一种高刚度高稳定性的固晶电机安装架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高刚度高稳定性的固晶电机安装架，包括金属铸件架体，所述金属铸件架体内部开设有横向电机通道和纵向电机通道，所述横向电机通道沿横向方向延伸并贯穿于所述金属铸件架体的横向两侧，所述纵向电机通道沿纵向方向延伸并贯穿于所述金属铸件架体的纵向两侧；所述横向电机通道内设置有用以安装固定横向直线电机的第一安装结构，所述纵向电机通道内设置有用以安装固定纵向直线电机的第二安装结构，所述金属铸件架体的外侧面上设置有用以安装固定竖向直线电机的第三安装结构。该固晶电机安装架具有高刚度和高稳定性的优势。性的优势。性的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种高刚度高稳定性的固晶电机安装架


[0001]本技术涉及晶片固晶设备，尤其涉及一种高刚度高稳定性的固晶电机安装架。

技术介绍

[0002]晶片固晶时，需要驱动固晶绑头升降和平移，以将固晶绑头移动到适当的高度，便于固晶绑头取放晶片。当前，固晶设备一般是采用三个直线电机来分别驱动固晶绑头在横向、纵向和竖向这三个方向上进行移动，这三个直线电机搭载于同一机架上。
[0003]专利号为CN202010251155.8的中国专利中公开了一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高刚度高稳定性的固晶电机安装架，其特征在于，包括金属铸件架体，所述金属铸件架体内部开设有横向电机通道和纵向电机通道，所述横向电机通道沿横向方向延伸并贯穿于所述金属铸件架体的横向两侧，所述纵向电机通道沿纵向方向延伸并贯穿于所述金属铸件架体的纵向两侧；所述横向电机通道内设置有用以安装固定横向直线电机的第一安装结构，所述纵向电机通道内设置有用以安装固定纵向直线电机的第二安装结构，所述金属铸件架体的外侧面上设置有用以安装固定竖向直线电机的第三安装结构。2.根据权利要求1所述的高刚度高稳定性的固晶电机安装架，其特征在于，所述第一安装结构、第二安装结构和第三安装结构为螺孔结构、卡接结构或焊接结构。3.根据权利要求1所述的高刚度高稳定性的固晶电机安装架，其特征在于，所述金属铸件架体形成有供固晶绑头移动的绑头移动空间，所述横向电机通道和纵向电机通道均与所述绑头移动空间相连通，所述绑头移动空间从所述金属铸件架体上设置有所述第三安装结构的外侧面处露出。4.根据权利要求1所述的高刚度高稳定性的固晶电机安装架，其特征在于，所述金属铸件架体包括第一铸件、第二铸件和两个第三铸件，所述第二铸件组装固定于所述第一铸件上，以与所述第一铸件共同围合形成所述横向电机通道；两个第三铸件组装固定于所述第二铸件的纵向两端上，以与所述第二铸件共同围合形成所述纵向电机通道；所述第一安装结构设置于所述第一铸件上，所述第二安装结构设置于所述第二铸件上，所述第三安装结构设置于两个第三铸件上。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春波，曾晖，肖涵，李友春，车兴邦，杜晨林，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：新型
国别省市：