一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及电路板制造技术领域，公开一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备，氯气溶解吸收装置包括：溶解吸收缸，其内设有用于进行气液混合反应的腔体，所述溶解吸收缸上设有进液端和排液端，所述进液端通过进液管与蚀刻机主缸连通，所述排液端通过排液管与所述蚀刻机主缸连通；以及输液泵，设置于所述进液管，所述输液泵用于将所述蚀刻机主缸内的蚀刻液泵送至所述溶解吸收缸中。本实用新型专利技术提供的氯气溶解吸收装置能够大幅提高氯气的回用率，降低未回用氯气的处理成本。用氯气的处理成本。用氯气的处理成本。

【技术实现步骤摘要】
一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备


[0001]本技术涉及电路板制造
，尤其涉及一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备。

技术介绍

[0002]印制线路板(Printed Circuit Board，PCB)制程的蚀刻工序中会使用大量的氧化剂，目前酸性蚀刻液再生及提铜装置利用电解产生的氯气代替部分氧化剂的使用，但氯气回用效率不高，一般在50％左右，有些甚至于只有20
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30％，效率太低，未被回用的氯气需要进行处理。
[0003]目前处理氯气的方法是通过氯化亚铁或者液碱吸收，由于溶解吸收缸与蚀刻机的副缸相连，而副缸内同时还设有氧化剂和盐酸添加管道，因此蚀刻机副缸药水和溶解吸收缸内药水浓度会存在一定延迟，主要体现在酸度和氧化还原电位上，溶解吸收缸内氧化还原电位的降低滞后于副缸。取样盒对副缸药水进行各项参数分析，当ORP(氧化还原电位)探测器检测到实际值比设定值低时，该控制器会控制氧化剂添加管道添加氧化剂，添加后的蚀刻液ORP已升高，溶解吸收缸内的ORP随之提前升高，无法充分吸收氯气，导致氯气回用率低，未回用的氯气处理成本高。
[0004]因此亟需一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备，以解决上述的技术问题。

