灯箱驱动组件和半导体工艺设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种灯箱驱动组件，包括安装座、驱动装置、主动轮、第一惰轮轴、第一惰轮、第二惰轮轴、第二惰轮、传动带、惰轮固定件和至少一个从动轮，第一惰轮设置在第一惰轮轴上，第二惰轮设置在第二惰轮轴上，第一惰轮轴和第二惰轮轴的顶端均与安装座连接，传动带套设在主动轮及从动轮上，驱动装置用于驱动主动轮旋转；惰轮固定件套设在第一惰轮轴的底端、第二惰轮轴的底端以及安装座上。在本实用新型专利技术中，惰轮受到的载荷可由惰轮轴两端连接的安装座和惰轮固定件分担，使惰轮结构能够有效抵抗灯箱改变旋转方向时对惰轮结构的冲击，提高了灯箱驱动组件长期运转的稳定性。箱驱动组件长期运转的稳定性。箱驱动组件长期运转的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
灯箱驱动组件和半导体工艺设备


[0001]本技术涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种灯箱驱动组件和一种半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]近年来，紫外线固化工艺在半导体行业的应用越来越广泛，其主要作用是提高晶圆镀膜层的机械强度、降低材料的介电常数K值以达到减小电容，提高器件工作频率的目的。由于机台对紫外光源高功率的要求，目前行业内使用到的商业化紫外灯源大多为近似圆柱型的无极汞灯，为了达到晶圆工艺处理的均匀性要求，需要使晶圆和紫外灯源发生相对旋转运动。由于受到紫外灯源线缆安装、晶圆位置和空间等因素的影响，晶圆与紫外灯源同方向连续旋转的动作很难实现，一般采用使紫外灯源或晶圆连续0
°‑
180
°‑0°
循环旋转的方式，如紫外灯源不动，承载晶圆的基座在0
°‑
180
°
范围内循环旋转；或晶圆不动，紫外灯源在0
°‑
180
°
范围内循环旋转，直至工艺结束。考虑到晶圆在真空腔室内受到工艺条件的作用(如气流、温度场等因素)，为防止滑片，需尽可能避免晶圆运动，因此现有技术中多采用紫外灯源往复旋转的方式。
[0003]紫外线固化工艺通常为双腔结构，在进行工艺时，两个装有紫外灯源的灯箱在灯箱驱动组件的作用下做往复旋转运动，为了保证工艺的均匀性，需确保光源在特定的时间内，转过特定的角度，即尽可能的保证光源始终在匀速运动。这就要求灯箱在改变方向时，加速度极大，使速度瞬间由0加速到所需数值，这对灯箱驱动组件的冲击力很大，很难保证其长期稳定运行，而一旦光源运动状态发生改变，紫外固化效果立即会受到严重影响，甚至使产品报废，如何提高灯箱驱动组件的运动稳定性显得格外重要。
[0004]现有的灯箱驱动组件通常是驱动主动轮转动，通过传动带带动两个从动轮及其上设置的灯箱一同转动，两个惰轮用于增大传动带在主动轮上的包角。
[0005]然而，现有的灯箱驱动组件中常出现惰轮松动的问题，导致传动带在长期使用下脱离原高度，使灯箱驱动组件与灯箱之间的传动受阻，稳定性较差。因此，如何提供一种结构稳定的灯箱驱动组件，成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术旨在提供一种灯箱驱动组件和一种半导体工艺设备，该灯箱驱动组件结构稳定。
