调节装置及具有其的成像系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种调节装置及具有其的成像系统，其中该调节装置用于调节可移动的目标物体的位置。该调节装置包括推动件、固定座以及调节件。其中，推动件用于设置在目标物体上，调节件位置可调节地设于固定座上且沿推动件的移动方向位于推动件的两侧，调节件处于静止状态时分别抵靠推动件的两侧以固定目标物体的位置，调节件处于移动状态时推动推动件以使目标物体移动到预定位置。这样，无论调节件处于静止状态还是移动状态，调节件和推动件之间始终是紧密相抵的，可以避免由于部件连接的松动造成的目标物体的晃动，保证调节过程的平稳以及调节后目标物体的位置的稳定。调节过程简单方便，结构设置更简单合理，安装难度低，结构稳定性更好。构稳定性更好。构稳定性更好。

【技术实现步骤摘要】
调节装置及具有其的成像系统


[0001]本技术涉及调节装置
，具体地，涉及一种调节装置及具有其的成像系统。

技术介绍

[0002]随着科技水平的发展，调节装置作为一种对目标物体进行精密调整的装置，被越来越多的应用于生产生活中。以半导体
为例，在进行产品良率管理时，需要成像系统对产品进行外观缺陷的检测。成像系统的成像装置具备宏观和微观的检测能力，为保证检测的准确性，检测时需要对成像装置的位置进行调节，以使成像装置正对待检产品。
[0003]现有技术通常采用调节装置对成像装置进行调节，调节装置包括旋转电机和与旋转电机的输出轴固定连接的旋转板。旋转电机通过输出轴带动旋转板转动以使安装于旋转板上的成像装置移动到预定位置。
[0004]其中，旋转电机只能控制旋转板的转动，在将成像装置移动到预定位置后，旋转电机停止转动，此时成像装置的位置很难稳固。无论是旋转电机的输出轴与旋转电机的连接产生的松动，还是输出轴与旋转板的连接不够稳固，均会造成成像装置的晃动，影响拍摄效果。并且该调节装置的安装和调整难度较大，结构稳定性差。

