本发明专利技术提供的一种视觉检测机构、检测方法及检测装置，属于检测技术领域技术领域，一种视觉检测机构，包括：第一检测区；第二检测区；拍照组件，所述拍照组件包括第一相机、第二相机和第三相机；第一相机具有四个，并分别设在第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；第二相机设置在第一检测区的上方；第三相机设置在第二检测区的下方。本发明专利技术将待测芯片移动到第一检测区，通过第一相机和第二相机对待测芯片进行检测，再将待测芯片移动到第二检测区，通过第三相机进行检测，通过第一相机和第二相机能够对待测芯片的前后左右及上面进行检测，第三相机对待测芯片的底面进行检测，通过拍照组件能够对待测芯片使用较少的设备进行全面的检测。检测。检测。
【技术实现步骤摘要】
一种视觉检测机构、检测方法及检测装置
[0001]本专利技术涉及检测
，具体涉及一种视觉检测机构、检测方法及检测装置。
技术介绍
[0002]集成电路(Integrated Circuit，IC)，也称微芯片、晶片或芯片，是一种把电路(包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面。
[0003]随着半导体行业的发展，集成电路芯片的厚度越做越薄，芯片的加工和检测精度越来越高。对于生产厂家制造的芯片尺寸以矩形最为常见，现有的芯片在加工完成之后需要通过检测机构进行检测，以确保芯片质量和性能合格，现有的检测手段通常使用相机视觉检测机构。
[0004]现有技术中的相机视觉检测机构通常采用四个相机视觉检测机构进行检测，四个相机视觉检测机构呈三棱锥分布并分布设置在三棱锥的顶点处，并且将待测芯片放置在三棱锥结构的中心。
[0005]三棱锥分布的相机视觉检测机构在对芯片进行检测时，对角度的要求严格，相机视觉检测机构往往因为摆放角度不正确会导致盲区的出现，导致芯片检测不全面。
技术实现思路
[0006]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中相机检测机构出现芯片检测不全面的缺陷，从而提供一种视觉检测机构。
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种视觉检测机构，包括：
[0008]第一检测区，具有适于放置待测芯片的平面；
[0009]第二检测区，具有适于抓取待测芯片的收纳机械手；
[0010]拍照组件，所述拍照组件包括第一相机、第二相机和第三相机；所述第一相机具有四个，四个所述第一相机分设在所述第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；所述第二相机设置在所述第一检测区的上方；所述第三相机设置在所述第二检测区的下方。
[0011]作为优选方案，所述第一相机设置在第一滑台组件上；所述第一滑台组件带动所述第一相机移动和转动，所述第二相机设置在第二滑台组件上；所述第二滑台组件带动所述第二相机移动；所示第三相机设置在所示第三滑台组件上；所示第三滑台组件带动所述第三相机移动。
[0012]作为优选方案，所述第一滑台组件包括：
[0013]第一水平调节板，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件；
[0014]第二水平调节板，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第二水平调节件的轴线与所述第一水平调节件的轴线垂直设置。
[0015]第一摆动结构，设置在所述第一水平调节板上；第一相机设置在所述第一摆动结构上；
[0016]所述第一摆动结构包括第一调节座和第二调节座，所述第一调节座设有弧形导轨
或导槽、所述第二调节座设有导槽或弧形导轨，所述第一调节座和所述第二调节座间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第一调节座上设有第一旋紧件，第一旋紧件与所述第二调节座抵接设置，驱动所述第二调节座相对所述第一调节座摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座和第二调节座固定。
[0017]作为优选方案，所述第一滑台组件还包括：
[0018]转盘结构，设置在所述第一相机与所述第一滑台组件之间；
[0019]所述转盘结构包括第一旋转盘和第二旋转盘，所述第一旋转盘与所述摆动将固定连接；所述第二旋转盘与所述第一旋转盘转动连接。
[0020]作为优选方案，所述第二滑台组件包括：
[0021]第三水平调节板，所述第三水平调节板上设有第三水平调节件；
[0022]第四水平调节板，所述第四水平调节板上设有第四水平调节件，所述第四水平调节件的轴线与所述第三水平调节件的轴线垂直设置。
[0023]作为优选方案，所述第二滑台组件还包括：
[0024]竖直固定板，截面为“L”形；所述竖直固定板的一边与所述第四水平调节板固定连接；
[0025]竖直滑板，一侧与所述竖直固定板的另一边滑动连接；所述第二相机固安装在所述竖直滑板上。
[0026]作为优选方案，所述第三滑台组件包括：
[0027]第五水平调节板，所述第五水平调节板上设有第五水平调节件；
[0028]第六水平调节板，所述第六水平调节板上设有第六水平调节件，所述第六水平调节件的轴线与所述第五水平调节件的轴线垂直设置。
[0029]第二摆动结构，设置在所述第五水平调节板上；第三相机设置在所述第二摆动结构上。
[0030]作为优选方案，所述第二摆动结构包括第三调节座和第四调节座，所述第三调节座设有弧形导轨或导槽、所述第四调节座设有导槽或弧形导轨，所述第三调节座和所述第四调节座间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第三调节座上设有第二旋紧件，第二旋紧件与所述第三调节座抵接设置，驱动所述第四调节座相对所述第三调节座摆动至预定位置，旋紧第二旋紧件使第三调节座和第四调节座固定。
