一种单晶炉用双孔放气过滤罐制造技术

技术编号:35745538 阅读:24 留言:0更新日期:2022-11-26 18:49
本发明专利技术公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。连接。连接。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用双孔放气过滤罐


[0001]本专利技术涉及直拉单晶
,具体地说,涉及一种单晶炉用双孔放气过滤罐。

技术介绍

[0002]在用直拉法生产单晶硅的过程中,单晶炉内采用负压氩气流动带走挥发物的方式保证主室的洁净,循环的氩气需经过滤罐净化回收。
[0003]中国专利CN 215609998 U公开了一种单晶炉用气体过滤罐,包括:上封头,所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口;罐体,所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门,所述罐体内部用于容纳过滤袋;延伸部,所述延伸部连接于所述罐体下端;下封头,所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。但是在实际生产中发现,随着投料量的不断增加,导致过滤罐的进气量不断增大,过滤罐内的挥发物不断增多,使得过滤罐放气时间长,罐内的挥发物不能充分氧化,易发生燃爆。

技术实现思路

[0004]为达到上述目的,本专利技术公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:
[0005]立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;
[0006]上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;
[0007]过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;
[0008]过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。
[0009]优选的,所述立式罐体底端安装有行走轮。
[0010]优选的,所述立式罐体包括:
[0011]罐身,所述过滤室形成于所述罐身内,所述排气口连接于所述罐身侧端靠近顶端位置;
[0012]上封头,所述上封头安装于所述罐身顶端,所述过滤袋抖动单元安装于所述上封头上,所述上孔放气单元连接于所述上封头上;
[0013]下封头,所述下封头通过延伸部安装于所述罐身底端,所述进气口连接于所述延伸部上,所述下孔放气单元连接于所述下封头上;
[0014]观察口,所述观察口安装于所述罐身上,所述观察口上安装有视窗;
[0015]清灰口,所述清灰口安装于所述下封头上,所述清灰口上安装有盲板。
[0016]优选的,所述进气口与单晶炉连接,所述排气口与真空泵连接。
[0017]优选的,还包括:
[0018]电控箱,所述电控箱安装于所述立式罐体表面,所述上孔放气单元、下孔放气单元以及过滤袋抖动单元均与所述电控箱连接。
[0019]优选的,所述过滤袋单元包括:
[0020]底安装座,所述底安装座固定连接于所述延伸部内壁上;
[0021]圆口,多个所述圆口阵列排布于所述底安装座上;
[0022]顶安装座,所述顶安装座位于所述罐身内顶部,所述过滤袋抖动单元与所述顶安装座连接;
[0023]限位杆,多个所述限位杆周向安装于所述底安装座顶端,所述顶安装座套设于所述限位杆上;
[0024]过滤袋,所述过滤袋等数量于所述圆口设置,所述过滤袋袋口端与所述圆口连接;
[0025]固定盘,所述固定盘安装于所述过滤袋袋底端;
[0026]安装螺柱,所述安装螺柱连接于所述固定盘上,所述安装螺柱通过滤袋安装单元连接于所述所述顶安装座上。
[0027]优选的,所述滤袋安装单元包括:
[0028]滤袋安装座,所述滤袋安装座连接于所述顶安装座底端;
[0029]出风箱放置槽,所述出风箱放置槽开设于所述滤袋安装座底端;
[0030]出风箱,所述出风箱安装于所述出风箱放置槽内,所述出风箱底端均匀开设有第二风孔;
[0031]剪叉式安装板,所述剪叉式安装板位于所述出风箱下方;
[0032]锁紧孔,所述锁紧孔开设于所述剪叉式安装板上,所述安装螺柱穿设于所述锁紧孔内,并通过锁紧螺母固定;
[0033]升降柱,四个所述升降柱一一对应安装于所述剪叉式安装板各支脚上,所述升降柱远离剪叉式安装板端自所述出风箱底端伸入其内;
[0034]第一弹簧,所述第一弹簧套设于所述升降柱上,所述第一弹簧抵设于所述出风箱底端和剪叉式安装板之间;
[0035]升降板,所述升降板横向安装于所述出风箱内,所述升降柱远离剪叉式安装板端与所述升降板连接,所述升降板上均匀开设有第一风孔;
[0036]风板,所述风板横向安装于所述出风箱内,所述风板位于所述升降板上方;
[0037]出风孔,多个所述出风孔开设于所述风板上,所述出风孔内壁自下而上呈收口式设置;
[0038]堵块,所述堵块呈柱状设置,所述堵块等数量于所述出风孔设置,所述堵块安装于所述升降板上,所述堵块伸入所述出风孔内,并堵设所述出风孔设置;
[0039]出风泵,所述出风泵安装于所述上封头上,所述出风泵出风端通过出风管路与各所述出风箱连接。
[0040]优选的,所述滤袋安装单元还包括:
[0041]横移槽,四个所述横移槽以所述出风箱放置槽为中心阵列分布于所述滤袋安装座底端;
[0042]横移板,每个所述横移槽内滑动连接有所述横移板;
[0043]限位滑条,所述限位滑条安装于所述横移槽内,所述限位滑条上开设有波浪状起落驱动槽;
[0044]起落杆,所述起落杆贴设于所述横移板内端,所述起落杆一端伸入所述横移槽内,并抵设于所述起落驱动槽上;
[0045]横板,每两个所述起落杆的另一端连接有所述横板;
[0046]纵移槽,所述纵移槽开设于所述横移板内端;
[0047]纵移块,所述纵移块滑动连接于所述纵移槽内;
