一种半导体晶圆花篮罩子制造技术

本实用新型专利技术提供了一种半导体晶圆花篮罩子，包括：顶板，所述顶板上并排设置多个翻转罩，所述翻转罩与所述顶板之间通过阻尼合页活动连接；侧立板，所述顶板的两侧分别设置所述侧立板，所述侧立板呈直角梯形，上底边与所述顶板的侧边固定连接；所述翻转罩的外形呈三棱柱状，所述翻转罩关闭时，所述翻转罩、所述侧立板和所述顶板共同围成长方体状的花篮罩子。本实用新型专利技术的花篮罩子使用简便又占用较小空间，且该罩子能够在打开的任意角度位置停止，便于晶圆花篮的取放。晶圆花篮的取放。晶圆花篮的取放。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆花篮罩子


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种半导体晶圆花篮罩子。

技术介绍

[0002]半导体晶圆的生产加工涉及多道工序，在现有半导体晶圆生产过程中，半导体晶圆通常由半导体晶圆花篮承载后在各道工序之间运送。
[0003]由于自动传片设备的花篮端工位处手工取放花篮频繁，工作时候需要设备内腔与外界隔离，取放花篮时候需要方便打开。因此，需要提供一种使用简便、占用空间小的罩子，且罩子打开后能停止在某个角度处，以保证后方占用更小的空间。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例提供一种半导体晶圆花篮罩子，使用简便又占用较小空间，且该罩子能够在打开的任意角度位置停止，便于晶圆花篮的取放。
[0005]本申请实施例提供以下技术方案：一种半导体晶圆花篮罩子，包括：
[0006]顶板，所述顶板上并排设置多个翻转罩，所述翻转罩与所述顶板之间通过阻尼合页活动连接；
[0007]侧立板，所述顶板的两侧分别设置所述侧立板，所述侧立板呈直角梯形，上底边与所述顶板的侧边固定连接；
[0008]所述翻转罩的外形呈三棱柱状，所述翻转罩关闭时，所述翻转罩、所述侧立板和所述顶板共同围成长方体状的花篮罩子。
[0009]在本申请的一种优选实施方式中，还包括加强板，所述加强板的外型呈L型，固定在所述侧立板的内壁上。
[0010]在本申请的一种优选实施方式中，每个所述翻转罩的前壁上均设置前透明窗板，两侧的侧壁上分别设置侧透明窗板。
[0011]在本申请的一种优选实施方式中，每个所述翻转罩的前壁上均设置把手。
[0012]在本申请的一种优选实施方式中，所述翻转罩的翻转角度范围为0
‑
95
°
。
[0013]在本申请的一种优选实施方式中，每个所述翻转罩上分别采用两个阻尼合页与所述顶板连接，单个所述阻尼合页的阻尼扭矩为4.0
‑
6.5N*m，每个所述翻转罩的重量不高于2.52kg。
[0014]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：本技术实施例的半导体晶圆花篮罩子结构简单，满足半导体设备的花篮端需要隔绝内外腔体和方便打开的使用需求，且罩子能够在打开的任意角度位置处停止，动态占用空间小，方便现场工作作业。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0016]图1是本技术实施例的半导体晶圆花篮罩子关闭状态结构示意图；
[0017]图2是本技术实施例的半导体晶圆花篮罩子打开状态结构示意图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0019]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1
‑
图2所示，本技术实施例提供了一种半导体晶圆花篮罩子，包括：
[0021]顶板105，所述顶板105上并排设置多个翻转罩101，所述翻转罩101与所述顶板105之间通过阻尼合页108活动连接；
[0022]侧立板104，所述顶板105的两侧分别设置所述侧立板104，所述侧立板104呈直角梯形，上底边与所述顶板105的侧边固定连接；
[0023]所述翻转罩101的外型呈三棱柱状，所述翻转罩101关闭时，所述翻转罩101、所述侧立板104和所述顶板105共同围成长方体状的花篮罩子。
[0024]为了对所述侧立板104进行加固，保证罩子整体的稳固性，还包括加强板106，所述加强板106的外型呈L型，同时为了使罩子外表面整体保持平整性，所述加强板106固定在所述侧立板104的内壁上。
[0025]在本申请的一种优选实施方式中，每个所述翻转罩101的前壁上均设置前透明窗板102，两侧的侧壁上分别设置侧透明窗板103。翻转罩101的前壁及两个侧壁上均设置透明窗板，可视内部情况，便于查看。
[0026]在一种实施方式中，为了便于操作，每个所述翻转罩101的前壁上均设置把手107。
[0027]本技术实施例的花篮罩子用于半导体设备，主要包括翻转罩101、前透明窗板102、侧透明窗板门103、侧立板104、顶板105、加强板106、把手107、阻尼合页108等。本实施例优选的，设置三个花篮位置，在顶板105上并排设置三个翻转罩101分别将三个花篮罩起来，当取放任一个花篮时，也可以最大化的防触碰，避免导致其他花篮移位等问题。
[0028]具体地，侧立板104上设置有安装孔，顶板105和加强板106分别通过螺钉与侧立板104连接安装在一起；顶板105上设置有安装孔，阻尼合页108的一端通过螺钉与顶板105连接安装在一起；翻转罩101上设置有安装孔，阻尼合页108的另一端通过螺钉螺母与翻转罩101连接安装在一起；进而顶板105通过阻尼合页108及螺钉螺母与翻转罩101连接安装在一起；翻动翻转罩101可停留在任意位置；翻转罩101上设置有螺钉，前透明窗板102、侧透明窗板103分别通过螺母与翻转罩101连接安装在一起；翻转罩101上设置有安装孔，把手107通过螺钉螺母与翻转罩101连接安装在一起。
[0029]在本实施例中，优选的，每个所述翻转罩上分别采用两个阻尼合页与所述顶板连接，单个阻尼合页可提供阻尼扭矩4.0
‑
6.5N*m；单个罩子的重量为2.52kg，重心位置距离合
页转轴的最大距离是0.226m，罩子重力对合页转轴最大扭矩2.52*9.8*0.226＝5.5813N*m；每个翻转罩101上安装有两个阻尼合页108，阻尼合页扭矩大于翻转罩101重力对合页转轴的扭矩。故翻转罩101在任意位置都能够停下来。
[0030]翻转罩101尺寸可根据具体情况设置，本实施例优选的，该翻转罩101的前壁的长度为400mm，高度为290mm；可翻转的角度范围为0
°‑
95
°
。
[0031]以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆花篮罩子，其特征在于，包括：顶板，所述顶板上并排设置多个翻转罩，所述翻转罩与所述顶板之间通过阻尼合页活动连接；侧立板，所述顶板的两侧分别设置所述侧立板，所述侧立板呈直角梯形，上底边与所述顶板的侧边固定连接；所述翻转罩的外形呈三棱柱状，所述翻转罩关闭时，所述翻转罩、所述侧立板和所述顶板共同围成长方体状的花篮罩子。2.根据权利要求1所述的半导体晶圆花篮罩子，其特征在于，还包括加强板，所述加强板的外型呈L型，固定在所述侧立板的内壁上。3.根据权利要求1所述的半导体晶圆花篮罩子，其特征在于，每个所述翻转罩的前壁上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明瑞，夏雷云，
申请(专利权)人：魅杰光电科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：