本申请公开了一种单晶炉炉盖防爆及引流装置,涉及单晶炉防爆的技术领域，一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，包括引流罩，所述引流罩安装于炉盖上，所述炉盖上开设有防爆口，所述引流罩用于覆盖开设于炉盖上的所述防爆口；翻板，所述翻板活动设置在引流罩内，用于启、闭所述防爆口；以及引流管，所述引流管一端和所述引流罩相连且与引流罩内腔连通。当单晶炉由于漏硅出现炉内气体量剧增时，炉内压力增加能够将盖住防爆口的翻板顶起使气流从炉内流出，以此给炉体内部泄压，减少炉内由于压力瞬间升高使材料从顶部喷出甚至炉体爆炸的情况发生，提高单晶炉使用过程中的安全性。高单晶炉使用过程中的安全性。高单晶炉使用过程中的安全性。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉盖防爆及引流装置
[0001]本申请涉及单晶炉的
，尤其是涉及一种单晶炉炉盖防爆及引流装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。常见的单晶炉炉体包括炉盖、上炉筒以及下炉体。当单晶炉在拆装热场时，上炉筒能够从下炉体上升且外旋至炉旁，炉盖也能够上升并外旋至炉旁。
[0003]在单晶炉拉晶的过程中坩埚受到炉内的高温与腐蚀作用会出现破损，盛放于坩埚内的熔融硅液出现泄漏，高温硅液会将单晶炉炉体内部烫穿，导致单晶炉内冷却水流入炉内。水在高温情况下瞬间气化膨胀，又由于炉内处于密闭环境所以炉内压力瞬间升高使材料从顶部喷出甚至炉体爆炸，容易对顶部的操作人员造成伤害。
技术实现思路
[0004]为了提高单晶炉在运作工程中出现漏硅、漏水故障时的安全性，本申请提供一种单晶炉炉盖防爆及引流装置,本申请提供一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，采用如下的技术方案：
[0005]一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，包括
[0006]引流罩，所述引流罩安装于炉盖上，所述炉盖上开设有防爆口，所述引流罩用于覆盖开设于炉盖上的所述防爆口；
[0007]翻板，所述翻板活动设置在引流罩内，用于启、闭所述防爆口；
[0008]以及引流管，所述引流管一端和所述引流罩相连且与引流罩内腔连通。
[0009]通过采用上述技术方案，在炉盖上开设防爆口，引流罩安装于炉盖上覆盖住防爆口，且引流罩内腔活动连接有翻板以控制启、闭防爆口；当单晶炉由于漏硅出现炉内气体量剧增时，炉内压力增加能够将盖住防爆口的翻板顶起使气流从炉内流出，以此给炉体内部泄压，减少炉内由于压力瞬间升高使材料从顶部喷出甚至炉体爆炸的情况发生，提高单晶炉使用过程中的安全性。当单晶炉未出现漏硅、漏水的状况时，翻板将防爆口覆盖住，保证炉内的正常拉晶环境。
[0010]可选的，所述上固定有覆盖所述防爆口的防爆管，所述引流罩罩设于所述防爆管外，所述引流罩开设有供防爆管穿入的穿入孔，所述翻板用于启、闭防爆管远离防爆口的一端。
[0011]通过采用上述技术方案，防爆管通过穿入孔进入引流罩内，通过引流罩起到减少气体泄漏的作用，且使得翻板可以更好的封闭防爆口，从防爆管排出的气体经过引流罩后通过导流管排走，减少高温气体对位于单晶炉上方操作人员造成的伤害。
[0012]可选的，所述翻板一端和所述引流罩内壁铰接。
[0013]通过采用上述技术方案，实现翻板与引流罩之间的转动连接，当炉内压力升高时炉内气流能够顶开翻板流出炉体；当气体流出炉内压力降低后，翻板能够依靠自重落回防
爆管上。
[0014]可选的，所述翻板滑动设置于所述引流罩内。
[0015]通过采用上述技术方案，翻板滑动设置于引流罩内腔，当炉内压力升高时，能够驱动引流罩向上滑动使得炉内气体排到炉外；当炉内气体排出，炉内压力降低后，翻板下落到防爆管上，盖住防爆口。
[0016]可选的，所述引流罩内固定连接有竖直或倾斜的导向杆，所述翻板上开设有供导向杆穿设的导向孔，所述导向杆端部固定连接有用于和翻板抵接并覆盖穿孔的限位块。
[0017]通过采用上述技术方案，引流罩内的固定的导向杆起到导向作用，翻板滑动于导向杆上，能够朝靠近或远离防爆管管口的方向移动；导向杆端部固定的限位块限制翻板的活动范围，降低翻板在滑动过程中脱离导向杆的可能性，并且在翻板覆盖防爆管一端时，限位块可以减少气体从导向孔泄漏。
[0018]可选的，所述引流管包括插接相连通的上引流管和下引流管，所述上引流管一端和所述引流罩相连，所述上引流管用于和上炉筒相连，所述下引流管用于和下炉体连接。
[0019]通过采用上述技术方案，上引流管与上炉筒相连接、下引流管与下炉体相连接；下引流管与上引流管为插接的可分离设置，上引流管能够随上炉筒上升旋转，方便单晶炉拆装；下引流管则与下炉体一起固定不动，合炉后上引流管与下引流管插接相连，将引流罩内气体导流至单晶炉下端。
