一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学与材料检测技术领域，公开了一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，包括激光发射部件、光谱仪和工作台，还包括检测罩、抽气设备和负压单元，工作台布置在检测罩内，检测罩上设置有用于避让激光的避让口和供发射光谱通过的通光孔，负压单元布置在通光孔与光谱仪之间，负压单元具有与光谱仪的探头同轴以供光谱通过的光谱通道和与光谱通道连通的收缩腔，收缩腔以及检测罩均与抽气设备连通。检测罩和负压单元形成两级负压区域，通过抽气设备抽气对颗粒和粒子分别进行拦截，从而避免颗粒或者粒子阻挡光谱信息，保护探头并减少颗粒附着对探头信号精度的影响，同时还防止其向外扩散进入仪器，提高LIBS的长期稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置


[0001]本专利技术涉及光学与材料检测
，特别是涉及一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置。

技术介绍

[0002]LIBS是Laser－Induced Breakdown Spectroscopy(激光诱导击穿光谱学)的简称，该技术通过超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，利用光谱仪对等离子体发射光谱进行分析，以此来识别样品中的元素组成成分，进而可以进行材料的识别、分类、定性以及定量分析。LIBS弥补了传统元素分析方法的不足，尤其在微小区域材料分析、镀层/薄膜分析、缺陷检测、珠宝鉴定、法医证据鉴定、粉末材料分析、合金分析等应用领域优势明显，同时，LIBS还可以广泛适用于地质、煤炭、冶金、制药、环境、科研等不同领域的应用。
[0003]但LIBS在工厂企业检测粉体样品的实际应用过程中容易发生微细颗粒被脉冲激光击飞的情况，激光穿透时的局部高温也会造成部分物质解离或蒸发。这些击飞或者高温解离的颗粒或粒子会向周围移动，其中一部分将会附着到光谱仪探头透镜的下表面，阻挡光谱信息的接收，这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，包括激光发射部件、光谱仪和用于承载待测样品的工作台，所述激光发射部件布置在所述工作台的上方以向待测样品垂直发射激光，所述光谱仪的探头倾斜朝向所述工作台布置以倾斜接收等离子体发射光谱，其特征在于，还包括检测罩、抽气设备和负压单元，所述工作台布置在所述检测罩内，所述检测罩上设置有用于避让激光的避让口和供发射光谱通过的通光孔，所述负压单元布置在所述通光孔与所述光谱仪之间，所述负压单元具有与所述光谱仪的探头同轴以供光谱通过的光谱通道和与所述光谱通道连通的收缩腔，所述收缩腔以及所述检测罩均与所述抽气设备连通。2.根据权利要求1所述的防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，其特征在于，所述光谱通道与所述通光孔之间具有间隔，间隔为5－15mm。3.根据权利要求2所述的防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，其特征在于，所述光谱通道与所述光谱仪的探头之间具有间隔，间隔不大于5mm。4.根据权利要求1－3任一项所述的防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，其特征在于，所述负压单元包括环形的外壳，所述外壳内的空间形成所述收缩腔，所述外壳的轴向两端分别设置有开口，两个所述开口之间形成所述光谱通道，所述外壳的外侧设置有与所述抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈公达，邹祥波，饶睦敏，熊凯，陈创庭，秦士伟，叶骥，匡草，
申请(专利权)人：广东能源集团科学技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：