一种多光谱硫化锌的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种多光谱硫化锌的制备方法，包含以下步骤：将标准硫化锌件进行光学抛光加工；在硫化锌件表面上镀制Ag+ZnS混合膜、Ag膜和Al2O3膜；对镀膜的硫化锌件进行热等静压处理：温度750

【技术实现步骤摘要】
一种多光谱硫化锌的制备方法


[0001]本专利技术涉及化学气相沉积
，具体涉及一种多光谱硫化锌的制备方法。

技术介绍

[0002]采用化学气相沉积工艺制备的硫化锌(CVD ZnS)材料具有纯度高、质地均匀、低散射、低吸收和低高温辐射等优点，是一种先进的红外窗口材料，用作红外热像系统的窗口、头罩和透镜等光学元件。CVD ZnS材料有标准ZnS和多光谱ZnS两种规格，标准ZnS外观呈桔黄色，主要用于长波红外(8
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12μm)波段，多光谱ZnS外观无色透明，透射波段覆盖了从可见光到长波红外(0.4～12μm)的全波段，是“多光合一”复合光窗的首选材料。
[0003]多光谱ZnS是由标准ZnS经过热等静压处理获得，在高温高压条件下，ZnS多晶材料的晶粒长大，由标准ZnS的3
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10μm长大到多光谱ZnS的50～100μm，同时非化学配比、散射中心等晶体缺陷显著降低，因此光学性能明显提升，但热等静压处理除对光学性能产生重大影响之外，对力学性能也有影响，如晶粒尺寸增大，材料的断裂强度下降，由标准ZnS的10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多光谱硫化锌的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：(1)将硫化锌零件进行表面处理，要求表面光洁度优于120
‑
100；(2)对加工后的硫化锌零件表面清洗，并烘干待用；(3)将硫化锌零件装入真空镀膜机，真空镀膜机的真空室本底真空度抽至优于5*10
‑3Pa，硫化锌零件加热到80
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300℃；(4)利用双电子束加热混蒸的方式，一个电子枪加热蒸发ZnS，同时另一个电子枪加热蒸发Ag,在硫化锌零件一表面上镀制Ag+ZnS混合膜，膜层厚度10
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30nm；(5)利用电阻加热蒸发的方法在Ag+ZnS混合膜上镀制Ag膜，沉积速率0.5
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10nm/S，膜层厚度10
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100nm；(6)利用电子束加热蒸发的方法在Ag膜上镀制高熔点硬质薄膜，沉积速率0.5
‑
5nm/S，膜层厚度100
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1000nm，镀膜结束后降到室温得到单面镀膜零件；(7)重复(3)、(4)、(5)、(6)步骤，在ZnS件的另一表面上也镀制Ag+ZnS混合膜、Ag膜和高熔点硬质薄膜，得到双面镀膜零件；(8)将双面镀膜零件放入热等静压机的坩埚内，抽真空至低于50Pa；(9)对双面镀膜零件热等静压处理：首先将压力升至50
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100MPa，然后温度升至750
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950℃，升温速率：5
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15℃/min，最后将压力升至130
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200MPa保持恒温恒压，恒温恒压时间：10
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100小时；(10)将热等静压炉降温到室温，降温速率：5
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15℃/min，泄压，取出得到热等静压零件；(11)将热等静压零件双面精磨，去除表面镀制的膜层，去除完成后即可得到多光谱硫化锌材料。2.如权利要求1所述的多光谱硫...

【专利技术属性】
技术研发人员：张树玉，甄西合，刘伟，徐悟生，张钦辉，徐超，赵丽媛，邰超，
申请(专利权)人：江苏布拉维光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：