[0020]可选的，所述上引流管外可拆卸安装有第一支撑座，所述第一支撑座和所述上炉筒外壁固定相连；所述下引流管外可拆卸安装有第二支撑座，所述第二支撑座和所述下炉体外壁固定相连。
[0021]通过采用上述技术方案，上炉筒上的第一支撑座实现上炉筒与上引流管之间的固定连接，下炉体上的第二支撑座实现了上下炉体与下引流管之间的固定连接。
[0022]可选的，所述引流罩外壁设置有和引流罩内腔连通的排出管，所述排出管与上引流管远离下引流管的一端插接。
[0023]通过采用上述技术方案，引流罩上排出管的设置使得引流罩与引流管相连通，炉内气体从防爆管流出后可沿引流罩流入引流管内，从而限制气体的流向，且排出管和上引流管通过插接的方式连接，当打开炉盖时，排出管可以和上引流管分离，不易影响单晶炉的使用。
[0024]可选的，所述第一支撑座和第二支撑座均包括若干个夹持部，所述夹持部包括可拆卸连接的两个夹持板，所述夹持板用于抵紧引流管外壁。
[0025]通过采用上述技术方案，夹持部用于夹持上引流管、下引流管，夹持板可抵住引流管外壁使得上引流管、下引流管的固定更加稳固；且夹持部包括可拆卸的两个夹持板，实现上引流管与上炉筒的可拆卸连接，以及下引流管与下炉体的可拆卸连接，当引流管损坏时便于更换。
[0026]可选的，防爆管远离防爆口的端面朝远离所述炉盖轴线方向向下倾斜，提升翻板的密封效果，便于清理防爆罐内氧化物，以及便于高温气体的排出。
[0027]通过采用上述技术方案，防爆管远离防爆口的端面朝远离所述炉盖轴线方向向下倾斜，便于清理防爆罐内氧化物。
[0028]综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：
[0029]1.在炉盖上开设防爆口，引流罩安装于炉盖上覆盖住防爆口，且引流罩内腔活动链接有翻板以控制启、闭防爆口；如果单晶炉出现漏硅、漏水等事故导致炉内气体量剧增时，炉内压力增加能够将盖住防爆口的翻板顶起使气流从炉内流出，使得炉内压力处于稳定状态，减少单晶炉内物料从顶部喷出或炉体爆炸的状况。
[0030]2.引流罩相有导流管且导流管与引流罩内腔连通，控制从炉内排出的高温气体的流向，使得炉内高温气体从防爆管溢出后流向导流管排到炉体底部，减少炉体上方操作人员被烫伤。
[0031]3.上引流管与上炉筒相连接、下引流管与下炉体相连接；下引流管与上引流管可分离设置，上引流管能够随上炉筒上升旋转，方便单晶炉的拆装。
附图说明
[0032]图1是本申请实施例1使用时的整体结构示意图；
[0033]图2是本申请实施例1的剖视示意图；
[0034]图3是图2中A处的局部放大示意图；
[0035]图4时图2中B处的局部放大示意图；
[0036]图5是本申请实施例2显示翻板在引流罩内的连接结构的示意图。
[0037]附图标记说明：1、炉盖；11、防爆口；12、防爆管；13本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉盖防爆及引流装置,其特征在于：包括引流罩（13），所述引流罩（13）安装于炉盖（1）上，所述炉盖（1）上开设有防爆口（11），所述引流罩（13）用于覆盖开设于炉盖（1）上的所述防爆口（11）；翻板（131），所述翻板（131）活动设置在引流罩（13）内，用于启、闭所述防爆口（11）；以及引流管（4），所述引流管（4）一端和所述引流罩（13）相连且与引流罩（13）内腔连通。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，其特征在于：所述炉盖（1）上固定有覆盖所述防爆口（11）的防爆管（12），所述引流罩（13）罩设于所述防爆管（12）外，所述引流罩（13）开设有供防爆管（12）穿入的穿入孔（133），所述翻板（131）用于启、闭防爆管（12）远离防爆口（11）的一端。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，其特征在于：所述翻板（131）一端和所述引流罩（13）内壁铰接。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，其特征在于：所述翻板（131）滑动设置于所述引流罩（13）内。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉炉盖防爆及引流装置，其特征在于：所述引流罩（13）内固定连接有竖直或倾斜的导向杆（135），所述翻板（131）上开设有供导向杆（135）穿设的导向孔（132），所述导向杆（135）端部固定连接有用于和翻板（131）抵接并覆...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉，常晓鱼，黄鸣，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。