一种电子级一氟甲烷的纯化方法技术

本发明专利技术公开了一种电子级一氟甲烷的纯化方法，该方法为：将粗品一氟甲烷原料和甲醇

【技术实现步骤摘要】
一种电子级一氟甲烷的纯化方法


[0001]本专利技术属于气体纯化的
，具体涉及一种电子级一氟甲烷的纯化方法。

技术介绍

[0002]一氟甲烷(HFC
‑
41)，分子式为CH3F，无色易燃气体，易溶于乙醇、乙醚，具有较低的温室效应潜值(GWP100＝116)和零臭氧损耗潜值(ODP)，是为数不多的符合欧盟使用标准(GWP100<150)的饱和氢氟烃。此外，高纯一氟甲烷是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好，在射频场下一氟甲烷会溶解氟离子，进行反应性离子蚀刻。因此，电子级一氟甲烷的需求量越来越大，是制作高水平、高质量半导体产品及电子产品的保证，产品纯度要求≥99.997％。
[0003]一氟甲烷的合成方法主要有两种：甲醇与氟化氢的酯化法及氯甲烷氟化法，两者均是在催化剂的作用下完成反应过程。工业上采用氯甲烷氟化法合成一氟甲烷的过程中，会产生大量杂质，其主要包括氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳、氟化氢和水等。
[0004]一种一氟甲烷提纯工艺(CN20181本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级一氟甲烷的纯化方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1、从鼓泡反应器的上端入口通入甲醇
‑
锌粉浆料、下端入口通入粗品一氟甲烷原料，在所述鼓泡反应器塔顶操作温度为80℃～110℃、压力为0.5MPa～1.0MPa的条件下进行预反应，预反应结束后得到混合气，固体废料从所述鼓泡反应器的底部出口排出；S2、将S1中得到的混合气通入脱轻塔中进行一级精馏，所述脱轻塔的塔顶采出轻组分杂质、塔釜采出脱轻后混合气；所述脱轻塔的操作温度为
‑
45℃～
‑
30℃，操作压力为0.3MPa～0.8MPa；S3、将S2中得到的脱轻后混合气通入脱重塔中进行二级精馏，所述脱重塔的塔顶采出电子级一氟甲烷、塔釜采出重组分杂质；所述脱重塔的操作温度为
‑
25℃～
‑
15℃，操作压力为0.8MPa～1.2MPa。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建伟，花莹曦，陈润泽，吝秀锋，张旭，孙加其，姜世楠，吝海霞，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：