【技术实现步骤摘要】
气体柜
[0001]本技术涉及一种气体柜,特别是涉及一种具有侦测气体的流量或压力的功能的气体柜。
技术介绍
[0002]在使用气体供应容器的许多工业应用中,通常实际上将气体供应容器部署在气体柜中,气体柜作为封围体,其中容器耦接至流动回路,用于传送气体至下游的气体使用工具。气体柜中设置有流动回路,以用于传导分配自气体柜中的气体供应容器的气体至下游工具。
[0003]然而,现有的气体柜仅设置简单的切换开关,控制气体供给的开启/停止状态,但并无设置任何的侦测元件,使得操作员无法得知管路中气体的流量、压力。
[0004]故,如何通过结构设计的改良,来克服上述的缺陷,已成为所述项事业所欲解决的重要课题之一。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题在于,针对现有技术的不足提供一种气体柜。
[0006]为了解决上述的技术问题,本技术所采用的其中一技术方案是提供一种气体柜,包括收纳柜单元、输入单元、侦测单元、多个阀体单元以及输出单元。收纳柜单元具有容置空间。输入单元一端连接供应源。侦测单元设置 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体柜,其特征在于,包括:收纳柜单元,所述收纳柜单元具有容置空间;输入单元,所述输入单元的一端连接供应源;侦测单元,所述侦测单元设置于所述输入单元;多个阀体单元,多个所述阀体单元位于所述容置空间,多个所述阀体单元连接所述输入单元的另一端;以及输出单元,所述输入单元连接多个所述阀体单元;其中,所述输入单元用于接收所述供应源所提供的气体,所述侦测单元用于传感通过所述输入单元的所述气体的流量,并对应产生至少一个流量值,或者所述侦测单元用于传感所述输入单元中的所述气体的压力,并对应产生至少一个压力值。2.根据权利要求1所述的气体柜,其特征在于,所述输入单...
【专利技术属性】
技术研发人员:周谷桦,陈建旭,杜微言,
申请(专利权)人:锐泽实业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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