本申请涉及一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，涉及沉积炉热电偶测温技术领域。其包括热电偶主体、温度记录仪以及固接于沉积炉外壁上的固定法兰，还包括补偿导线、连接法兰以及用于密封所述连接法兰与所述补偿导线空隙的耐高温胶粘剂；所述补偿导线一端与所述热电偶主体固接，另一端与所述温度记录仪固接；所述连接法兰上开设有用于所述补偿导线穿设的通孔，且所述连接法兰与所述固定法兰同轴固接；所述耐高温胶粘剂设置于所述通孔中，且所述耐高温胶粘剂与所述连接法兰的内壁固接，所述耐高温胶粘剂充满所述通孔。本申请具有提高沉积炉内腔的气密性的效果。炉内腔的气密性的效果。炉内腔的气密性的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器
[0001]本申请涉及沉积炉热电偶测温
，尤其是涉及一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器。
技术介绍
[0002]气相沉积炉俗称沉积炉，是化学气相沉积技术中所使用的设备，化学气相沉积是指在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度的条件下,赋予材料表面一些特殊的性能的一种材料表面改性技术；由于现有的沉积炉体积较大，使得沉积炉内的温度偏差较大，因此需要在沉积炉内安装热电偶，以便于对沉积炉内的温度进行实时监测；热电偶是温度测量仪表中常用的测温元件，通过补偿导线将热电偶与温度记录仪连接，使得热电偶将沉积炉内的温度信号转换成电动势信号，通过补偿导线将电动势信号输送至温度记录仪以显示温度的数值。
[0003]相关技术中，热电偶的安装方式，将补偿导线穿过连接法兰，补偿导线的截面由内至外包括金属线与绝缘层，然后将热电偶主体与补偿导线连接，补偿导线远离热电偶主体的一端与温度记录仪连接，然后通过螺栓将连接法兰与沉积炉上的固定法兰固接，连接法兰与固定法兰之间设置有密封垫片，以便于保证沉积炉的气密性；热电偶主体将感应的温度信号转换成电动势信号，通过补偿导线将电动势信号输送至温度记录仪上进行温度数值的显示。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为为了补偿导线能够穿过密封垫片，需要补偿导线直径略小于密封垫片的孔径，使得空气通过连接法兰进入密封垫片与补偿导线之间的空隙，进而使得空气进入沉积炉内，影响沉积炉内腔的气密性。
技术实现思路
[0005]为了提高沉积炉内腔的气密性，本申请提供一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器。
[0006]本申请提供的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器采用如下的技术方案：
[0007]一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，包括热电偶主体、温度记录仪以及固接于沉积炉外壁上的固定法兰，还包括补偿导线、连接法兰以及用于密封所述连接法兰与所述补偿导线空隙的耐高温胶粘剂；
[0008]所述补偿导线一端与所述热电偶主体固接，另一端与所述温度记录仪固接；
[0009]所述连接法兰上开设有用于所述补偿导线穿设的通孔，且所述连接法兰与所述固定法兰同轴固接；
[0010]所述耐高温胶粘剂设置于所述通孔中，且所述耐高温胶粘剂与所述连接法兰的内壁固接，所述耐高温胶粘剂充满所述通孔。
[0011]通过采用上述技术方案，将补偿导线穿设在通孔中，使用耐高温胶粘剂充满通孔，待耐高温胶粘剂凝固之后，使得补偿导线固定在通孔中，耐高温胶粘剂与通孔孔壁固接，对连接法兰与补偿导线之间的空隙进行了封堵，然后将补偿导线一端与热电偶主体固接，将
连接法兰安装在固定法兰上，最后将补偿导线远离热电偶主体的一端与温度记录仪连接；设计的适用于沉积炉的热电偶穿馈器，通过耐高温胶粘剂将连接法兰与补偿导线之间的空隙进行了封堵，防止了外界的空气通过通孔进入沉积炉内腔，提高了沉积炉内腔的气密性，保证了沉积炉的真空度。
[0012]可选的，所述连接法兰与所述固定法兰之间设置有用于封堵所述连接法兰与所述固定法兰之间空隙的密封垫片，所述补偿导线贯穿所述密封垫片设置，且所述补偿导线与所述密封垫片滑移连接。
[0013]通过采用上述技术方案，设计的密封垫片，便于封堵连接法兰与固定法兰之间的空隙，提高了沉积炉内腔的气密性。
[0014]可选的，所述补偿导线设置有多组，多组所述补偿导线均穿设于所述通孔中，且每一组所述补偿导线的一端均与一个所述热电偶主体固接，另一端与所述温度记录仪固接。
[0015]通过采用上述技术方案，设计的多组补偿导线，使得每一组补偿导线的一端均固接一个热电偶主体，进而便于同时对沉积炉内腔的不同位置进行测温，同时，可以是一组补偿导线单独固接一个温度记录仪，也可以是多组补偿导线共同固接一个温度记录仪，提高了热电偶穿馈器的适用性。
[0016]可选的，所述连接法兰远离所述固定法兰一端开设有沉孔，所述沉孔与所述通孔同轴设置，且所述沉孔直径大于所述通孔直径，所述沉孔与所述通孔连通；
