一种剥离液废液处理系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种剥离液废液处理系统，涉及废液回收技术领域。光刻胶剥离液处理系统包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置。第一缓冲装置用于使由剥离液作用于光刻胶生成的废液依次经过回收装置以及第二缓冲装置，其中，回收装置用于过滤废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，第二缓冲装置用于接收并处理回收液，以生成剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。同时有效地减少环境污染。同时有效地减少环境污染。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离液废液处理系统


[0001]本技术涉及废液回收
，具体而言，涉及一种剥离液废液处理系统。

技术介绍

[0002]光刻胶剥离液是显示面板及半导体制造工艺中常用的湿电子化学品，用来去除光刻胶，其主要由有机胺、极性有机溶剂和水组成。光刻胶剥离液在使用一定时间后性能会下降或失效而成为剥离液废液，通常直接将其报废或委托危废处理企业进行处理。然而剥离液废液还含有大量的有机溶剂和有机胺，其仍然具有一定的光刻胶剥离能力，将其报废会造成极大的资源浪费，也会造成环境污染。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种剥离液废液处理系统，其能够回收利用剥离液，节约了资源，降低了使用成本，并有效减少了环境污染。
[0004]本技术的实施例是这样实现的：
[0005]第一方面，本技术提供一种剥离液废液处理系统，包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置；
[0006]所述第一缓冲装置用于使剥离液废液依次经过所述回收装置以及所述第二缓冲装置，其中，所述回收装置用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，所述第二缓冲装置用于接收并处理所述回收液，以生成剥离液。
[0007]在上述实施例中，通过回收装置去除剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质并获得回收液，再通过第二缓冲装置对回收液进行处理，以将回收液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离液废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。
[0008]在可选的实施方式中，所述回收装置包括依次连接的过滤器、吸附器以及金属离子去除器，且所述过滤器与所述第一缓冲装置连接，所述金属离子去除器与所述第二缓冲装置连接。
[0009]在上述实施例中，回收装置由依次连接的过滤器、吸附器以及金属离子去除器构成，以依次去除剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子。
[0010]在可选的实施方式中，所述过滤器包括滤芯，所述滤芯为孔隙结构且底部呈锥状，所述过滤器用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯，以过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质。
[0011]在上述实施例中，通过设置滤芯以过滤剥离液废液中的呈细小颗粒状的光刻胶渣质，将滤芯的底部设置呈锥状，不仅可有效提高过滤效率，也可加快过滤速度，从而提高剥离液废液生成剥离液的效率。
[0012]在可选的实施方式中，所述吸附器包括依次设置的加热件、吸附件以及过滤件，所
述吸附器用于使所述剥离液废液依次经过所述加热件、所述吸附件和所述过滤件，以通过所述吸附件吸附所述废液中的颗粒物。
[0013]在上述实施例中，设置加热件以对废液进行加热，加热的剥离液废液在吸附件中的过滤速度快且过滤效率高，以此有效吸附剥离液废液的色素及细小颗粒物。吸附后的剥离液废液通过过滤件流出吸附器，而呈锥形的过滤件可提高剥离液废液的过滤效率和过滤速度。
[0014]在可选的实施方式中，所述金属离子去除器包括至少一个离子交换柱，所述离子交换柱用于交换所述剥离液废液中的杂质离子。
[0015]在上述实施例中，通过设置离子交换柱以与剥离液废液中的杂质离子进行离子交换，从而去除剥离液废液中的杂质离子，离子交换柱的锥形底部可提高废液的过滤效率和过滤速度。
[0016]在可选的实施方式中，第一缓冲装置包括第一缓冲罐，所述第一缓冲罐用于接收所述剥离液废液并将所述剥离液废液向所述过滤器输送。
[0017]在上述实施例中，将剥离液废液输送至第一缓冲罐，并通过第一缓冲罐向回收装置输送废液以直接过滤剥离液废液，可提高剥离液废液的处理效率。
[0018]在可选的实施方式中，所述第一缓冲罐包括离心器，所述离心器用于去除所述剥离液废液中的沉淀物。
