压电振子以及驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压电振子以及驱动装置，能够产生高输出。压电振子具有振动部和凸部，所述振动部具有处于表里关系的一对主面和连接所述一对主面的侧面，所述凸部配置在所述振动部上，将通过所述振动部振动而产生的驱动力传递给被驱动部。递给被驱动部。递给被驱动部。

【技术实现步骤摘要】
压电振子以及驱动装置


[0001]本专利技术涉及一种压电振子以及驱动装置。

技术介绍

[0002]例如，在专利文献1中记载了一种压电振子，该压电振子具有：第一压电基板，在下表面形成有公共电极，在上表面形成有独立电极；第二压电基板，层叠在第一压电基板上，在上表面形成有独立电极；第三压电基板，层叠在第二压电基板上，在上表面形成有公共电极；以及第四压电基板，层叠在第三压电基板上，在上表面形成有独立电极。这样，通过使用四片压电基板层叠三层独立电极，能够提高压电振子的输出。
[0003]专利文献1：日本特表2003
‑
501988号公报
[0004]然而，在专利文献1的压电振子中，各独立电极被分割成四个电极，其中的两个电极是用于激振向一侧进行弯曲振动的电极对，剩余的两个电极是用于激振向另一侧进行弯曲振动的电极对。这样，在专利文献1的压电振子中，由于在各独立电极中仅包含用于激振弯曲振动的电极，因此无法充分提高输出。