[0031]一种检测方法，包括上述任一项所述的视觉检测机构，所述芯片检测方法包括以下步骤：
[0032]首先，将待测芯片移动到所述第一检测区；
[0033]然后，启动所述拍照结构对待测芯片进行拍照，所述第一相机依次对待测芯片的左、前、右、后进行拍照，然后所述第二相机对待测芯片上方进行拍照，随后所述收纳机械手将芯片拿起并移动到所述第二检测区，当待测芯片移动到第二检测区后所述第三相机对待测芯片下方进行拍照。
[0034]一种检测装置，包括上述任一项所述的视觉检测机构。
[0035]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0036]1.本专利技术提供的一种视觉检测机构，包括：第一检测区，具有放置待测芯片的平面；第二检测区，具有抓取待测芯片的收纳机械手；拍照组件，所述拍照组件包括第一相机、
第二相机和第三相机；所述第一相机具有四个，四个所述第一相机分设在所述第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；所述第二相机设置在所述第一检测区的上方；所述第三相机设置在所述第二检测区的下方。本专利技术在对芯片进行检测过程中，将待测芯片移动到第一检测区，通过第一相机和第二相机对待测芯片进行检测，再将待测芯片移动到第二检测区，通过第三相机进行检测，其中第一相机具有四个且呈十字结构分布，通过第一相机和第二相机能够对待测芯片的前后左右及上面进行检测，第三相机对待测芯片的底面进行检测，通过拍照组件能够对待测芯片使用较少的设备进行全面的检测。
[0037]2.本专利技术提供的一种视觉检测机构，为了方便第一相机对待测芯片进行对焦，将第一相机设置在第一滑台组件上，通过第一滑台组件带动第一相机移动和转动，使第一相机完成对待测芯片的对焦，增加本装置的实用性。
[0038]3.本专利技术提供的一种视觉检测机构，其中第一滑台组件包括第一水平调节板和第二水平调节板，通过第一水平调节板和第二水平调节板的调节方形相互垂直，使第一相机和第三相机能在水平方向上调节，增加本装置的实用性。
[0039]4.本专利技术提供的一种视觉检测机构，其中第一滑台组件还包括第一摆动结构，第一摆动结构包括第一调节座和第二调节座，其中第一调节座与第二调节座滑动连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种视觉检测机构，其特征在于，包括：第一检测区，具有适于放置待测芯片的平面；第二检测区，具有适于抓取待测芯片的收纳机械手；拍照组件，所述拍照组件包括第一相机(1)、第二相机(2)和第三相机(3)；所述第一相机(1)具有四个，四个所述第一相机(1)分设在所述第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；所述第二相机(2)设置在所述第一检测区的上方；所述第三相机(3)设置在所述第二检测区的下方。2.根据权利要求1所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一相机(1)设置在第一滑台组件上；所述第一滑台组件带动所述第一相机(1)移动和转动，所述第二相机(2)设置在第二滑台组件上；所述第二滑台组件带动所述第二相机(2)移动；所示第三相机(3)设置在所示第三滑台组件上；所示第三滑台组件带动所述第三相机(3)移动。3.根据权利要求2所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一滑台组件包括：第一水平调节板，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件；第二水平调节板，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第二水平调节件的轴线与所述第一水平调节件的轴线垂直设置；第一摆动结构，设置在所述第一水平调节板上；第一相机(1)设置在所述第一摆动结构上；所述第一摆动结构包括第一调节座(8)和第二调节座(9)，所述第一调节座(8)设有弧形导轨或导槽、所述第二调节座(9)设有导槽或弧形导轨，所述第一调节座(8)和所述第二调节座(9)间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第一调节座(8)上设有第一旋紧件，第一旋紧件与所述第二调节座(9)抵接设置，驱动所述第二调节座(9)相对所述第一调节座(8)摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座(8)和第二调节座(9)固定。4.根据权利要求3所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第一滑台组件还包括：转盘结构，设置在所述第一相机(1)与所述第一滑台组件之间；所述转盘结构包括第一旋转盘(11)和第二旋转盘(12)，所述第一旋转盘(11)与所述摆动将固定连接；所述第二旋转盘(12)与所述第一旋转盘(11)转动连接。5.根据权利要求2所述的视觉检测机构，其特征在于，所述第二滑台组件包括：第三水平调节板，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张明亮，郭岩，徐虎子，祁佩恩，张天一，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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