一种晶圆研磨机用取片机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆研磨机用取片机构，包括晶圆取片机构主体，所述晶圆取片机构主体由第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、CCD相机、连接座和柔性真空吸盘组成，所述第二电动伸缩杆的尾部固定安装在第一电动伸缩杆的伸缩端上；本实用新型专利技术的晶圆取片机构主体由第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、CCD相机、连接座和柔性真空吸盘组成，其中第一电动伸缩杆用于推动其下方结构向下移动，使得柔性真空吸盘挤压作用在晶圆表面，实现对晶圆的拾取，第二电动伸缩杆用于从柔性真空吸盘内部推动晶圆，实现对晶圆的释放，CCD相机用于在拾取和释放过程中确认晶圆所在位置，操作失误，本实用新型专利技术结构合理有效，可以精准的实现对晶圆的拾取释放。释放。释放。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆研磨机用取片机构


[0001]本技术涉及晶圆拾取机构
，具体是一种晶圆研磨机用取片机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。现有的晶圆研磨机在操作完毕后，对于加工后的晶圆存在取出不够方便的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆研磨机用取片机构，以解决现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆研磨机用取片机构，包括晶圆取片机构主体，所述晶圆取片机构主体由第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、CCD相机、连接座和柔性真空吸盘组成，所述第二电动伸缩杆的尾部固定安装在第一电动伸缩杆的伸缩端上，所述连接座的尾部固定安装在第二电动伸缩杆的头部，所述柔性真空吸盘固定安装在连接座的头部，所述第二电动伸缩杆的伸缩端可穿过连接座并伸入柔性真空吸盘中，所述第二电动伸缩杆的外部固定安装有相机安装架，所述CCD相机固定安装在相机安装架的底部。
[0005]优选的，所述连接座的外部底部表面上固定设置有软胶垫，所述第二电动伸缩杆的伸缩端的端部固定设置有软胶块。
[0006]优选的，还包括电机支撑杆，所述电机支撑杆的顶部固定安装有电机，所述电机支撑杆的底部固定有安装座，所述电机的顶部设置有支撑转轴，所述电机的动力输出轴固定在支撑转轴的内部，所述支撑转轴的顶部固定设置有旋转臂，所述晶圆取片机构主体安装在旋转臂上。
[0007]优选的，所述旋转臂上设置有移动滑槽，所述晶圆取片机构主体的顶部固定有与移动滑槽配合的滑块，所述晶圆取片机构主体安装在移动滑槽中，所述晶圆取片机构主体上固定安装有连接架，所述支撑转轴上固定安装有晶圆取片机构主体驱动电动推杆，所述晶圆取片机构主体驱动电动推杆的伸缩端贯穿支撑转轴并与连接架固定连接。
[0008]优选的，所述滑块由定位块和分别固定在定位块顶部和底部的两个限制板构成，所述定位块与移动滑槽为间隙配合，所述限制板的直径大于移动滑槽的宽度。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术的晶圆取片机构主体由第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、CCD相机、连接座和柔性真空吸盘组成，其中第一电动伸缩杆用于推动其下方结构向下移动，使得柔性真空吸盘挤压作用在晶圆表面，实现对晶圆的拾取，第二电动伸缩杆用于从柔性真空吸盘内部推动晶圆，实现对晶圆的释放，CCD相机用于在拾取和释放过程中确认晶圆所在位置，操作失误，本技术结构合理有效，可以精
准的实现对晶圆的拾取释放；
[0010]连接座底部的软胶垫和第二电动伸缩杆的伸缩端的端部的软胶块，用于保护晶圆，避免在拾取和释放过程中对晶圆表面造成刮痕。
附图说明
[0011]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0012]图1是本技术的晶圆取片机构主体结构示意图；
[0013]图2是本技术的第二电动伸缩杆、连接座和柔性真空吸盘的连接结构示意图；
[0014]图3是本技术的整体结构示意图。