技术实现思路

[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种氯气溶解吸收装置和蚀刻设备，能够大幅提高氯气的回用率，降低未回用氯气的处理成本。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]第一方面，提供一种氯气溶解吸收装置，包括：
[0008]溶解吸收缸，其内设有用于进行气液混合反应的腔体，所述溶解吸收缸上设有进液端和排液端，所述进液端通过进液管与蚀刻机主缸连通，所述排液端通过排液管与所述蚀刻机主缸连通；以及
[0009]输液泵，设置于所述进液管，所述输液泵用于将所述蚀刻机主缸内的蚀刻液泵送至所述溶解吸收缸中。
[0010]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述氯气溶解吸收装置还包括射流器，所述射流器设于所述进液端，所述射流器上设有进液口、进气口和射出口，所述进液端与所述进液口连通，待吸收的氯气经所述进气口通入，所述射出口经所述进液端伸入所述溶解吸收缸中。
[0011]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述腔体中设有竖直设置的隔板，所述隔板将所述腔体间隔为第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体的底部相互连通，所述进液端与所述第一腔体连通，所述排液端与所述第二腔体连通。
[0012]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述第一腔体和所述第二腔体还
通过内部循环系统连通，所述内部循环系统包括循环泵、循环管路和喷淋组件，所述循环管路的一端与所述第一腔体的下部连通，所述循环管路的另一端与所述喷淋组件连通，所述循环泵连接于所述循环管路，所述循环泵用于将所述第一腔体中的气液混合物泵送至所述喷淋组件，所述喷淋组件伸入所述第二腔体的上部并用于将气液混合物自上而下喷淋至所述第二腔体内。
[0013]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述排液端设置为溢流口，所述溢流口设置于所述第二腔体的上部位置。
[0014]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述喷淋组件包括喷淋卡板和至少两根并排水平设置的喷淋管，所述喷淋卡板固定于所述第二腔体内的上端，所述喷淋卡板上设有限位槽，所述喷淋管卡设于所述限位槽中，所述喷淋管与所述循环管路连通，所述喷淋管上设有多个喷淋口，所述喷淋口与竖直方向呈45度夹角朝下设置。
[0015]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述第二腔体内设有至少两个沿竖直方向排列的喷淋孔板，所述喷淋孔板沿水平方向设置，所述喷淋孔板均设于所述喷淋管的下方，所述喷淋孔板上设有多个呈蜂窝状排布的让位孔。
[0016]作为氯气溶解吸收装置的一个可选的技术方案，所述进液管和所述排液管均采用硬质聚氯乙烯管。
[0017]第二方面，还提供一种蚀刻设备，包括蚀刻机主缸和上述的氯气溶解吸收装置。
[0018]作为蚀刻设备的一个可选的技术方案，所述蚀刻设备还包括蚀刻机副缸，所述蚀刻机副缸与所述蚀刻机主缸连通，所述蚀刻机副缸用于向所述蚀刻机主缸补充氧化剂。
[0019]本技术的有益效果为：
[0020]本技术提供的氯气溶解吸收装置采用了溶解吸收缸与蚀刻机主缸直接连通的布局，通过输液泵将蚀刻机主缸内的蚀刻液直接泵送至溶解吸收缸中与待吸收的氯气进行反应。由于蚀刻后的一价铜主要集中在蚀刻机主缸内，将其抽至溶解吸收缸后可以最大程度吸收氯气，吸收氯气后的蚀刻液氧化还原电位升高并继续回到蚀刻机主缸进行蚀刻。本技术提供的氯气溶解吸收装置能够大幅提高氯气的回用率，降低未回用氯气的处理成本。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0022]图1是本技术提供的氯气溶解吸收装置的结构示意图；
[0023]图2是本技术提供的氯气溶解吸收装置的内部结构示意图；
[0024]图3是本技术提供的喷淋卡板的结构示意图；
[0025]图4是本技术提供的喷淋管的结构示意图。
[0026]图中：
[0027]100、溶解吸收缸；110、溢流口；120、泄压阀；200、输液泵；300、射流器；301、进液口；302、进气口；303、射出口；10、进液管；20、排液管；1、隔板；2、第一腔体；3、第二腔体；4、
喷淋组件；41、喷淋卡板；411、限位槽；42、喷淋管；421、喷淋口；5、喷淋孔板。
具体实施方式
[0028]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]本实施例提供一种蚀刻设备，用于蚀刻印制线路板上的多余覆铜，蚀刻设备包括刻机主缸和氯气溶解吸收装置，氯气溶解吸收装置用于吸收和溶解氯气，如图1
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图4所示，氯气溶解吸收装置包括溶解吸收缸100和输液泵200，溶解吸收缸100内设有用于进行气液混合反应的腔体，溶解吸收缸100上设有进液端和排液端，进液端通过进液管10与蚀刻机主缸连通，排液端通过排液管20 与蚀刻机主缸连通；输液泵200设置于进液管10，输液泵200用于将蚀刻机主缸内的蚀刻液泵送至溶解吸收缸100中。
[0030]具体而言，本实施例提供的氯气溶解吸收装置采用了溶解吸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氯气溶解吸收装置，其特征在于，包括：溶解吸收缸(100)，其内设有用于进行气液混合反应的腔体，所述溶解吸收缸(100)上设有进液端和排液端，所述进液端通过进液管(10)与蚀刻机主缸连通，所述排液端通过排液管(20)与所述蚀刻机主缸连通；以及输液泵(200)，设置于所述进液管(10)，所述输液泵(200)用于将所述蚀刻机主缸内的蚀刻液泵送至所述溶解吸收缸(100)中。2.根据权利要求1所述的氯气溶解吸收装置，其特征在于，所述氯气溶解吸收装置还包括射流器(300)，所述射流器(300)设于所述进液端，所述射流器(300)上设有进液口(301)、进气口(302)和射出口(303)，所述进液端与所述进液口(301)连通，待吸收的氯气经所述进气口(302)通入，所述射出口(303)经所述进液端伸入所述溶解吸收缸(100)中。3.根据权利要求2所述的氯气溶解吸收装置，其特征在于，所述腔体中设有竖直设置的隔板(1)，所述隔板(1)将所述腔体间隔为第一腔体(2)和第二腔体(3)，所述第一腔体(2)和所述第二腔体(3)的底部相互连通，所述进液端与所述第一腔体(2)连通，所述排液端与所述第二腔体(3)连通。4.根据权利要求3所述的氯气溶解吸收装置，其特征在于，所述第一腔体(2)和所述第二腔体(3)还通过内部循环系统连通，所述内部循环系统包括循环泵、循环管路和喷淋组件(4)，所述循环管路的一端与所述第一腔体(2)的下部连通，所述循环管路的另一端与所述喷淋组件(4)连通，所述循环泵连接于所述循环管路，所述循环泵用于将所述第一腔体(2)中的气液...

【专利技术属性】
技术研发人员：李智信，李再强，张伟奇，黄文涛，梁民，
申请(专利权)人：深圳市祺鑫环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：