【技术实现步骤摘要】
光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置及其使用方法
[0001]本专利技术属于光学元件
，更具体地，涉及一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]随着激光装备功率等级的不断提升，其光学系统内部光学元件因膜层或镜体吸收导致的局部最大温升同步增大，造成的光学元件面形变化将会导致激光在传输过程中的波像差及光束指向等发生劣化偏差，将严重影响激光装备的发射光束质量；同时，因光学元件膜层效率等因素导致的剩余透射光与杂散光，将会对光学系统的探测、光路、结构等方面的安全均产生不利影响。为了解决光学元件局部过大温升造成的光学元件局部超限面形变化与光传输质量劣化问题，同时为了解决光学元件剩余透射光与杂散光对光学系统的综合安全问题，在充分考虑系统紧凑化布局需求的前提下，须设计一种可实现高功率激光装备光学元件直接强化散热与杂散光处理功能的一体化装置，对下一代高性能激光装备研制具有重要意义。
[0003]为了解决类似共性问题，中国技术专利CN 210373357 U公开了一种液冷自对流散热模块，包括...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特征在于，包括：设有复合功能腔室的的底板和与底板配合安装的顶板；实现降温目的的液冷组件，其包括设于底板一侧的第一进液口、设于复合功能腔室且与第一进液口直接相连并通过使容积突变增大的方式降低水流速的扩容降速段、设于复合功能腔室且与扩容降速段直接连接并通过第一区域隔层和第二区域隔层所形成的用于起到冷却流体多层整流作用的整流段、与整流段的输出端直接连接并设于整个复合功能腔室后半段的第一液冷通道、设于顶板中心并作为核心散热段的安装区、固定安装于所述安装区底面边缘处的支撑缘、与支撑缘保持接触并起到防水密封作用的密封圈、设于安装区中间位置用于安装光学元件的光学元件安装区；用于对光学元件起到温度补偿作用从而对光学元件的表面面形指标进行有效控制的温度补偿组件，其包括用于安装直接作用于光学元件承光面边缘并进行温度补偿的加热板的加热板安装区、安装于压板安装面且用于对下方的加热板及光学元件起到定位作用的压板，所述加热板与光学元件边缘处通过压力保持直接接触；用于吸收光学元件的反射杂散光的截止吸收组件，其包括固定连接于底板远离第一进液口一侧的竖向支撑台、通过安装定位部固定连接至支撑台上端面的并根据光的反射路径所确定倾斜角的斜向吸收头、设置于斜向吸收头内部并通过密封窗口密封从而起到防氧化作用的吸收腔、安装于吸收腔中并用于将光学元件的反射杂散光进行二次反射到能够吸收杂散光的吸收腔内壁的高反射椎体。2.根据权利要求1所述的一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特征在于，所述吸收腔内壁通过高于0.9的表面吸收率的电泳、电镀、蒸汽离子镀独立或组合方式进行表面处理。3.根据权利要求2所述的一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特征在于，包括：所述液冷组件、温度补偿组件和截止吸收组件均设置为能够根据不同光学元件尺寸进行调整相应结构尺寸的可拆卸连接结构。4.根据权利要求3所述的一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特征在于，包括：所述散热段正对于光学元件底面的流道一侧设置杂散光高吸收截止区，所述杂散光高吸收截止区通过电泳、电镀、蒸汽离子镀的单种或多种结合方式进行处理，且所述处理方式对应于特定波长的光截止吸收率不低于0.9。5.根据权利要求4所述的一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特征在于：所述支撑缘为用于防止冷却液形成紊流的且与第一流动通道之间连接保持平缓过渡的局部坡槽。6.根据权利要求1
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5中任一项所述的一种光学元件液冷散热与杂散光处理一体化装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：武春风，韩西萌，李强，姜永亮，胡黎明，杨小强，胡灿，李丹妮，王旭锋，胡阿健，
申请(专利权)人：中国航天三江集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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