[0007]为实现上述目的，作为本技术的一个方面，提供一种灯箱驱动组件，用于半导体工艺设备，所述灯箱驱动组件包括安装座、驱动装置、主动轮、第一惰轮轴、第一惰轮、第二惰轮轴、第二惰轮、传动带和至少一个从动轮，所述安装座用于与半导体工艺设备的工艺腔室固定连接，所述驱动装置设置于所述安装座上且与所述主动轮连接，所述第一惰轮设置在所述第一惰轮轴上且能够绕所述第一惰轮轴转动，所述第二惰轮设置在所述第二惰轮轴上且能够绕所述第二惰轮轴转动，所述第一惰轮轴和所述第二惰轮轴的顶端均与所述安
装座连接，所述传动带套设在所述主动轮及所述从动轮上，所述驱动装置用于驱动所述主动轮旋转，以驱动所述传动带带动所述从动轮旋转，所述从动轮用于与所述半导体工艺设备的灯箱固定连接；所述灯箱驱动组件还包括惰轮固定件，所述惰轮固定件套设在所述第一惰轮轴的底端、所述第二惰轮轴的底端以及所述安装座上，以固定所述第一惰轮轴的底端和所述第二惰轮轴的底端的水平位置。
[0008]可选地，所述灯箱驱动组件还包括张紧件和惰轮调节机构，所述第一惰轮轴的顶端与所述张紧件固定连接，所述张紧件与所述安装座铰接且能够绕竖直轴线相对于所述安装座旋转，所述惰轮调节机构的两端分别与所述张紧件和所述安装座连接，所述惰轮调节机构能够伸缩以调节所述张紧件与所述安装座之间的角度，且在所述第一惰轮轴随所述张紧件转动至任意位置后，所述第一惰轮轴的底端均能够与所述惰轮固定件固定连接。
[0009]可选地，所述惰轮固定件为板状且沿水平方向设置，所述惰轮固定件上形成有圆弧安装槽，所述圆弧安装槽的弧形轮廓用于匹配所述张紧件与所述安装座进行角度调节时，所述第一惰轮轴的底端的移动轨迹；
[0010]所述灯箱驱动组件还包括惰轮紧定螺钉，所述第一惰轮轴的底端形成有紧定螺纹孔，所述惰轮紧定螺钉用于由下方穿过所述圆弧安装槽并旋入所述紧定螺纹孔中，以将所述惰轮固定件与所述第一惰轮轴的底端可拆卸地固定连接；
[0011]所述灯箱驱动组件还包括惰轮固定螺钉，所述惰轮固定件上还形成有惰轮固定孔，所述第二惰轮轴的底端形成有固定螺纹孔，所述惰轮固定螺钉由下方穿过所述惰轮固定孔并旋入所述固定螺纹孔中，以将所述惰轮固定件与所述第二惰轮轴的底端固定连接。
[0012]可选地，所述安装座包括固定板、支撑底座和多个支撑柱，所述支撑底座用于与所述工艺腔室固定连接，所述固定板设置在所述支撑底座的上方，并与所述驱动装置固定连接，多个所述支撑柱竖直设置并连接在所述支撑底座与所述固定板之间，所述张紧件与所述固定板铰接；
[0013]所述惰轮固定件上还形成有至少一个避让孔，所述避让孔一一对应地套设在至少一个所述支撑柱上。
[0014]可选地，所述支撑底座包括底板和至少一个连接座，所述底板用于与所述工艺腔室固定连接，所述连接座固定设置在所述底板上，每个所述连接座的位置均与一个所述支撑柱的位置对应，且所述连接座与对应的所述支撑柱的底端固定连接。
[0015]可选地，所述底板上和\或所述连接座上形成有与多个所述支撑柱位置对应的安装槽，所述安装槽的底部形成有安装螺纹孔，所述支撑柱的底端端面上形成有与所述支撑柱同轴的安装螺杆，所述支撑柱一一对应地插入所述安装槽中，所述安装螺杆一一对应地旋入所述安装螺纹孔中，且所述支撑柱的侧面与所述安装槽的内壁间隙配合。
[0016]可选地，所述支撑柱的侧面与所述安装槽的内壁之间的间隙宽度为0.1mm
‑
0.3mm。
[0017]可选地，所述灯箱驱动组件还包括安装钉和紧固螺钉，所述张紧件具有第一连接台，所述固定板具有第二连接台，所述第一连接台的底部形成有铰接轴，所述第二连接台上形成有沿厚度方向贯穿所述第二连接台的铰接孔，所述铰接轴设置在所述铰接孔中；
