一种卧式扩散炉快速降温炉体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卧式扩散炉快速降温炉体，包括石英管，所述石英管的外侧套设有电阻炉体，且电阻炉体与石英管之间设有间隙，所述电阻炉体与石英管之间均匀设置有隔板，所述电阻炉体的外侧套设有固定套，所述固定套的两端与石英管的间隙处均设置有保温件，所述固定套的外表两端分别设置有进气管与第一排气口。本实用新型专利技术中，通过进气口向蛇形导气管内导入空气，空气经过蛇形导气管时会被水箱内的冷却用水降温，因此通过进气管进入电阻炉体与石英管间隙的空气，其温会介于常温的空气以及冷却用水之间，因此会降低石英管的回温所需功耗，通过降温组件可使水箱内的水温长期稳定保持在降低的水平，在具备良好降温效果的同时，也会降低用水成本。也会降低用水成本。也会降低用水成本。

【技术实现步骤摘要】
一种卧式扩散炉快速降温炉体


[0001]本技术涉及半导体电子元器件制造
，尤其涉及一种卧式扩散炉快速降温炉体。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺；
[0003]由于常规的石英管不能承受长期的高温热处理工艺，即使设备本身具有快速热处理功能，因此为了避免石英管发生软化现象需要对其进行降温，现阶段的水冷散热快速降温效果过于明显，反而不利于炉体的快速回温，导致消耗功率高，同时水冷散热的用水量大，成本过高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种卧式扩散炉快速降温炉体。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种卧式扩散炉快速降温炉体，包括石英管，所述石英管的外侧套设有电阻炉体，且电阻炉体与石英管之间设有间隙，所述电阻炉体与石英管之间均匀设置有隔板，所述电阻炉体的外侧套设有固定套，所述固定套的两端与石英管的间隙处均设置有保温件，所述固定套的外表两端分别设置有进气管与第一排气口，所述进气管远离固定套的一端设置有水箱，所述水箱的前后两端分别设置有进气口与第二排气口，且第二排气口与进气管之间固定连接，所述水箱的内侧固定连接有蛇形导气管，且蛇形导气管的两端分别与进气口、第二排气口之间固定连接，所述水箱的顶侧设置有降温组件。
[0006]进一步的，所述进气管、第一排气口的尾端均与电阻炉体与石英管之间的间隙贯通，便于通过进气管、第一排气口来实现电阻炉体与石英管间隙处的进气与排气。
[0007]进一步的，若干所述隔板的外表面均开设有透气口，且若干透气口相互交错设置，使得气体流经电阻炉体与石英管间隙时，通过隔板使气体与石英管表面更充分接触，利于石英管的均匀降温。
[0008]进一步的，所述水箱的外侧壁底侧设置有排水阀，便于通过排水阀排出水箱内的冷却用水。
[0009]进一步的，所述降温组件包括顶盖，所述顶盖可拆卸连接有于水箱的顶端，所述顶盖的外表面左右两端均开设有通气口，所述顶盖的内底端均匀固定连接有第一导热鳍片，且第一导热鳍片的底端延伸至顶盖的底侧，所述顶盖的内顶端均匀设置有散热风扇，且散热风扇位于若干第一导热鳍片的顶侧，散热风扇对第一导热鳍片进行风冷降温，因此第一导热鳍片上从水箱内水中导出的热量得以消散，从而便于使水箱内的水温长时间稳定保持在一个较低的状态，利于长期稳定降温蛇形导气管以及其内气体的效果。
[0010]进一步的，所述顶盖的顶端固定连接有防尘网，且防尘网位于若干散热风扇的顶侧，有效延长散热风扇的使用寿命。
[0011]进一步的，所述蛇形导气管的外表面均匀设置有第二导热鳍片，利于蛇形导气管通过第二导热鳍片扩大其表面与水的接触面积，便于加速蛇形导气管以及其内部空气的降温。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]1、本技术在使用时，通过进气口向蛇形导气管内导入空气，空气经过蛇形导气管时会被水箱内的冷却用水降温，因此通过进气管进入电阻炉体与石英管间隙的空气，其温会介于常温的空气以及冷却用水之间，因此会降低石英管的回温所需功耗，通过降温组件可使水箱内的水温长期稳定保持在降低的水平，在具备良好降温效果的同时，也会降低用水成本；
[0014]2、本技术在使用时，由于石英管与电阻炉体的外侧除了固定套之外还塞有保温用的保温件，因此该炉体在被气体降温时不会传统的开放式结构一样，导致内部温度的反复波动。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的水箱与顶盖俯视图；
[0017]图3为本技术的水箱内部结构示意图；