[0019]在上述实施例中，通过在第一缓冲罐中设置离心器以对剥离液废液进行离心处理，从而去除剥离液废液中的沉淀物。
[0020]在可选的实施方式中，所述第二缓冲装置包括第二缓冲罐和补充罐，所述第二缓冲罐与所述金属离子去除器以及所述补充罐连接，所述补充罐用于向所述第二缓冲罐补充原料。
[0021]在上述实施例中，通过设置补充罐向第二缓冲罐中补充剥离液在形成剥离液废液的过程中失去的成分，以使第二缓冲罐中的回收液重新生成剥离液。
[0022]在可选的实施方式中，所述第二缓冲装置和过滤器、吸附器以及金属离子去除器之间分别设置有第一回流管路、第二回流管路以及第三回流管路，所述第一回流管路、所述第二回流管路以及所述第三回流管路均设置有阀门和泵；
[0023]所述第二缓冲罐设置有取样口，所述取样口用于对所述第二缓冲罐内的所述回收液进行取样。
[0024]在上述实施例中，通过设置第一回流管路、第二回流管路以及第三回流管路，以使得第二缓冲装置和过滤器之间、第二缓冲装置和吸附器以及第二缓冲装置和金属离子去除器相互连通；通过设置取样口可对第二缓冲罐中的回收液进行取样，从而可依据取样结果使得未达标的回收液即剥离液废液通过第一回流管路、第二回流管路或第三回流管路流回过滤器、吸附器或金属离子去除器再次进行处理，从而充分除去剥离液废液中的杂质或离子，以使得剥离液废液达到再次生成剥离液的标准。
[0025]在可选的实施方式中，所述剥离液废液处理系统还包括输送管路，所述输送管路的一端与所述第二缓冲罐连接，另一端用于与工作台连接，以向所述工作台输送重新生成的所述剥离液，所述输送管路设置有泵。
[0026]在上述实施例中，第二缓冲罐与工作台通过输送管路连接，以实现第二缓冲罐中
由回收液再次生成的剥离液向工作台输送，以此使得剥离液循环利用。
[0027]本技术实施例提供的剥离液废液处理系统的有益效果包括：通过回收装置除去剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子等杂质以获得回收液，再通过第二缓冲装置对回收液进行处理，以将回收液重新配置成具有剥离性能的新的剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0029]图1为本技术实施例提供的剥离液废液处理系统示意图；
[0030]图2为本技术实施例提供的滤芯示意图；
[0031]图3为本技术实施例提供的吸附器示意图；
[0032]图4为本技术实施例提供的离子交换柱示意图。
[0033]图标：10
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剥离液废液处理系统；100
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种剥离液废液处理系统，其特征在于，包括依次连接的第一缓冲装置(100)、回收装置(200)以及第二缓冲装置(300)；所述第一缓冲装置(100)用于使剥离液废液依次经过所述回收装置(200)以及所述第二缓冲装置(300)，其中，所述回收装置(200)用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，所述第二缓冲装置(300)用于接收并处理所述回收液，以生成剥离液。2.根据权利要求1所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述回收装置(200)包括依次连接的过滤器(210)、吸附器(220)以及金属离子去除器(230)，且所述过滤器(210)与所述第一缓冲装置(100)连接，所述金属离子去除器(230)与所述第二缓冲装置(300)连接。3.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述过滤器(210)包括滤芯(211)，所述滤芯(211)为孔隙结构且底部呈锥状，所述过滤器(210)用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯(211)，以过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质。4.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述吸附器(220)包括依次设置的加热件(221)、吸附件(222)以及过滤件(223)，所述吸附器(220)用于使所述剥离液废液依次经过所述加热件(221)、所述吸附件(222)和所述过滤件(223)，以通过所述吸附件(222)吸附所述剥离液废液中的颗粒物。5.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统，其特征在于，所述金属离子去除器(230)包括至少一个离子交换柱(231)，所述离子交换柱(231)用于交换所述剥离液废液中的杂质...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，章学春，李玉兴，梁重时，
申请(专利权)人：上海盛剑微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：