[0017]所述沉孔中同轴设置有第一绝缘片，所述第一绝缘片外周壁与所述沉孔的孔壁固接，且所述第一绝缘片靠近所述连接法兰与所述固定法兰的连接端设置，所述第一绝缘片上开设有用于所述补偿导线穿设的第一穿设孔。
[0018]通过采用上述技术方案，设计的沉孔与第一绝缘片，沉孔的直径大于通孔的直径，便于对第一绝缘片进行限位，进而便于第一绝缘片对耐高温胶粘剂进行支撑，同时，在第一绝缘片上开设有第一穿设孔，便于补偿导线穿过第一绝缘片。
[0019]可选的，所述沉孔中同轴设置有第二绝缘片，所述第二绝缘片外周壁与所述沉孔的孔壁固接，且所述第二绝缘片远离所述连接法兰与所述固定法兰的连接端设置，所述第二绝缘片上开设有用于所述补偿导线穿设的第二穿设孔，所述耐高温胶粘剂位于所述第一绝缘片与所述第二绝缘片之间，相邻两根所述补偿导线之间互不接触。
[0020]通过采用上述技术方案，设计的第二绝缘片，在第二绝缘片上开设第二穿设孔，便于补偿导线穿过第二绝缘片，同时，在第一绝缘片与第二绝缘片的共同作用下，使得相邻两根补偿导线之间留有空隙，通过耐高温胶粘剂将补偿导线进行固定，避免同一组补偿导线与温度记录仪错误地接线。
[0021]可选的，位于所述第一绝缘片与所述第二绝缘片之间的所述补偿导线去除绝缘层。
[0022]通过采用上述技术方案，将第一绝缘片与第二绝缘片之间的补偿导线去除绝缘层，以防止绝缘层因高温熔化而使得补偿导线与胶粘剂之间产生空隙，保证了沉积炉内腔的气密性。
[0023]可选的，同一根所述补偿导线贯穿的所述第一穿设孔与所述第二穿设孔同轴设置。
[0024]通过采用上述技术方案，通过将同一根补偿导线贯穿的第一穿设孔与第二穿设孔
同轴设置，避免了相邻两根补偿导线因搭接而影响电动势信号的输送，同时，也便于将同一组补偿导线与温度记录仪正确接线。
[0025]可选的，每一根所述补偿导线滑移连接有用于封堵所述第一穿设孔的封堵块，所述封堵块上开设有用于所述补偿导线穿设的第三穿设孔。
[0026]通过采用上述技术方案，设计的封堵块，在浇注耐高温胶粘剂时，封堵块将第一穿设孔与补偿导线之间的空隙进行封堵，防止耐高温胶粘剂穿过第一穿设孔与补偿导线之间的空隙而流出通孔，减小了耐高温胶粘剂的浪费。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0028]1.设计的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，通过耐高温胶粘剂将连接法兰与补偿导线之间的空隙进行了封堵，防止了外界的空气通过通孔进入沉积炉内腔，提高了沉积炉内腔的气密性，保证了沉积炉的真空度；
[0029]2.设计的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，将第一绝缘片与第二绝缘片之间的补偿导线去除绝缘层，以防止绝缘层因高温熔化而使得补偿导线与胶粘剂之间产生空隙，保证了沉积炉内腔的气密性；
[0030]3.设计的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，通过将同一根补偿导线贯穿的第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，包括热电偶主体(1)、温度记录仪(2)以及固接于沉积炉外壁上的固定法兰(5)，其特征在于：还包括补偿导线(3)、连接法兰(4)以及用于密封所述连接法兰(4)与所述补偿导线(3)空隙的耐高温胶粘剂；所述补偿导线(3)一端与所述热电偶主体(1)固接，另一端与所述温度记录仪(2)固接；所述连接法兰(4)上开设有用于所述补偿导线(3)穿设的通孔(41)，且所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)同轴固接；所述耐高温胶粘剂设置于所述通孔(41)中，且所述耐高温胶粘剂与所述连接法兰(4)的内壁固接，所述耐高温胶粘剂充满所述通孔(41)。2.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)之间设置有用于封堵所述连接法兰(4)与所述固定法兰(5)之间空隙的密封垫片(6)，所述补偿导线(3)贯穿所述密封垫片(6)设置，且所述补偿导线(3)与所述密封垫片(6)滑移连接。3.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述补偿导线(3)设置有多组，多组所述补偿导线(3)均穿设于所述通孔(41)中，且每一组所述补偿导线(3)的一端均与一个所述热电偶主体(1)固接，另一端与所述温度记录仪(2)固接。4.根据权利要求1所述的一种适用于沉积炉的热电偶穿馈器，其特征在于：所述连接法兰(4)远离所述固定法兰(5)一端开设有沉孔(42)，所述沉孔(42)与所述通孔(41)同轴设置，且所述沉孔(42)直...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾武林，孙勇，樊乾国，梁钊，迪晨阳，
申请(专利权)人：陕西美兰德炭素有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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