一种载具和处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种载具和处理设备，涉及光伏技术领域，以解决现有技术中制备掩膜的方式复杂，成本高，导致背接触太阳能电池的制作效率降低，制作成本高的问题。所述载具包括：承载组件和隔板。承载组件具有承载空间；多个隔板间隔排列于承载空间，多个隔板将承载空间划分为至少一个第一空间和至少一个第二空间，第一空间和第二空间交替排列，第一空间用于容纳工件，每个第一空间所对应的至少一个隔板上开设有镂空区域，镂空区域的正投影对应工件的一侧表面中待处理区域，处理工件表面的处理剂通过镂空区域设置于与工件对应的待处理区域，镂空区域连通第二空间和第一空间。本实用新型专利技术还提供了一种处理设备，包括上述技术方案所述的载具。的载具。的载具。

【技术实现步骤摘要】
一种载具和处理设备


[0001]本技术涉及光伏
，尤其涉及一种载具和处理设备。

技术介绍

[0002]背接触太阳能电池，是一种具有叉指形状的背结光伏电池。由于背接触太阳能电池的发射极和金属接触都处于电池的背面，这种结构有效减少了正面遮挡损失，增大了电池的有效接触面积。因此，不仅可以获得更高的短路电流，同时，背面可以容许较宽的金属栅线来降低串联电阻，以提高填充因子，进而使背接触太阳能电池具有较高的光电转换效率。
[0003]现有技术中，为了形成背接触太阳能电池的P+和N+的叉指结构，通常会在其表面制作图案化SiO
X
、SiO2掩膜，使得电池表面形成无掩膜的扩散区域和有掩膜的遮挡区域，进而形成P+区和N+区。但是，上述制备掩膜的方式复杂，成本高。基于此，会降低背接触太阳能电池的制作效率，增加制作成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种载具和处理设备，用于提高背接触太阳能电池的制作效率，降低制作成本。
[0005]为了实现上述目的，第一方面，本技术提供了一种载具。该载具包括：承载组件和隔板。承载组件具有承载空间；多个隔板间隔排列于承载空间，多个隔板将承载空间划分为至少一个第一空间和至少一个第二空间，第一空间和第二空间交替排列，第一空间用于容纳工件，每个第一空间所对应的至少一个隔板上开设有镂空区域，镂空区域的正投影对应工件的一侧表面中待处理区域，处理工件表面的处理剂通过镂空区域设置于与工件对应的待处理区域，镂空区域连通第二空间和第一空间。
[0006]与现有技术相比，本技术提供的载具中，由于处理工件表面的处理剂可以通过镂空区域定向设置于与工件对应的待处理区域，此时，利用隔板上开设的镂空区域便可以简单快速的实现处理剂对工件表面的定向处理，以使待处理区域形成实际需要的结构。即，只需根据工件待处理区域的不同选择合适的隔板即可。相比于现有技术中利用工艺设备制作图案化SiO
X
、SiO2掩膜的方式，利用本技术提供的载具对工件进行处理不仅简单方便，降低了工艺的复杂程度，提高了工件的制作效率。同时，还减少了工艺设备的投入，降低了制作成本。
[0007]在一种实现方式中，上述承载组件包括：基板和第一连接件。两个基板相对且间隔设置，且基板与隔板相对设置。第一连接件包括两端，第一连接件的两端分别与基板连接，隔板与第一连接件连接。其中，组装后的基板和第一连接件之间具有承载空间。
[0008]采用上述技术方案的情况下，上述承载组件仅包括基板和第一连接件两部分，该承载组件不仅结构简单，易于制作，同时还便于工作人员快速组装，节约了工作时间。
[0009]在一种实现方式中，上述承载组件还包括：限位件。限位件包括两端，限位件的两
端分别与基板连接，并且限位件位于相邻两个第一连接件之间，用于辅助限定工件与承载空间的相对位置。隔板分别与第一连接件和限位件连接。
[0010]采用上述技术方案的情况下，利用限位件可以确保隔板和工件完全设置在承载空间内，避免出现隔板和工件相对于承载组件突出的情况发生。即可以避免出现隔板和工件放置在承载组件内的过程中发生位置偏移的情况。基于此，不仅可以确保隔板与工件的相对位置固定，同时也可以确保处理剂施加在工件上的位置是工件的待处理区域，进而确保对工件处理的准确性。接着，还可以确保隔板和工件在承载组件内位置固定，以减小或避免在实际处理过程中，由于晃动或者其他情况的发生导致工件或隔板从承载组件中掉落，进而导致工件或隔板损坏的情况发生。即限位件还可以确保工件和隔板的安全性。
[0011]在一种实现方式中，上述基板与第一连接件所具有的中心轴线垂直；隔板与基板相互平行。
[0012]采用上述技术方案的情况下，可以使隔板与工件的表面正对，即隔板的正投影与工件表面重合。此时，可以确保处理剂通过隔板上开设的镂空区域后形成在工件表面上的结构与实际需要的结构一致，减少或避免出现形成的结构与实际需要的结构形状不一致的情况，进而确保处理后工件的质量。
