电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及柔性电子功能层制备技术领域，尤其涉及电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置，其中，在空间上和时间上施加复合场，从而相比单一的外场，显著的增强克服结构阻力的宏观外场。空间上，在桶的周边构建了磁场、电场和热场，并且还能够进一步的相对于桶而调整施加的外场的角度；时间上，能够理解，可以同步的控制各个外场，也可以异步的控制各个外场。以此，所述方法使得功能材料同时处于磁场、电场和热场的复合场下，该复合场增强了克服结构阻力的宏观外场，能够通过调控复合场实现功能材料分布的调控，并结合精确控制局部力场，实现柔性电子功能层结构性能的均匀性和动态调控的兼顾。匀性和动态调控的兼顾。匀性和动态调控的兼顾。

【技术实现步骤摘要】
电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置


[0001]本专利技术涉及柔性电子制备
，尤其涉及电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置。

技术介绍

[0002]“旋涂法”在半导体光刻以及钙钛矿太阳能电池制备中，用于形成均匀薄膜。在旋涂法中，基底高速旋转，材料溶液滴加在基底中心，在离心力的作用下展开，溶剂蒸发最终成膜。不过，旋涂法得到的薄膜多是非晶态或多晶态。
[0003]现有的学术文献中，
[0004]2019年，Science文章”Spin coating epitaxial films”，作者将“旋涂法”和“外延法”这两种方法结合起来，用旋涂方式得到单晶或类单晶外延膜。
[0005]2019年，Materials Characterization，Volume 153，July 2019，Pages 115
‑
120所收录的”The role of local intensive heating on microstructure of 2024Al/Alr/>18
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法，其特征在于：对于制备所述柔性电子功能层的功能材料，当以旋涂法在一个桶的内部旋涂所述功能材料时，利用外部电源对桶内施加一个热场；施加所述热场的同时，进一步在桶外施加磁场，并使得所述磁场作用于桶内；施加所述热场的同时，进一步利用所述外部电源对桶内施加一个电场，并使得所述电场作用于桶内；以此，所述方法使得功能材料同时处于磁场、电场和热场的复合场下，该复合场增强了克服结构阻力的宏观外场，能够通过调控复合场实现功能材料分布的调控，并结合精确控制局部力场，实现柔性电子功能层结构性能的均匀性和动态调控的兼顾。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：优选的，所述热场通过加热腔体施加。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述加热腔体与桶同步的运动。4.根据权利要求2至3任一所述的方法，其特征在于：所述加热腔体相对于所述桶的角度可调，以用于在旋涂法的基础上同步的实现柔性电子功能层对应的高分子薄膜的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：安宁丽，方长青，王权岱，郭嘉鹏，理莎莎，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：