本发明专利技术公开了一种固晶设备的电机散热结构，包括上下相对设置的进气通道和出气通道，所述进气通道，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口、高压腔体和第一出气口；所述出气通道，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口、导流腔体和第二出气口；其中，所述第一出气口和第二进气口朝向同一方向。该电机散热结构用于对直线电机进行散热。本发明专利技术还提供一种直线电机，包括上述的电机散热结构。包括上述的电机散热结构。包括上述的电机散热结构。
【技术实现步骤摘要】
一种固晶设备的电机散热结构及直线电机
[0001]本专利技术涉及晶片固晶设备，尤其涉及一种固晶设备的电机散热结构及直线电机。
技术介绍
[0002]在晶片固晶时，需要驱动固晶邦头升降和平移，以将固晶邦头移动到适当的高度和位置取放搬运晶片。当前，固晶设备一般是采用三个直线电机来分别驱动固晶邦头在横向、纵向和竖向这三个方向上进行高速移动，在高速移动的过程中，直线电机的内部产生大量热量，致使直线电机的温度升高，而影响到工作性能。
技术实现思路
[0003]为了解决上述现有技术的不足，本专利技术提供一种电机散热结构，用于对直线电机进行散热。
[0004]本专利技术还提供一种直线电机，包括上述的电机散热结构。
[0005]本专利技术所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：一种固晶设备的电机散热结构，用于对直线电机进行散热，包括上下相对设置的进气通道和出气通道，其中所述进气通道，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口、高压腔体和第一出气口；所述出气通道，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口、导流腔体和第二出气口；其中，所述第一出气口和第二进气口朝向同一方向。
[0006]进一步地，所述高压腔体包括进气连通腔、高压连通腔和出气连通腔，所述第一进气口与所述进气连通腔相连通，所述第一出气口与所述出气连通腔相连通，所述高压连通腔连通于所述进气连通腔和出气连通腔之间；所述进气连通腔和出气连通腔均呈左右走向，且位置沿上下方向和左右方向相错开。
[0007]进一步地，所述高压连通腔的口径大于所述进气连通腔和出气连通腔的口径。
[0008]进一步地，所述高压连通腔内开设有多个缓冲槽。
[0009]进一步地，所述高压连通腔的横截面呈直角梯形，其梯形斜面上通过所述缓冲槽形成有阶梯结构，以使所述高压连通腔的口径沿气流方向逐渐变大后、再逐渐变小。
[0010]进一步地，所述导流腔体朝向所述进气通道的一面为导流斜面，所述导流斜面朝所述第一出气口的方向倾斜。
[0011]进一步地，所述第二进气口大于所述第二出气口，以使所述导流腔体的口径从与所述第二进气口连通的一端向与所述第二出气口连通的一端逐渐减小。
[0012]一种固晶设备的直线电机，包括第一固定板、第二固定板、定子和动子，所述第一固定板和第二固定板相对设置，所述定子和动子设置于所述第一固定板和第二固定板之间，所述定子用于驱动所述动子沿直线移动；其特征在于，以及两个上述的电机散热结构，
两个电机散热结构设置于所述所述第一固定板和第二固定板之间，所述定子位于两个电机散热结构之间；两个电机散热结构的第一进气口和第一出气口均朝向所述动子，其中一个电机散热结构的第一进气口朝向所述动子的上侧表面，第二出气口朝向所述动子的下侧表面，另一个电机散热结构的第一进气口朝向所述动子的下侧表面，第二出气口朝向所述动子的上侧表面。
[0013]进一步地，还包括第一导向件和第二导向件，所述第一导向件和第二导向件设置于所述第一固定板和第二固定板之间，所述动子位于所述第一导向件和第二导向件之间；所述第一导向件朝向所述动子的一面上开设有沿所述动子的移动方向延伸的导向槽，所述第二导向件上开设有沿所述动子的移动方向延伸的导向孔，所述动子的一端伸进所述第一导向件的导向槽内，另一端穿过所述第二导向件的导向孔后，伸出至所述第一固定板和第二固定板之外。
[0014]进一步地，所述定子上设置有电磁线圈，所述动子上设置有磁石，或者，所述定子上设置有磁石，所述动子上设置有电磁线圈。
[0015]本专利技术具有如下有益效果：该电机散热结构在对直线电机进行散热时，所述进气通道负责将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内，以吸收所述直线电机在工作时所产生的热量，被导入至所述直线电机内的低温气流在吸收热量后转换为高温气流，而所述出气通道则负责将所述直线电机外部的高温气流导出至所述直线电机外部，以降低所述直线电机的内部温度。
附图说明
[0016]图1为本专利技术提供的电机散热结构的结构示意图；图2为本专利技术提供的电机散热结构的剖面示意图；图3为本专利技术提供的直线电机的结构示意图；图4为本专利技术提供的直线电机的散热示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例对本专利技术进行详细的说明，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0018]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0019]此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0021]实施例一如图1和2所示，一种固晶设备的电机散热结构5，用于对直线电机进行散热，包括上下相对设置的进气通道51和出气通道52，其中所述进气通道51，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口511、高压腔体512和第一出气口513；所述出气通道52，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口521、导流腔体522和第二出气口523；其中，所述第一出气口513和第二进气口521朝向同一方向。
[0022]该电机散热结构5内同时设置有进气通道51和出气通道52，在对直线电机进行散热时，所述进气通道51负责将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内，以吸收所述直线电机在工作时所产生的热量，被导入至所述直线电机内的低温气流在吸收热量后转换为高温气流，而所述出气通道52则负责将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，以降低所述直线电机的内部温度。
[0023]本专利中的低温气流和高温气流是一个相对概念，并无具体的数值要求，只要低温气流的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种固晶设备的电机散热结构，其特征在于，用于对直线电机进行散热，包括上下相对设置的进气通道和出气通道，其中所述进气通道，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口、高压腔体和第一出气口；所述出气通道，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口、导流腔体和第二出气口；其中，所述第一出气口和第二进气口朝向同一方向。2.根据权利要求1所述的电机散热结构，其特征在于，所述高压腔体包括进气连通腔、高压连通腔和出气连通腔，所述第一进气口与所述进气连通腔相连通，所述第一出气口与所述出气连通腔相连通，所述高压连通腔连通于所述进气连通腔和出气连通腔之间；所述进气连通腔和出气连通腔均呈左右走向，且位置沿上下方向和左右方向相错开。3.根据权利要求2所述的电机散热结构，其特征在于，所述高压连通腔的口径大于所述进气连通腔和出气连通腔的口径。4.根据权利要求2所述的固晶设备的直线电机，其特征在于，所述高压连通腔内开设有多个缓冲槽。5.根据权利要求4所述的固晶设备的直线电机，其特征在于，所述高压连通腔的横截面呈直角梯形，其梯形斜面上通过所述缓冲槽形成有阶梯结构，以使所述高压连通腔的口径沿气流方向逐渐变大后、再逐渐变小。6.根据权利要求1所述的固晶设备的直线电机，其特征在于，所述导流腔体朝向所述进气通道的一面为导流斜面，所述导流斜面朝所述第一出气口的方向倾斜。7.根据权利要求1或6所述的固晶设备的直线电机，其特征在于，所述第二进气口大于所述第二出...
【专利技术属性】
技术研发人员：李春波，李友春，周凯，曾晖，王旭文，吴旭，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：
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