技术实现思路

[0005]本专利技术的压电振子，其特征在于，
[0006]所述压电振子具有振动部和凸部，所述振动部具有处于表里关系的一对主面和连接所述一对主面的侧面，所述凸部配置在所述振动部上，将通过所述振动部振动而产生的驱动力传递给被驱动部，
[0007]所述振动部由包括所述第一振动板以及所述第二振动板的多个振动板在所述一对主面排列的第一方向上层叠而成，
[0008]所述第一振动板具有弯曲振动用压电元件，在俯视观察所述主面时，该弯曲振动用压电元件使所述振动部在与所述被驱动部和所述凸部排列的第二方向正交的第三方向上弯曲振动，
[0009]所述第一振动板以及所述第二振动板中的任一方或双方具有使所述振动部在所述第二方向上伸缩振动的伸缩振动用压电元件，
[0010]在所述侧面上配置有与所述弯曲振动用压电元件以及所述伸缩振动用压电元件电连接的多个端子。
[0011]本专利技术的驱动装置，其特征在于，
[0012]所述驱动装置具有被驱动部和压电振子，所述压电振子驱动所述被驱动部，
[0013]所述压电振子具有振动部和凸部，所述振动部具有处于表里关系的一对主面和连接所述一对主面的侧面，所述凸部配置在所述振动部上，将通过所述振动部振动而产生的驱动力传递给被驱动部，
[0014]所述振动部由包括所述第一振动板以及所述第二振动板的多个振动板在所述一对主面排列的第一方向上层叠而成，
[0015]所述第一振动板具有弯曲振动用压电元件，在俯视观察所述主面时，该弯曲振动用压电元件使所述振动部在与所述被驱动部和所述凸部排列的第二方向正交的第三方向上弯曲振动，
[0016]所述第一振动板以及所述第二振动板中的任一方或双方具有使所述振动部在所述第二方向上伸缩振动的伸缩振动用压电元件，
[0017]在所述侧面上配置有与所述弯曲振动用压电元件以及所述伸缩振动用压电元件电连接的多个端子。
附图说明
[0018]图1是表示第一实施方式所涉及的驱动装置的整体图。
[0019]图2是表示驱动装置的变形例的整体图。
[0020]图3是表示驱动装置的变形例的整体图。
[0021]图4是表示驱动装置的变形例的整体图。
[0022]图5是表示驱动装置的变形例的整体图。
[0023]图6是压电振子的剖面图。
[0024]图7是振动部的分解立体图。
[0025]图8是振动部的分解立体图。
[0026]图9是振动板的俯视图。
[0027]图10是振动体的立体图。
[0028]图11是振动体的立体图。
[0029]图12是表示对振动体施加的交变电压的图。
[0030]图13是表示振动体的驱动状态的图。
[0031]图14是表示振动体的驱动状态的图。
[0032]图15是第二实施方式所涉及的压电振子具有的振动部的分解立体图。
[0033]图16是第二实施方式所涉及的压电振子具有的振动部的分解立体图。
[0034]图17是第三实施方式所涉及的压电振子具有的各振动部的俯视图。
[0035]图18是振动体的立体图。
[0036]图19是第四实施方式所涉及的驱动装置的电路图。
[0037]附图标记说明
[0038]1：驱动装置；1A：第一驱动装置；1B：第二驱动装置；1θ：第三驱动装置；21：转子；211：外周面；212：主面；22：滑块；23A：载物台；23B：载物台；23θ：载物台；3：压电振子；3A：压电振子；3B：压电振子；3θ：压电振子；30：壳体；301：开口；31：布线基板；310：连接端子；311：连接端子；312：连接端子；313：连接端子；32：施力部；321：压缩螺旋弹簧；33：衬垫；34：施力部；341：压缩螺旋弹簧；35：衬垫；39：开关电路；4：振动体；41：振动部；411：上表面；412：下表面；413：侧面；413a：第一侧面；413b：第二侧面；413c：第三侧面；413d：第四侧面；42：凸部；5：振动板；50：绝缘层；51：振动板；52：振动板；53：振动板；54：振动板；55：绝缘层；6：压电层；70：公共电极；71：独立电极；72：独立电极；73：独立电极；74：独立电极；75：独立电极；76：检测电极；80：端子；81：端子；82：端子；83：端子；84：端子；85：端子；86：端子；87：电气布线；88：电气布线；9：控制装置；91：电压施加部；92：检测信号受理部；A：方向；A1：箭头；A2：
箭头；B：方向；B1：箭头；B2：箭头；E1：伸缩振动用压电元件；E21：弯曲振动用压电元件；E22：弯曲振动用压电元件；E31：弯曲振动用压电元件；E32：弯曲振动用压电元件；E4：检测用压电元件；O：旋转轴；Q1：接合部件；Q2：接合部件；V1：交变电压；V2：交变电压；V3：交变电压。
具体实施方式
[0039]以下，基于附图所示的优选实施方式对本专利技术的压电振子以及驱动装置进行详细说明。
[0040]第一实施方式
[0041]图1是表示第一实施方式所涉及的驱动装置的整体图。图2至图5分别是表示驱动装置的变形例的整体图。图6是压电振子的剖面图。图7以及图8分别是振动部的分解立体图。图9是振动板的俯视图。图10以及图11分别是振动体的立体图。图12是表示对振动体施加的交变电压的图。图13以及图14分别是表示振动体的驱动状态的图。
[0042]需要说明的是，以下，为了便于说明，作为压电振子固有的坐标轴，将相互正交的3个轴作为X轴、Y轴以及Z轴，将沿着X轴的方向称为X轴方向，将沿着Y轴的方向称为Y轴方向，将沿着Z轴的方向称为Z轴方向。另外，将各轴的箭头侧称为“正侧”，将与箭头相反的一侧称为“负侧”。
[0043]图1所示的驱动装置1具有：作为被驱动体的转子21，能够围绕沿着Z轴的旋转轴O旋转；压电振子3，能够使转子21围绕本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电振子，其特征在于，所述压电振子具有：振动部，具有处于表里关系的一对主面和连接所述一对主面的侧面，以及凸部，配置在所述振动部上，将通过所述振动部振动而产生的驱动力传递给被驱动部，所述振动部由多个振动板在所述一对主面排列的第一方向上层叠而成，所述多个振动板包括第一振动板以及第二振动板，所述第一振动板具有弯曲振动用压电元件，在俯视观察所述主面时，该弯曲振动用压电元件使所述振动部在第三方向上弯曲振动，所述第三方向是与所述被驱动部和所述凸部排列的第二方向正交的方向，所述第一振动板以及所述第二振动板中的任一方或双方具有：伸缩振动用压电元件，使所述振动部在所述第二方向上伸缩振动，在所述侧面上配置有多个端子，与所述弯曲振动用压电元件以及所述伸缩振动用压电元件电连接。2.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述伸缩振动用压电元件分别配置于所述第一振动板以及所述第二振动板。3.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述伸缩振动用压电元件配置于所述第二振动板。4.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述第一振动板以及所述第二振动板中的任一方或双方具有：检测用压电元件，检测所述振动部的振动。5.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，所述压电振子具有与所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫泽孝雄，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：