[0018]所述第一连接台上还形成有沿厚度方向贯穿所述第一连接台并经过所述铰接轴的安装孔，所述安装钉的尾端端面上形成有紧固螺纹孔，所述安装钉由所述安装孔的一端插入所述安装孔中，所述紧固螺钉由所述安装孔的另一端插入所述安装孔中，并旋入所述
紧固螺纹孔中，以通过所述安装钉的头部和所述紧固螺钉的头部将所述第一连接台与所述第二连接台压紧。
[0019]可选地，所述铰接轴的长度小于所述第二连接台的厚度，且所述安装钉的钉杆长度小于所述第一连接台与所述第二连接台的厚度之和；所述第二连接台的厚度与所述铰接轴的长度之间的差为0.5mm
‑
1mm；所述第一连接台与所述第二连接台的厚度之和与所述安装钉的钉杆长度之间的差为0.5mm
‑
1mm。
[0020]作为本技术的第二个方面，提供一种半导体工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种灯箱驱动组件，用于半导体工艺设备，所述灯箱驱动组件包括安装座、驱动装置、主动轮、第一惰轮轴、第一惰轮、第二惰轮轴、第二惰轮、传动带和至少一个从动轮，所述安装座用于与半导体工艺设备的工艺腔室固定连接，所述驱动装置设置于所述安装座上且与所述主动轮连接，所述第一惰轮设置在所述第一惰轮轴上且能够绕所述第一惰轮轴转动，所述第二惰轮设置在所述第二惰轮轴上且能够绕所述第二惰轮轴转动，所述第一惰轮轴和所述第二惰轮轴的顶端均与所述安装座连接，所述传动带套设在所述主动轮及所述从动轮上，所述驱动装置用于驱动所述主动轮旋转，以驱动所述传动带带动所述从动轮旋转，所述从动轮用于与所述半导体工艺设备的灯箱固定连接；其特征在于，所述灯箱驱动组件还包括惰轮固定件，所述惰轮固定件套设在所述第一惰轮轴的底端、所述第二惰轮轴的底端以及所述安装座上，以固定所述第一惰轮轴的底端和所述第二惰轮轴的底端的水平位置。2.根据权利要求1所述的灯箱驱动组件，其特征在于，所述灯箱驱动组件还包括张紧件和惰轮调节机构，所述第一惰轮轴的顶端与所述张紧件固定连接，所述张紧件与所述安装座铰接且能够绕竖直轴线相对于所述安装座旋转，所述惰轮调节机构的两端分别与所述张紧件和所述安装座连接，所述惰轮调节机构能够伸缩以调节所述张紧件与所述安装座之间的角度，且在所述第一惰轮轴随所述张紧件转动至任意位置后，所述第一惰轮轴的底端均能够与所述惰轮固定件固定连接。3.根据权利要求2所述的灯箱驱动组件，其特征在于，所述惰轮固定件为板状且沿水平方向设置，所述惰轮固定件上形成有圆弧安装槽，所述圆弧安装槽的弧形轮廓用于匹配所述张紧件与所述安装座进行角度调节时，所述第一惰轮轴的底端的移动轨迹；所述灯箱驱动组件还包括惰轮紧定螺钉，所述第一惰轮轴的底端形成有紧定螺纹孔，所述惰轮紧定螺钉用于由下方穿过所述圆弧安装槽并旋入所述紧定螺纹孔中，以将所述惰轮固定件与所述第一惰轮轴的底端可拆卸地固定连接；所述灯箱驱动组件还包括惰轮固定螺钉，所述惰轮固定件上还形成有惰轮固定孔，所述第二惰轮轴的底端形成有固定螺纹孔，所述惰轮固定螺钉由下方穿过所述惰轮固定孔并旋入所述固定螺纹孔中，以将所述惰轮固定件与所述第二惰轮轴的底端固定连接。4.根据权利要求3所述的灯箱驱动组件，其特征在于，所述安装座包括固定板、支撑底座和多个支撑柱，所述支撑底座用于与所述工艺腔室固定连接，所述固定板设置在所述支撑底座的上方，并与所述驱动装置固定连接，多个所述支撑柱竖直设置并连接在所述支撑底座与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊召，顾文亮，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：