一种低振动无油高压缩比分子泵制造技术

本实用新型专利技术涉及一种低振动无油高压缩比分子泵，上壳体上开口且内设静轮，下壳体内经下轴承支座穿接轴伸入上壳体内接与静轮配合的动轮，动轮和静轮配合的上壳体下侧设置吸入腔，吸入腔经下壳体上的引导槽接下出口，下轴承支座的座腔内上、中、下部分别装有穿接轴的上径向电磁轴承、电机、下径向电磁轴承，电机的电子磁铁装于轴上，座腔内还设有对应轴的位置传感器；所述下轴承支座下部接有穿接轴下端的轴承箱，轴在轴承箱内接有止推轴承转子，直推轴承转子的上、下分别设有在轴承箱内的上、下轴向止推电磁轴承。该泵结构紧凑，能满足高速比、压比泵送要求，兼顾无油、低振动作业。低振动作业。低振动作业。

【技术实现步骤摘要】
一种低振动无油高压缩比分子泵


[0001]本技术涉及一种泵结构，具体说是一种低振动无油高压缩比分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵是一种将装置内的气体抽出的机械装置。利用高速旋转的涡轮叶片把动量传输给气体分子，从而使气体分子获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后抽走的一种超高真空泵。分子泵真空度可达10
‑
3~10
‑
8Pa，因而广泛应用于各种需要高真空的场合。
[0003]为保证产品质量，半导体生产线90%以上工位需要高真空环境，因此半导体产业是分子泵最重要的应用场景。在半导体生产过程中，需要极其洁净的真空环境保证半导体生产的洁净性；同时要保证分子泵本身较低的震动，因为半导体的生产要保证纳米级的加工，多以分子泵的震动幅值要小于纳米级达到微米级别。
[0004]市场现有产品的分子泵多为单独涡轮式或单独牵引式，半浮动轴承或普通轴承。单独的涡轮机抽速较高，但可以达到的极限真空度较差；单独的牵引式分子泵可以达到较高真空度，但抽速较差；而半浮轴承和普通轴承中的润滑脂或者润滑油影响设备整体的清洁度。
[0005]现有的问题有以下几点：1、单独的涡轮泵使用有抽速高，压缩比低的问题，单独的牵引泵使用有压比高抽速低的问题；2、现有设计采用接触式轴承，都需要油润滑，油汽会污染工作空间；3、接触式轴承给予轴会有作用力，这会使分子泵震动，震动传递到设备，会导致设备加工精度变低。

