【技术实现步骤摘要】
晶棒粘棒用定位装置
[0001]本技术涉及蓝宝石晶片加工
,具体地涉及一种晶棒粘棒用定位装置。
技术介绍
[0002]蓝宝石由于其稳定性高,具有超强硬的机械特性,且能够透过蓝宝石晶体的波段范围非常广,因而蓝宝石晶体被广泛应用于衬底材料、消费电子、军工等领域。
[0003]蓝宝石晶片的加工工艺流程为粘棒、切片、研磨、倒角、清洗、退火、上蜡、铜抛、软抛、和检测。粘棒作为蓝宝石切片前生产加工的一个重要工序流程,对晶片良率影响较大,传统的粘棒仪器主要是在粘棒台上经过人工干预使晶棒在导轨上粘出合适的角度,受粘棒台、垫台、和导轨及人工发力等因素的影响,粘棒角度的精确度较低。当前蓝宝石晶棒粘棒主要是使用AB胶先将晶棒粘到玻璃垫条或树脂垫条上,再用AB胶将粘有垫条的晶棒粘到导轨上,而蓝宝石切割工艺对粘棒的角度精确度要求较高,人为干预使晶棒在AB胶凝固前粘到合适角度误差较大,容易出现粘歪的现象,粘歪会使切片后的晶片报废或切片前需要在脱胶台上加热后将晶棒脱下重新粘棒,影响晶片良率且费时费力。
技术实现思路
[0004] ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶棒粘棒用定位装置,其特征在于,包括支撑架(1)、设置于所述支撑架(1)的顶部的调角组件和夹持组件(7),所述夹持组件(7)能够抓取晶棒,所述调角组件与所述夹持组件(7)传动连接并能够调节所述夹持组件(7)相对于所述支撑架(1)的角度。2.根据权利要求1所述的晶棒粘棒用定位装置,其特征在于,所述调角组件包括调节球(2)以及调节件,所述调节球(2)与所述夹持组件(7)传动连接,所述调节件能够驱动所述调节球(2)绕其球心转动。3.根据权利要求2所述的晶棒粘棒用定位装置,其特征在于,所述调节件包括第一调节棒(3),所述第一调节棒(3)沿所述调节球(2)的径向方向插入所述调节球(2)内,以驱动所述调节球(2)绕其球心旋转。4.根据权利要求3所述的晶棒粘棒用定位装置,其特征在于,所述调节件还包括第二调节棒(4),所述第二调节棒(4)沿所述调节球(2)的径向方向插入所述调节球(2)内,所述第二调节棒(4)与所述第一调节棒(3)垂直设置。5.根据权利要求4所述的晶棒粘棒用定位装置,其特征在于,所述第一调节棒(3)沿水平方向设置,所述第二调节棒(4)沿垂直方向设置。6.根据权利要求4所述的晶棒粘棒用定位装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙健,宋亚滨,翟虎,陆继波,周文辉,
申请(专利权)人:甘肃旭晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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