[0048]第二弹簧,所述第二弹簧位于所述纵移槽内,所述第二弹簧连接于所述纵移槽内壁和纵移块之间;
[0049]复位杆,两个所述复位杆对称穿设所述横板设置;
[0050]夹板,所述固定盘位于并列设置的两个所述夹板之间,所述复位杆连接于所述夹板上,所述夹板呈凸字形设置,所述夹板顶端位于所述所述剪叉式安装板的支脚之间,所述固定盘夹设于两个所述夹板底端之间;
[0051]第三弹簧,所述第三弹簧套设于所述复位杆上,所述第三弹簧抵设于所述夹板和横板之间;
[0052]竖向齿条,所述竖向齿条安装与所述剪叉式安装板上,所述竖向齿条远离剪叉式安装板端自所述出风箱底端伸入其内;
[0053]齿轮安装架,所述齿轮安装架安装于所述出风箱内底部;
[0054]转动齿轮,所述转动齿轮通过转轴安装于所述齿轮安装架上;所述转轴两端均伸出对向的所述出风箱侧端设置,所述转动齿轮与所述竖向齿条啮合;
[0055]横移齿条,每个所述横移板上均安装有一所述横移齿条;
[0056]驱动齿轮,所述驱动齿轮安装于所述转轴两端,每两个所述横移齿条与所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,包括:立式罐体(1),过滤室(10)设于所述立式罐体(1)内,进气口(11)设于所述立式罐体(1)侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室(10)内,排气口(12)设于所述立式罐体(1)侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室(10)内;上孔放气单元(2)、下孔放气单元(3),所述上孔放气单元(2)安装于所述立式罐体(1)顶端位置,并连通于所述过滤室(10)内,所述下孔放气单元(3)安装于所述立式罐体(1)底端,并连通于所述过滤室(10)内;过滤袋单元(4),所述过滤袋单元(4)安装于所述过滤室(10)内;过滤袋抖动单元(5),所述过滤袋抖动单元(5)安装于所述立式罐体(1)顶端,所述过滤袋抖动单元(5)与所述过滤袋单元(4)连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,所述立式罐体(1)底端安装有行走轮。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,所述立式罐体(1)包括:罐身(13),所述过滤室(10)形成于所述罐身(13)内,所述排气口(12)连接于所述罐身(13)侧端靠近顶端位置;上封头(14),所述上封头(14)安装于所述罐身(13)顶端,所述过滤袋抖动单元(2)安装于所述上封头(14)上,所述上孔放气单元(2)连接于所述上封头(14)上;下封头(15),所述下封头(15)通过延伸部(16)安装于所述罐身(13)底端,所述进气口(11)连接于所述延伸部(16)上,所述下孔放气单元(3)连接于所述下封头(15)上;观察口(17),所述观察口(17)安装于所述罐身(13)上,所述观察口(17)上安装有视窗;清灰口(18),所述清灰口(18)安装于所述下封头(15)上,所述清灰口(18)上安装有盲板。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,所述进气口(11)与单晶炉连接,所述排气口(12)与真空泵连接。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,还包括:电控箱(19),所述电控箱(19)安装于所述立式罐体(1)表面,所述上孔放气单元(2)、下孔放气单元(3)以及过滤袋抖动单元(5)均与所述电控箱(19)连接。6.根据权利要求3所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,所述过滤袋单元(4)包括:底安装座(41),所述底安装座(41)固定连接于所述延伸部(16)内壁上;圆口(42),多个所述圆口(42)阵列排布于所述底安装座(41)上;顶安装座(43),所述顶安装座(43)位于所述罐身(13)内顶部,所述过滤袋抖动单元(5)与所述顶安装座(43)连接;限位杆(44),多个所述限位杆(44)周向安装于所述底安装座(41)顶端,所述顶安装座(43)套设于所述限位杆(44)上;过滤袋(45),所述过滤袋(45)等数量于所述圆口(42)设置,所述过滤袋(45)袋口端与所述圆口(42)连接;固定盘(46),所述固定盘(46)安装于所述过滤袋(45)袋底端;
安装螺柱(47),所述安装螺柱(47)连接于所述固定盘(46)上,所述安装螺柱(47)通过滤袋安装单元(6)连接于所述所述顶安装座(43)上。7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用双孔放气过滤罐,其特征在于,所述滤袋安装单元(6)包括:滤袋安装座(61),所述滤袋安装座(61)连接于所述顶安装座(43)底端;出风箱放置槽,所述出风箱放置槽开设于所述滤袋安装座(61)底端;出风箱(62),所述出风箱(62)安装于所述出风箱放置槽内,所述出风箱(62)底端均匀开设有第二风孔;剪叉式安装板(63),所述剪叉式安装板(63)位于所述出风箱(62)下方;锁紧孔(64),所述锁紧孔(64)开设于所述剪叉式安装板(63)上,所述安装螺柱(47)穿设于所述锁紧孔(64)内,并通过锁紧螺母固定;升降柱(65),四个所述升降柱(65)一一对应安装于所述剪叉式安装板(63)各支脚上,所述升降柱(65)远离剪叉式安装板(63)端自所述出风箱(62)底端伸入其内;第一弹簧(66)...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊新爽娄勇王泽东李贺
申请(专利权)人:曲靖阳光新能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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