[0015]图中：1、电机支撑杆；2、电机；3、支撑转轴；4、圆取片机构主体驱动电动推杆；5、旋转臂；6、移动滑槽；7、晶圆取片机构主体；8、连接架；9、安装座；10、第一电动伸缩杆；11、滑块；12、第二电动伸缩杆；13、相机安装架；14、CCD相机；15、连接座；16、柔性真空吸盘；17、软胶块；18、软胶垫。
具体实施方式
[0016]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术实施例中，一种晶圆研磨机用取片机构，包括晶圆取片机构主体7，晶圆取片机构主体7由第一电动伸缩杆10、第二电动伸缩杆12、CCD相机14、连接座15和柔性真空吸盘16组成，第二电动伸缩杆12的尾部固定安装在第一电动伸缩杆10的伸缩端上，连接座15的尾部固定安装在第二电动伸缩杆12的头部，柔性真空吸盘16固定安装在连接座15的头部，第二电动伸缩杆12的伸缩端可穿过连接座15并伸入柔性真空吸盘16中，第二电动伸缩杆12的外部固定安装有相机安装架13，CCD相机14固定安装在相机安装架13的底部。
[0018]连接座15的外部底部表面上固定设置有软胶垫18，第二电动伸缩杆12的伸缩端的端部固定设置有软胶块17。
[0019]本技术的工作原理是：本技术在使用时需连接上主机，然后在主机的控制下进行工作，晶圆取片机构主体7由第一电动伸缩杆10、第二电动伸缩杆12、CCD相机14、连接座15和柔性真空吸盘16组成，其中第一电动伸缩杆10用于推动其下方结构向下移动，使得柔性真空吸盘16挤压作用在晶圆表面，实现对晶圆的拾取，第二电动伸缩杆12用于从柔性真空吸盘16内部推动晶圆，实现对晶圆的释放，CCD相机14用于在拾取和释放过程中确认晶圆所在位置，操作失误，本技术结构合理有效，可以精准的实现对晶圆的拾取释
放；
[0020]连接座15底部的软胶垫18和第二电动伸缩杆12的伸缩端的端部的软胶块17，用于保护晶圆，避免在拾取和释放过程中对晶圆表面造成刮痕。
[0021]还包括电机支撑杆1，电机支撑杆1的顶部固定安装有电机2，电机支撑杆1的底部固定有安装座9，电机2的顶部设置有支撑转轴3，电机2的动力输出轴固定在支撑转轴3的内部，支撑转轴3的顶部固定设置有旋转臂5，晶圆取片机构主体7安装在旋转臂5上，旋转臂5上设置有移动滑槽6，晶圆取片机构主体7的顶部固定有与移动滑槽6配合的滑块11，晶圆取片机构主体7安装在移动滑槽6中，晶圆取片机构主体7上固定安装有连接架8，支撑转轴3上固定安装有晶圆取片机构主体驱动电动推杆4，晶圆取片机构主体驱动电动推杆4的伸缩端贯穿支撑转轴3并与连接架8固定连接，滑块11由定位块和分别固定在定位块顶部和底部的两个限制板构成，定位块与移动滑槽6为间隙配合，限制板的直径大于移动滑槽6的宽度。
[0022]电机2可以带动晶圆取片机构主体7进行转向，晶圆取片机构主体驱动电动推本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆研磨机用取片机构，包括晶圆取片机构主体(7)，其特征在于：所述晶圆取片机构主体(7)由第一电动伸缩杆(10)、第二电动伸缩杆(12)、CCD相机(14)、连接座(15)和柔性真空吸盘(16)组成，所述第二电动伸缩杆(12)的尾部固定安装在第一电动伸缩杆(10)的伸缩端上，所述连接座(15)的尾部固定安装在第二电动伸缩杆(12)的头部，所述柔性真空吸盘(16)固定安装在连接座(15)的头部，所述第二电动伸缩杆(12)的伸缩端可穿过连接座(15)并伸入柔性真空吸盘(16)中，所述第二电动伸缩杆(12)的外部固定安装有相机安装架(13)，所述CCD相机(14)固定安装在相机安装架(13)的底部。2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机用取片机构，其特征在于：所述连接座(15)的外部底部表面上固定设置有软胶垫(18)，所述第二电动伸缩杆(12)的伸缩端的端部固定设置有软胶块(17)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机用取片机构，其特征在于：还包括电机支撑杆(1)，所述电机支撑杆(1)的顶部固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁富生，
申请(专利权)人：坂口电子机械上海有限公司，
类型：新型
国别省市：