[0013]在一种实现方式中，每一第一空间的间距与工件的厚度之间具有差值，差值为0μm～10μm。
[0014]采用上述技术方案的情况下，由于存在上述差值，此时便于将工件放置在第一空间内，减小或避免工件与隔板相互碰撞导致工件或隔板损坏的情况发生。应理解，上述差值不足以使处理剂通过第一空间和工件之间的间隔附着或沉积到工件的表面，进而不会影响对工件的正常处理，不会影响后期形成的工件的质量。
[0015]在一种实现方式中，每一第二空间的间距为1mm～10mm。
[0016]采用上述技术方案的情况下，不仅可以确保处理剂的正常流通，进而确保每一个待处理的工件上都形成实际需要的结构。同时，还可以在承载空间内设置更多的隔板，形成更多的第一空间和第二空间，以使载具可以同时处理多个工件。基于此，不仅可以节省处理时间，提高工件的处理效率，同时还可以降低处理成本，提高载具的处理产能。
[0017]在一种实现方式中，上述处理剂包括掺杂气体或沉积气体；
[0018]第二空间用于通入掺杂气体，镂空区域用于将第二空间内的掺杂气体通向相邻的第一空间内并使掺杂气体与镂空区域的正投影对应的工件的一侧表面中的待处理区域进行接触扩散；
[0019]或，第二空间用于通入沉积气体，镂空区域用于将第二空间内的沉积气体通向相邻的第一空间内并使沉积气体沉积于镂空区域的正投影对应的工件的一侧表面中的待处理区域。
[0020]采用上述技术方案的情况下，采用本技术提供的载具不仅可以实现向工件掺杂处理剂，同时还可以在工件的表面沉积处理剂。基于此，可以根据实际需要选择合适的处理剂对工件进行处理，以扩大载具的适用范围，增加载具的应用场景。进一步地，相比于现有技术，由于本技术提供的载具既可以实现掺杂处理还可以实现沉积处理。此时，可以节省处理设备，降低处理成本。
[0021]在一种实现方式中，一个第一空间内用于容纳一个工件，且工件的待处理表面朝
向具有镂空区域的隔板；
[0022]或，一个第一空间内用于容纳两个工件，该第一空间对应的两个隔板均开设有镂空区域，位于该第一空间内的两个工件的待处理表面相背设置。
[0023]采用上述技术方案的情况下，采用本技术提供的载具可以根据待处理工件的表面数量，选择合适的隔板以实现一次仅处理一个工件，或者同时处理两个工件，以进一步提高对工件的处理效率。
[0024]在一种实现方式中，上述镂空区域为栅槽状镂空区域或网孔状镂空区域。
[0025]采用上述技术方案的情况下，上述镂空区域形状的选择性较多，此时，可以根据实际需要选择具有合适形状的镂空区域的隔板。基于此，可以使开设有镂空区域的隔板适应不同的应用场景，进而扩大隔板的适用范围。
[0026]在一种实现方式中，上述载具还包括第二连接件；第二连接件串联连接多个隔板，用于调整第一空间的间距和第二空间的间距。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载具，其特征在于，包括：承载组件，具有承载空间；隔板，多个所述隔板间隔排列于所述承载空间，多个所述隔板将所述承载空间划分为至少一个第一空间和至少一个第二空间，所述第一空间和所述第二空间交替排列，所述第一空间用于容纳工件，每个所述第一空间所对应的至少一个隔板上开设有镂空区域，所述镂空区域的正投影对应所述工件的一侧表面中待处理区域，处理所述工件表面的处理剂通过所述镂空区域设置于与所述工件对应的待处理区域，所述镂空区域连通所述第二空间和所述第一空间。2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述承载组件包括：基板，两个所述基板相对且间隔设置，且所述基板与所述隔板相对设置；第一连接件，所述第一连接件包括两端，所述第一连接件的两端分别与所述基板连接，所述隔板与所述第一连接件连接；其中，组装后的所述基板和所述第一连接件之间具有所述承载空间。3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述承载组件还包括：限位件，所述限位件包括两端，所述限位件的两端分别与所述基板连接，并且所述限位件位于相邻两个所述第一连接件之间，用于辅助限定所述工件与所述承载空间的相对位置；所述隔板分别与所述第一连接件和所述限位件连接。4.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述基板与所述第一连接件所具有的中心轴线垂直；所述隔板与所述基板相互平行。5.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，每一所述第一空间的间距与所述工件的厚度之...

【专利技术属性】
技术研发人员：李灵芝，孙波，李中兰，鲁伟明，李华，靳玉鹏，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：