【技术实现步骤摘要】
一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法
[0001]本专利技术涉及到一种采用激光诱导击穿光谱仪对物体中的成分及其浓度进行探测的方法。
技术介绍
[0002]目前,采用传统的激光诱导击穿光谱仪(LIBS)对物体中的成分及其浓度进行探测时,样品是固定不动的,从而导致多个脉冲激光打在样品的同一个点上,导致样品表面产生的刻痕较深。这对于诸如镀层、铝箔等厚度较薄的样品来说容易被击穿;此外,由于激光刻痕较短,导致样品表面激发等离子体面积较小,对于表面不均匀的样品来说,探测结果的波动较大,大大影响到探测结果的重复性和稳定性。
技术实现思路
[0003]本专利技术所要解决的技术问题是:提供一种可以获得设定深度和长度刻痕的对物体中的成分及其浓度进行探测的方法。
[0004]为了解决上述技术问题,本专利技术所采用的技术方案为:一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,该方法采用激光诱导击穿光谱仪对物体进行非接触式无损探测,所述的激光诱导击穿光谱仪包括:壳体109、以及设置在壳体109中的激光器101、光谱仪103、聚焦 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,该方法采用激光诱导击穿光谱仪对物体进行非接触式无损探测,所述的激光诱导击穿光谱仪包括:壳体(109)、以及设置在壳体(109)中的激光器(101)、光谱仪(103)、聚焦透镜(104)和耦合透镜(105),壳体(109)上还设置有与聚焦透镜(104)的焦距相配合的样品台(106)、以及驱动所述的样品台(106)作水平圆周运动的旋转驱动装置(2)或者驱动所述的样品台(106)沿着垂直于激光照射方向作直线运动的平移驱动装置,样品台(106)位于聚焦透镜(104)的上方,样品台(106)上开设有激光照射孔,所述的壳体(109)和旋转驱动装置(2)上开设有与所述样品台(106)上的激光照射孔相对应的激光照射过孔;所述对物体中的成分及其浓度进行探测的方法的具体步骤为:1)将待测样品(108)放置在样品台(106)上;2)探测时,由旋转驱动装置(2)驱动样品台(106)作均速圆周运动或者由平移驱动装置(3)驱动样品台(106)作均速平移运动;此时,由激光器(101)产生激光,经过聚焦透镜(104)聚焦后、自下而上穿过样品台(106)上的激光照射孔对待测样品(108)进行照射;待测样品(108)的被测表面在激光的照射下产生等离子火花,等离子火花信号经过信号耦合透镜(105)耦合至光纤光谱仪(103)中,通过分析光纤光谱仪(103)接收到的等离子火花信号就可得到物体中所含的成分及其浓度。2.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,其特征在于,所述激光器(101)为0.5至1.55um波段的脉冲激光器,激光器(101)能量大于50uJ。3.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,其特征在于,所述光谱仪(103)为光纤光谱仪。4.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,其特征在于,所述光谱仪(103)的波长范围在180nm至900nm之间。5.如权利要求1所述的一种对物体中的成分及其浓度进行探测的方法,其特征在于,所述的旋转驱动装置(2)包括:设置在所述壳体(109)上的转接板(204),转接板(204)上通过回转用轴承(202)活动设置有回转齿轮(208),所述的样品台(106)设置在回转齿轮(208)上,所述的壳体(109)上还设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:岳文君,孙嵘,
申请(专利权)人:苏州星帆华镭光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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