一种MEMS惯性测量模组灌胶机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，包括相对布置的模组第一层板和模组第二层板，所述模组第一层板设有若干模组单元，所述模组单元呈阵列排布，所述模组第二层板的侧壁开设有侧孔，每个所述模组单元均开设有用于容置MEMS惯性测量模组的放置槽，所述模组单元的底部贯通开设有真空口，所述放置槽与所述真空口连通。本实用新型专利技术能够解决由于缺乏辅助真空功能的机构导致灌胶过程孔洞气泡的出现，进而造成MEMS惯性测量模组热形变不均匀的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS惯性测量模组灌胶机构


[0001]本技术涉及MEMS惯性测量
，具体涉及一种MEMS惯性测量模组灌胶机构。

技术介绍

[0002]在MEMS惯性测量模组生产过程中，灌封特殊胶水是重要环节，作用体现在：1.对柔性电路板起到保护作用；2.对MEMS器件进行保护；3.实现良好的抗冲击特性；4.减少环境温度对内部电器结构的影响。目前对MEMS惯性测量模组进行灌胶过程往往采用纯手工灌胶，由于缺乏辅助真空功能的机构导致灌胶过程孔洞气泡的出现，造成热形变不均匀的问题，影响灌胶工序。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术要解决的问题是提供一种MEMS惯性测量模组灌胶机构。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，包括相对布置的模组第一层板和模组第二层板，所述模组第一层板设有若干模组单元，所述模组单元呈阵列排布，所述模组第二层板的侧壁开设有侧孔，每个所述模组单元均开设有用于容置MEMS惯性测量模组的放置槽，所述模组单元的底部贯通开设有真空口，所述放置槽与所述真空口连通。
[0005]在本技术中，优选地，所述模组第二层板面向所述模组第一层板的一侧开设有抽真空槽。
[0006]在本技术中，优选地，所述真空口通过所述抽真空槽与所述侧孔连通。
[0007]在本技术中，优选地，所述侧孔外接有抽真空系统，所述抽真空系统用于为所述模组单元提供所需压强。
[0008]在本技术中，优选地，所述抽真空系统包括真空泵和伺服增压设备，所述真空泵通过第一管路与所述侧孔连通，所述第一管路开设有第一启闭阀，所述侧孔通过第二管路与所述伺服增压设备连通，所述伺服增压设备通过第三管路连通有气源装置，所述第二管路开设有第二启闭阀，所述第三管路开设有第三启闭阀。
[0009]在本技术中，优选地，所述启闭阀设置为电动阀。
[0010]在本技术中，优选地，所述放置槽设置为工型槽。
[0011]在本技术中，优选地，所述模组第一层板的底部固设有用于采集所述真空口旁压力值的压力传感器。
[0012]在本技术中，优选地，所述MEMS惯性测量模组的间隙填充有凝胶层。
[0013]在本技术中，优选地，所述压力传感器电性连接有控制器，所述真空泵、所述伺服增压设备、所述第一启闭阀、所述第二启闭阀、所述第三启闭阀与所述控制器均为电性连接。
[0014]本技术具有的优点和积极效果是：通过抽真空系统与模组第一层板、模组第
二层板之间的相互配合，实现了对MEMS惯性测量模组在灌胶过程的顺利进行，解决了由于缺乏辅助真空功能的机构导致灌胶过程孔洞气泡的出现，进而造成MEMS惯性测量模组热形变不均匀的问题；此外，通过设置包括真空泵和伺服增压设备在内的抽真空系统，使得真空泵在控制器的控制下启动工作将模组第二层板的抽真空槽内的空气经由侧孔通过第一管路抽出，设置于模组第一层板底部的压力传感器用于采集真空口旁压力值并将其传输给控制器，控制器接收该压力值再与凝胶填充至放置槽内且不会从真空口流出所需要维持压力进行比较，控制器转换为与压力对应的压强，有效避免了灌胶过程MEMS惯性测量模组的凝胶层容易出现孔洞气泡的问题。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1是本技术的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构的整体结构图；
[0017]图2是本技术的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构的模组第一层板的结构示意图；
[0018]图3是本技术的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构的模组第二层板的结构示意图；
[0019]图4是本技术的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构的抽真空系统的结构示意图。
[0020]图中：1、模组第一层板；2、模组第二层板；3、模组单元；4、侧孔；5、放置槽；6、真空口；7、抽真空槽；8、真空泵；9、伺服增压设备；10、第一管路；11、第一启闭阀；12、第二管路；13、第三管路；14、气源装置；15、第二启闭阀；16、第三启闭阀。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]如图1和图2所示，本技术提供一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，包括相对布置的模组第一层板1和模组第二层板2，模组第一层板1设有若干模组单元3，模组单元3呈阵
列排布，模组第二层板2的侧壁开设有侧孔4，每个模组单元3均开设有用于容置MEMS惯性测量模组的放置槽5，模组单元3的底部贯通开设有真空口6，放置槽5与真空口6连通，每组模组单元3的真空口6数量设置为两个。
[0025]如图3所示，在本实施例中，进一步地，模组第二层板2面向模组第一层板1的一侧开设有抽真空槽7。通过开设抽真空槽7，便于抽真空系统将其内部空气抽真空以向凝胶提供为使其填充至放置槽5内且不会从真空口6流出所需要维持压力平衡灌胶条件。
[0026]在本实施例中，进一步地，真空口6通过抽真空槽7与侧孔4连通。抽真空系统经由侧孔4为各个模组单元3真空口6提供的压强是均匀的。
[0027]在本实施例中，进一步地，侧孔4外接有抽真空系统，抽真空系统用于为模组单元3提供所需压强。抽真空系统与模组第一层板1、模组第二层板2之间的相互配合，实现了对MEMS惯性测量模组在灌胶过程的顺利进行，解决了由于缺乏辅助真空功能的机构导致灌胶过程孔洞气泡的出现，进而造成MEMS惯性测量模组热形变不均匀的问题。
[0028]如图4所示，在本实施例中，进一步地，抽真空系统包括真空泵8和伺服增压设备9，真空泵8通过第一管路10与侧孔4连通，第一管路10开设有第一启闭阀11，侧孔4通过第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，其特征在于，包括相对布置的模组第一层板(1)和模组第二层板(2)，所述模组第一层板(1)设有若干模组单元(3)，所述模组单元(3)呈阵列排布，所述模组第二层板(2)的侧壁开设有侧孔(4)，每个所述模组单元(3)均开设有用于容置MEMS惯性测量模组的放置槽(5)，所述模组单元(3)的底部贯通开设有真空口(6)，所述放置槽(5)与所述真空口(6)连通。2.根据权利要求1所述的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，其特征在于，所述模组第二层板(2)面向所述模组第一层板(1)的一侧开设有抽真空槽(7)。3.根据权利要求2所述的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，其特征在于，所述真空口(6)通过所述抽真空槽(7)与所述侧孔(4)连通。4.根据权利要求1所述的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，其特征在于，所述侧孔(4)外接有抽真空系统，所述抽真空系统用于为所述模组单元(3)提供所需压强。5.根据权利要求4所述的一种MEMS惯性测量模组灌胶机构，其特征在于，所述抽真空系统包括真空泵(8)和伺服增压设备(9)，所述真空泵(8)通过第一管路(10)与所述侧孔(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晋雷，
申请(专利权)人：华芯拓远天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：