在第一滑台组件上；所述第一滑台组件带动所述第一相机(1)移动和转动，所述第二相机(2)设置在第二滑台组件上；所述第二滑台组件带动所述第二相机(2)移动；所示第三相机(3)设置在所示第三滑台组件上；所示第三滑台组件带动所述第三相机(3)移动。3.根据权利要求2所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一滑台组件包括：第一水平调节板，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件；第二水平调节板，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第二水平调节件的轴线与所述第一水平调节件的轴线垂直设置；第一摆动结构，设置在所述第一水平调节板上；第一相机(1)设置在所述第一摆动结构上；所述第一摆动结构包括第一调节座(8)和第二调节座(9)，所述第一调节座(8)设有弧形导轨或导槽、所述第二调节座(9)设有导槽或弧形导轨，所述第一调节座(8)和所述第二调节座(9)间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第一调节座(8)上设有第一旋紧件，第一旋紧件与所述第二调节座(9)抵接设置，驱动所述第二调节座(9)相对所述第一调节座(8)摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座(8)和第二调节座(9)固定。4.根据权利要求3所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一滑台组件还包括：转盘结构，设置在所述第一相机(1)与所述第一滑台组件之间；所述转盘结构包括第一旋转盘(11)和第二旋转盘(12)，所述第一旋转盘(11)与所述摆动将固定连接；所述第二旋转盘(12)与所述第一旋转盘(11)转动连接。5.根据权利要求2所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第二滑台组件包括：第三水平调节板，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张明亮，郭岩，徐虎子，祁佩恩，张天一，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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