一种氧化铝机械手臂粘结装置及工艺制造方法及图纸

技术编号:35826587 阅读:28 留言:0更新日期:2022-12-03 13:54
本发明专利技术公开了一种氧化铝机械手臂粘结装置及工艺,涉及机械手臂粘结技术领域,包括粘结点胶机主体,所述粘结点胶机主体上安装有移动行杆,所述移动行杆上连接有移动臂,所述移动臂上安装有固定板,所述固定板上设置有固定组件,所述固定板通过固定组件固定安装有固定组件;通过设置的固定组件,其中固定组件包括滑槽、滑块、闭环、限位腔、活动腔、弹簧、限位块、开槽和拉杆,当闭环长时间使用损坏后,只需同理向后拉动拉杆,使得拉杆带动限位块移动至活动腔内,这时工作人员向上拉动闭环,将闭环通过滑块从滑槽内向上滑出进行更换即可,省时省力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铝机械手臂粘结装置及工艺


[0001]本专利技术涉及机械手臂粘结
,特别是涉及一种氧化铝机械手臂粘结装置及工艺。

技术介绍

[0002]高纯氧化铝机械手臂一般都是用在半导体行业当中的晶圆转运工作,由于工作条件的要求一般都采用纯度高于997的氧化铝陶瓷材料制作,氧化铝机械手主要由执行机构、驱动机构和控制系统三大部分组成。按驱动方式可分为液压式、气动式、电动式、机械式,各系统之间的连接需要通过螺栓连接固定。液压式换油有拆卸返修要求,各部件间的密封性要求很高,机械手臂在制造过程中,两两零部件之间需要注入胶水进行粘结,这就需要涌动专门的粘结装置,例如点胶机。
[0003]但是现有的氧化铝机械手臂粘结装置及工艺仍存在一些弊端,传统的粘结装置点胶机上设置有一体式固定组件,打开闭环后用于固定胶水注入管,用于固定胶管外壁的闭环长时间打开关闭会导致损坏,但是因为固定组件整体通过多组螺栓固定在移动机械臂上,单单一个闭环损坏,需要更换整个固定组件,同时闭环的直径大小是固定的,决定了胶管必须与闭环统一尺寸,无法使得粘结工艺中购买到的多种粗细不同的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化铝机械手臂粘结装置,包括粘结点胶机主体(1),其特征在于:所述粘结点胶机主体(1)上安装有移动行杆(2),所述移动行杆(2)上连接有移动臂(3),所述移动臂(3)上安装有固定板(4),所述固定板(4)上设置有固定组件(6),所述固定板(4)通过固定组件(6)固定安装有固定组件(6),所述固定板(4)底端固定有与闭环(63)配合的用于承托胶水注入管(5)底端注入头的托板;所述固定组件(6)包括开设在固定板(4)内的滑槽(61)、与滑槽(61)滑动连接的滑块(62)、固定在滑块(62)外壁上的闭环(63)、开设在闭环(63)内壁的限位腔(64)、开设在滑槽(61)内的活动腔(65)、连接在活动腔(65)内壁的弹簧(66)、与活动腔(65)内滑动连接且与弹簧(66)连接的限位块(67)、开设在活动腔(65)上端固定板(4)外壁上的开槽(68)和固定在限位块(67)顶端外壁上且与开槽(68)滑动连接的拉杆(69)。2.根据权利要求1所述的一种氧化铝机械手臂粘结装置,其特征在于:所述滑块(62)的厚度等于限位块(67)弹出后底端到滑槽(61)底端内壁的距离大小,所述限位块(67)的底端设置有橡胶软垫。3.根据权利要求1所述的一种氧化铝机械手臂粘结装置,其特征在于:所述滑槽(61)的顶端贯通固定板(4)顶端设置,所述滑槽(61)的形状设置为T形,所述滑块(62)设置为与滑槽(61)相匹配的T形。4.根据权利要求1所述的一种氧化铝机械手臂粘结装置,其特征在于:所述弹簧(66)的一端与活动腔(65)内壁连接,所述弹簧(66)的另一端与限位块(67)外壁连接。5.根据权利要求1所述的一种氧化铝机械手臂...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐占银杨盛国
申请(专利权)人:无锡卓瓷科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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