【技术实现步骤摘要】
一种基于DPC工艺的电子烟加热片及其制备方法
[0001]本专利技术涉及电子烟领域,具体是一种基于DPC工艺的电子烟加热片及其制备方法。
技术介绍
[0002]一种模仿传统卷烟的电子产品被称为电子烟,现有市场上电子烟主要分为加热不燃烧型和烟油雾化型。加热不燃烧型电子烟的工作原理为:通过低温烘烤的方式,使特制的烟弹释放出含有尼古丁但不含焦油的气雾,大幅降低对人体的危害。
[0003]陶瓷加热片是加热不燃烧型电子烟的重要组成部件,目前市场上流通的是基于丝网厚膜印刷技术和金属陶瓷高温共烧技术来制备陶瓷加热片,即通过丝网印刷在陶瓷基板表面制备厚膜线路后烧结,整个流程较为繁琐,且加热膜层往往存在阻值不稳定、厚度不均匀、印刷线路不够精细等问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于DPC工艺的电子烟加热片及其制备方法,以解决现有技术中的问题。
[0005]为了解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:
[0006]一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,包括以下步骤: ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:磁控溅射:通过磁控溅射在陶瓷基片表面制备TiW层和Cu层;S2:贴膜、曝光、显影:将溅射镀膜后的产品贴保护膜,曝光,再经显影显露出需电镀增厚的金属电极部位;S3:电镀:在电镀液中采用正负脉冲电镀的方式制备厚度为5μm
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6μm的金属电极;S4:去膜蚀刻:在弱碱性溶液中去掉基片表面保护膜,清洗;S5:激光调阻:用自动激光机进行调阻操作,仅切割镀Cu层;S6:激光切割:激光切割,加热片裂片成型。2.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,步骤S1中磁控溅射的工作条件为:利用辉光放电产生的Ar离子来轰击靶材;其中TiW层厚度为50
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300nm,Cu层厚度为100
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1000nm。3.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,步骤S3中正负脉冲电镀的工作条件为:正向脉冲电流密度为2
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4ASD,正向脉冲持续时间20
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70ms,反向电流密度为5
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10ASD,反向脉冲持续时间3
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5ms;步骤S3中电镀液:以水为溶剂,其中五水硫酸铜浓度为50
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100g/L,硫酸浓度为190
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220g/L,氯离子浓度为60
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80ppm。4.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,步骤S4中弱碱性溶液为质量分数为1%
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5%的NaOH溶液或者KOH溶液,清洗的具体方式:在无水乙醇、异丙醇、丙酮中的一种溶剂或几种混合液中超声5min
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30min,随后在HF溶液中进行微蚀1
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3min、超声水洗1
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3min、溢流水洗、吸水滚轮,然后在80℃
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100℃热风烘干3
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5min。5.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,步骤S5中激光调阻的工作条件为:激光频率45
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70khz,脉宽5ns,速度1500
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4000mm/s,加工次数2
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5次。6.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟加热片的制备方法,其特征在于,步骤S2中所述保护膜为菲林膜。7.根据权利要求1所述的一种基于DPC工艺的电子烟...
【专利技术属性】
技术研发人员:王斌,贺贤汉,余祖森,葛荘,孙泉,
申请(专利权)人:江苏富乐华功率半导体研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:
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