技术实现思路

[0006]本技术提供了一种结构紧凑，能满足高速比、压比泵送要求，兼顾无油、低振动作业的低振动无油高压缩比分子泵。
[0007]本技术提供的技术方案是：一种低振动无油高压缩比分子泵，包括上、下壳体，上壳体上开口且内设静轮，下壳体内经下轴承支座穿接轴伸入上壳体内接与静轮配合的动轮，动轮和静轮配合的上壳体下侧设置吸入腔，吸入腔经下壳体上的引导槽接下出口，其特征在于：所述下轴承支座的座腔内上、中、下部分别装有穿接轴的上径向电磁轴承、电机、下径向电磁轴承，电机的电子磁铁装于轴上，座腔内还设有对应轴的位置传感器；所述下轴承支座下部接有穿接轴下端的轴承箱，轴在轴承箱内接有止推轴承转子，直推轴承转子的上、下分别设有在轴承箱内的上、下轴向止推电磁轴承。
[0008]进一步地，所述下轴承支座内对应电机位置内设冷却水套。
[0009]进一步地，所述座腔内上、下分别设置上、下位置传感器。
[0010]进一步地，所述上、下径向电磁轴承过盈嵌装在下轴承支座的座腔内。
[0011]进一步地，所述上径向电磁轴承的上端设置穿接在轴上的上轴承支座，上轴承支座连接上轴承支座上定位压接上径向电磁轴承。
[0012]进一步地，所述动轮和静轮配合采用多组沿轴轴向设置。
[0013]动轮与轴为一体，轴上与电机位置对应设置有电机磁铁，轴通过电机驱动旋转，轴带动动轮旋转将气体分子吸入分子泵。泵送气体流通路径：多层动轮、静轮组合，通过动轮的高速转动将气体分子吸入吸入腔，吸入腔气体分子通过下壳体引导槽进入排出腔，从排出腔经出口排出系统。
[0014]轴上设有上径向电磁轴承、下径向电磁轴承及下端设置轴向止推电磁轴承，通过调节两径向电磁轴承的磁力来调节轴的径向晃动，结合电磁止推轴承接收来自位置传感器探测的轴在轴向上的信号，通过调节轴向止推电磁轴承，改变作用到止推轴承转子上的电磁力来调节轴的轴向晃动，让轴整体处于悬浮状态。
[0015]采用上述技术方案，本技术的有益效果是：放弃单独使用涡轮泵及牵引泵设计，将上、下壳体集成，形成复合分子泵，达到高速出、高压比的设计；采用两个径向电磁轴承，一个轴向止推电磁轴承设计，保证旋转接触部位全无油，达到系统的无油设计；采用电磁轴承负反馈调节机制，位置传感器识别轴的位移，然后通过增加电磁轴承吸引来保证轴回复到原位，从而减小轴旋转过程中的位移，达到系统的低振动设计，有效防止振动传递到设备上，影响设备加工精度。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图中：上壳体1、动轮2、静轮3、吸入腔4、下壳体5、出口6、冷却水套7、下轴承支座8、上轴承支座9、上位置传感器10、上径向电磁轴承11、轴12、电机13、电机磁铁14、下位置传感器15、下径向电磁轴承16、止推轴承转子17、轴向止推轴承18、引导槽19、排出腔20。
具体实施方式
[0018]以下结合附图和实施例作进一步说明。
[0019]图1所示: 一种低振动无油高压缩比分子泵包括上壳体1、动轮2、静轮3、吸入腔4、下壳体5、出口6、冷却水套7、下轴承支座8、上轴承支座9、上位置传感器10、上径向电磁轴承11、轴12、电机13、电机磁铁14、下位置传感器15、下径向电磁轴承16、止推轴承转子17、轴向电磁轴承18、排出腔20。
[0020]上壳体1支撑链接下壳体5上，上壳体1上部开口，上壳体1内壁上下设置4个静轮3，5个动轮2分别与4各个静轮3依次间隔配对设置，5个动轮2链接与轴12上端，动轮2、静轮3配合的下部上壳体1内设吸入腔4；下壳体1内由下至上穿接下轴承支座8，下壳体1与下轴承支座8穿接的内壁开设一圈多个引导槽19，引导槽19接下壳体1内的排出腔20，排出腔20经下壳体上的出口6外接排空。
[0021]下轴承支座8内的上下座腔上下依次过盈嵌装上径向电磁轴承11、电机13、下径向电磁轴承16，下轴承支座8的上部连接穿接在轴上的上轴承支座9，上轴承支座9压接上径向电池轴承11上端且压接空腔内设上位置传感器10，电机13的电机磁铁14装于轴上对应电机位置，电机和下径向电磁轴承间的空腔内装下位置传感器15；轴12下端穿接一连接在下轴承支座内的轴承箱，轴承箱内上、下设置两轴向电磁轴承18，两轴向电磁轴承18之间设置有止推轴承转子17，止推轴承转子17接于轴12下端。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低振动无油高压缩比分子泵，包括上、下壳体，上壳体上开口且内设静轮，下壳体内经下轴承支座穿接轴伸入上壳体内接与静轮配合的动轮，动轮和静轮配合的上壳体下侧设置吸入腔，吸入腔经下壳体上的引导槽接下出口，其特征在于：所述下轴承支座的座腔内上、中、下部分别装有穿接轴的上径向电磁轴承、电机、下径向电磁轴承，电机的电子磁铁装于轴上，座腔内还设有对应轴的位置传感器；所述下轴承支座下部接有穿接轴下端的轴承箱，轴在轴承箱内接有止推轴承转子，直推轴承转子的上、下分别设有在轴承箱内的上、下轴向止推电磁轴承。2.根据权利要求1所述的一种低振动无油高压缩比分子泵，其特征是...

【专利技术属性】
技术研发人员：高大鹏，牛鹏飞，朱林峰，连永鹏，张哲，许嘉晟，崔玺，
申请(专利权)人：蜂巢蔚领动力科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：