一种真空镀膜机转动机构制造技术

技术编号:35810139 阅读:9 留言:0更新日期:2022-12-03 13:30
本实用新型专利技术涉及镀膜设备技术领域,且公开了一种真空镀膜机转动机构,包括底板,所述底板的上表面通过第一轴承转动设置有转杆,所述转杆的上端杆壁通过连接机构固定连接有工作台,所述工作台的上表面固定设置有夹持装置,所述底板的下表面固定设置有电机,所述转杆的下端贯穿底板并与电机的输出端固定连接,所述工作台的下表面环绕固定设置有四个限位支撑机构且通过四个限位支撑机构与底板的上表面滚动连接。本实用新型专利技术实现了对工作台的翻转,便于对其表面的夹持装置进行清理。便于对其表面的夹持装置进行清理。便于对其表面的夹持装置进行清理。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机转动机构


[0001]本技术涉及镀膜设备
,尤其涉及一种真空镀膜机转动机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件如金属、半导体或绝缘体等的表面形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等。
[0003]现有的真空镀膜装置的工作台与电机的输出轴之间通常是固定连接,这样导致的问题是在长时间使用后工作台表面的夹持装置内部会积聚灰尘不便于清理,存在一定的局限性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中工作台与电机的输出轴固定连接,在长时间使用后不便于对其表面的夹持装置进行清理的问题,而提出的一种真空镀膜机转动机构。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种真空镀膜机转动机构,包括底板,所述底板的上表面通过第一轴承转动设置有转杆,所述转杆的上端杆壁通过连接机构固定连接有工作台,所述工作台的上表面固定设置有夹持装置,所述底板的下表面固定设置有电机,所述转杆的下端贯穿底板并与电机的输出端固定连接,所述工作台的下表面环绕固定设置有四个限位支撑机构且通过四个限位支撑机构与底板的上表面滚动连接。
[0007]优选的,所述连接机构包括套管、两个限位块和两个固定块,两个所述固定块对称固定设置于工作台的下表面,所述套管与转杆的杆壁活动套接,所述套管的管壁对称开设有两个条形口,两个所述限位块对称固定设置于转杆的杆壁两侧且分别滑动设置于对应的条形口的内部,所述套管的外壁固定设置有限位机构,所述套管的上端外壁通过两个轴销与对应的固定块固定连接。
[0008]优选的,所述限位支撑机构包括两个伸缩杆、环形板和第一弹簧,所述伸缩杆固定设置于工作台的下表面且活动端的外壁与环形板的内壁固定套接,所述第一弹簧与伸缩杆的杆壁活动套接,所述第一弹簧的两端分别与工作台以及环形板固定连接,所述伸缩杆的活动端的下端部通过滚珠与底板的上表面滚动连接。
[0009]优选的,所述限位机构包括U形板、限位杆和挡块,所述U形板固定设置于套管的下端外壁且右侧板的内部开设有通孔,所述套管的管壁开设有插孔,所述转杆的内部开设有两个插槽,所述限位杆活动穿设于通孔的内部且一端通过插孔与对应的插槽活动插接,所述挡块设置于U形板的内部且与限位杆的杆壁固定套接。
[0010]优选的,所述限位杆的杆壁活动套接有第二弹簧,所述第二弹簧的两端分别与挡块和U形板的侧板固定连接。
[0011]优选的,所述限位杆的右端固定连接有拉环。
[0012]与现有技术相比,本技术提供了一种真空镀膜机转动机构,具备以下有益效果:
[0013]1、该真空镀膜机转动机构,通过设置的连接机构和限位机构,能够在电机工作时利用连接机构驱动工作台转动,从而实现产品的正常转动,并且在需要对夹持装置清理时解除限位机构的限位作用对工作台进行翻转,进而便于对夹持装置进行清理。
[0014]2、该真空镀膜机转动机构,通过设置的限位支撑机构,能够在正常工作时实现对工作台的支撑,并且能够尽量避免工作台晃动。
[0015]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本技术实现了对工作台的翻转,便于对其表面的夹持装置进行清理。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种真空镀膜机转动机构的结构示意图;
[0017]图2为图1中局部A部分的结构放大图;
[0018]图3为图1中局部B部分的结构放大图。
[0019]图中:1底板、2转杆、3工作台、4夹持装置、5电机、6套管、7限位块、8固定块、9轴销、10伸缩杆、11环形板、12第一弹簧、13滚珠、14U形板、15限位杆、16挡块、17第二弹簧、18拉环。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0021]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]参照图1