[0018]图4为本技术的顶盖结构示意图。
[0019]图例说明：
[0020]1、石英管；2、电阻炉体；3、固定套；4、保温件；5、隔板；501、透气口；6、进气管；7、第一排气口；8、水箱；9、进气口；10、第二排气口；11、排水阀；12、顶盖；1201、通气口；1202、第一导热鳍片；13、防尘网；14、散热风扇；15、蛇形导气管；1501、第二导热鳍片。
具体实施方式
[0021]图1至图4所示，涉及一种卧式扩散炉快速降温炉体，包括石英管1，石英管1的外侧套设有电阻炉体2，且电阻炉体2与石英管1之间设有间隙，电阻炉体2与石英管1之间均匀设置有隔板5，电阻炉体2的外侧套设有固定套3，固定套3的两端与石英管1的间隙处均设置有保温件4，固定套3的外表两端分别设置有进气管6与第一排气口7，进气管6远离固定套3的一端设置有水箱8，水箱8的前后两端分别设置有进气口9与第二排气口10，且第二排气口10与进气管6之间固定连接，水箱8的内侧固定连接有蛇形导气管15，且蛇形导气管15的两端分别与进气口9、第二排气口10之间固定连接，水箱8的顶侧设置有降温组件。
[0022]图1所示，进气管6、第一排气口7的尾端均与电阻炉体2与石英管1之间的间隙贯通，便于通过进气管6、第一排气口7来实现电阻炉体2与石英管1间隙处的进气与排气。
[0023]图1所示，若干隔板5的外表面均开设有透气口501，且若干透气口501相互交错设置，使得气体流经电阻炉体2与石英管1间隙时，通过隔板5使气体与石英管1表面更充分接触，利于石英管1的均匀降温。
[0024]图1所示，水箱8的外侧壁底侧设置有排水阀11，水箱8的外侧壁底侧设置有排水阀
11，便于通过排水阀11排出水箱8内的冷却用水。
[0025]图3所示，蛇形导气管15的外表面均匀设置有第二导热鳍片1501，利于蛇形导气管15通过第二导热鳍片1501扩大其表面与水的接触面积，便于加速蛇形导气管15以及其内部空气的降温。
[0026]图4所示，降温组件包括顶盖12，顶盖12可拆卸连接有于水箱8的顶端，顶盖12的外表面左右两端均开设有通气口1201，顶盖12的内底端均匀固定连接有第一导热鳍片1202，且第一导热鳍片1202的底端延伸至顶盖12的底侧，顶盖12的内顶端均匀设置有散热风扇14，且散热风扇14位于若干第一导热鳍片1202的顶侧，散热风扇14对第一导热鳍片1202进行风冷降温，因此第一导热鳍片1202上从水箱8内水中导出的热量得以消散，从而便于使水箱8内的水温长时间稳定保持在一个较低的状态，利于长期稳定降温蛇形导气管15以及其内气体的效果。
[0027]顶盖12的顶端固定连接有防尘网13，且防尘网13位于若干散热风扇14的顶侧，有效延长散热风扇14的使用寿命。
[0028]在使用卧式扩散炉快速降温炉体时，通过进气口9向蛇形导气管15内导入空气，空气经过蛇形导气管15时会被水箱8内的冷却用水降温，因此通过进气管6进入电阻炉体2与石英管1间隙的空气，其温会介于常温的空气以及冷却用水之间，因此会降低石英管1的回温所需功耗，通过降温组件可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式扩散炉快速降温炉体，包括石英管（1），其特征在于：所述石英管（1）的外侧套设有电阻炉体（2），且电阻炉体（2）与石英管（1）之间设有间隙，所述电阻炉体（2）与石英管（1）之间均匀设置有隔板（5），所述电阻炉体（2）的外侧套设有固定套（3），所述固定套（3）的两端与石英管（1）的间隙处均设置有保温件（4），所述固定套（3）的外表两端分别设置有进气管（6）与第一排气口（7），所述进气管（6）远离固定套（3）的一端设置有水箱（8），所述水箱（8）的前后两端分别设置有进气口（9）与第二排气口（10），且第二排气口（10）与进气管（6）之间固定连接，所述水箱（8）的内侧固定连接有蛇形导气管（15），且蛇形导气管（15）的两端分别与进气口（9）、第二排气口（10）之间固定连接，所述水箱（8）的顶侧设置有降温组件。2.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速降温炉体，其特征在于：所述进气管（6）、第一排气口（7）的尾端均与电阻炉体（2）与石英管（1）之间的间隙贯通。3.根据权利要求1所述的一种卧式扩散炉快速降温炉体，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，王佩佩，周文智，
申请(专利权)人：青岛赛尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：