3,一种真空镀膜机转动机构,包括底板1,底板1的上表面通过第一轴承转动设置有转杆2,转杆2的上端杆壁通过连接机构固定连接有工作台3,工作台3的上表面固定设置有夹持装置4,底板1的下表面固定设置有电机5,转杆2的下端贯穿底板1并与电机5的输出端固定连接,工作台3的下表面环绕固定设置有四个限位支撑机构且通过四个限位支撑机构与底板1的上表面滚动连接。
[0023]连接机构包括套管6、两个限位块7和两个固定块8,两个固定块8对称固定设置于工作台3的下表面,套管6与转杆2的杆壁活动套接,套管6的管壁对称开设有两个条形口,两个限位块7对称固定设置于转杆2的杆壁两侧且分别滑动设置于对应的条形口的内部,套管6的外壁固定设置有限位机构,套管6的上端外壁通过两个轴销9与对应的固定块8固定连接,便于在需要对夹持装置4进行清理时能够对工作台3和夹持装置4进行翻转。
[0024]限位支撑机构包括两个伸缩杆10、环形板11和第一弹簧12,伸缩杆10固定设置于工作台3的下表面且活动端的外壁与环形板11的内壁固定套接,第一弹簧12与伸缩杆10的杆壁活动套接,第一弹簧12的两端分别与工作台3以及环形板11固定连接,伸缩杆10的活动
端的下端部通过滚珠13与底板1的上表面滚动连接,便于在对工作台3起到支撑作用的同时减小每个伸缩杆10与底板1之间的摩擦力。
[0025]限位机构包括U形板14、限位杆15和挡块16,U形板14固定设置于套管6的下端外壁且右侧板的内部开设有通孔,套管6的管壁开设有插孔,转杆2的内部开设有两个插槽,限位杆15活动穿设于通孔的内部且一端通过插孔与对应的插槽活动插接,通过限位杆15与对应的插槽的插接能够实现对套管6的位置固定,挡块16设置于U形板14的内部且与限位杆15的杆壁固定套接,利用设置的挡块16能够避免限位杆15与U形板14分离。
[0026]限位杆15的杆壁活动套接有第二弹簧17,第二弹簧17的两端分别与挡块16和U形板14的侧板固定连接,利用第二弹簧17的弹力对挡块16进行挤压,从而能够在没有外力作用时使限位杆15始终与对应的插槽保持插接状态。
[0027]限位杆15的右端固定连接有拉环18,利用拉环18能够实现对限位杆15的驱动,从而实现对限位机构的控制。
[0028]本技术中,使用时,启动电机5,电机5带动转杆2转动,转杆2通过两个限位块7带动套管6转动,套管6通过两个轴销9和对应的固定块8带动工作台3转动,从本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机转动机构,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)的上表面通过第一轴承转动设置有转杆(2),所述转杆(2)的上端杆壁通过连接机构固定连接有工作台(3),所述工作台(3)的上表面固定设置有夹持装置(4),所述底板(1)的下表面固定设置有电机(5),所述转杆(2)的下端贯穿底板(1)并与电机(5)的输出端固定连接,所述工作台(3)的下表面环绕固定设置有四个限位支撑机构且通过四个限位支撑机构与底板(1)的上表面滚动连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机转动机构,其特征在于,所述连接机构包括套管(6)、两个限位块(7)和两个固定块(8),两个所述固定块(8)对称固定设置于工作台(3)的下表面,所述套管(6)与转杆(2)的杆壁活动套接,所述套管(6)的管壁对称开设有两个条形口,两个所述限位块(7)对称固定设置于转杆(2)的杆壁两侧且分别滑动设置于对应的条形口的内部,所述套管(6)的外壁固定设置有限位机构,所述套管(6)的上端外壁通过两个轴销(9)与对应的固定块(8)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机转动机构,其特征在于,所述限位支撑机构包括两个伸缩杆(10)、环形板(11)和第一弹簧(...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘海华陈刚韦盛开
申请(专利权)人:深圳市宏鑫轩科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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