技术实现思路

[0005]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本技术的一个方面，提供一种调节装置，用于调节可移动的目标物体的位置。该调节装置包括推动件、固定座以及调节件。其中，推动件用于设置在目标物体上，调节件位置可调节地设于固定座上且沿推动件的移动方向位于推动件的两侧，调节件处于静止状态时分别抵靠推动件的两侧以固定目标物体的位置，调节件处于移动状态时推动推动件以使目标物体移动到预定位置。
[0006]示例性地，调节件与推动件抵靠的端面为球面。
[0007]示例性地，推动件包括推动主体，推动主体用于安装目标物体，推动主体沿推动件的移动方向可移动地设于固定座上；以及推动凸起，推动凸起设于推动主体上且供调节件在两侧抵靠和推动。
[0008]示例性地，推动主体和固定座中的一个上设置有圆形或者环形的凹槽，推动主体和固定座中的另一个上设置有多个限位凸块，多个限位凸块沿着凹槽的周向在不同位置处贴靠在凹槽的侧壁上，且推动主体相对于固定座沿周向方向可移动，其中推动件的移动方向为周向方向。
[0009]示例性地，推动主体和固定座中的一个设有安装孔且另一个设有调节孔，调节孔为沿推动件的移动方向延伸的长孔，紧固件穿过调节孔并连接至安装孔以固定固定座和推动主体之间的相对位置。
[0010]示例性地，调节件包括调节螺栓，调节螺栓沿推动件的移动方向设置，固定座上设置有螺孔，调节螺栓螺纹连接至螺孔。
[0011]示例性地，推动件和固定座之间通过转轴连接，推动件和固定座绕转轴相对转动以使目标物体移动到预定位置。
[0012]根据本技术的另一方面，还提供一种成像系统。该成像系统包括成像装置；以及第一调节装置，第一调节装置为上述任一种调节装置，成像装置作为第一调节装置的目标物体设置在其推动件上。
[0013]示例性地，成像系统还包括第二调节装置，第二调节装置为上述任意一种调节装置，第一调节装置的固定座作为目标物体设置在第二调节装置的推动件上，其中第二调节装置的推动件的移动方向与第一调节装置的推动件的移动方向不同。
[0014]示例性地，成像系统还包括第三调节装置，第三调节装置为上述任意一种调节装置，第二调节装置的固定座作为目标物体设置在第三调节装置的推动件上，其中第三调节装置的推动件的移动方向与第二调节装置的推动件的移动方向以及与第一调节装置的推动件的移动方向均不同。
[0015]本方案中的调节装置，在调节件处于静止状态时，调节件相对于固定座位置不变，固定座可以保证调节件位置的稳固。由此，调节件与推动件的两侧相抵，可以保证推动件在该移动方向上的位置的稳固，进而保证与推动件连接的目标物体的位置的稳定。在调节件处于移动状态时，调节件相对固定座的位置发生改变，在固定座的支撑作用下，调节件移动并推动推动件，使目标物体的位置随推动件的移动而改变，在目标物体移动到预定位置时，停止移动调节件，调节件进入静止状态，即实现了完整的调节过程。相对于现有技术中采用旋转电机通过输出轴带动旋转板以使目标物体移动的技术方案，本方案中，无论调节件处于静止状态还是移动状态，调节件和推动件之间始终是紧密相抵的，可以避免由于部件连接的松动造成的目标物体的晃动，保证调节过程的平稳以及调节后目标物体的位置的稳定。调节过程简单方便，结构设置更简单合理，安装难度低，结构稳定性更好。
[0016]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不是限定要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不是限定试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0017]以下结合附图，详细说明本技术的优点和特征。
附图说明
[0018]本技术的下列附图在此作为本技术的一部分用于理解本技术。附图中示出了本技术的实施方式及其描述，用来解释本技术的原理。在附图中，
[0019]图1为根据本技术的一个示例性实施例的成像系统的立体图；
[0020]图2为根据本技术的一个示例性实施例的成像系统的主视图；
[0021]图3为根据本技术的一个示例性实施例的成像系统的另一视角下的立体图；
[0022]图4为根据本技术的另一个示例性实施例的调节装置的固定座的立体图；以及
[0023]图5为与图4所示的固定座相适配的推动主体的立体图。
[0024]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0025]10、调节装置；100、推动件；110、110
’
、推动主体；111
’
、限位凸块；112、调节孔；113
’
、螺纹件；120、120
’
、推动凸起；200、200
’
、固定座；210
’
、凹槽；220、安装孔；230、螺孔；
240
’
、弧形孔；300、300
’
、调节件；310、调节螺栓；400、紧固件；500、转轴；20、成像装置；60、第一调节装置；610、推动件；620、固定座；70、第二调节装置；710、推动件；720、固定座。
具体实施方式
[0026]在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本技术。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本技术的优选实施例，本技术可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0027]为了彻底了解本技术实施方式，将在下列的描述中提出详细的结构。显然，本技术实施方式的施行并不限定于本领域的技术人员所熟习的特殊细节。本技术的较佳实施方式详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本技术还可以具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调节装置，用于调节可移动的目标物体的位置，其特征在于，包括：推动件，用于设置在所述目标物体上；固定座；以及调节件，所述调节件位置可调节地设于所述固定座上且沿所述推动件的移动方向位于所述推动件的两侧，所述调节件处于静止状态时分别抵靠所述推动件的所述两侧以固定所述目标物体的位置，所述调节件处于移动状态时推动所述推动件以使所述目标物体移动到预定位置。2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述调节件与所述推动件抵靠的端面为球面。3.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述推动件包括：推动主体，所述推动主体用于安装所述目标物体，所述推动主体沿所述推动件的移动方向可移动地设于所述固定座上；以及推动凸起，所述推动凸起设于所述推动主体上且供所述调节件在两侧抵靠和推动。4.根据权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述推动主体和所述固定座中的一个上设置有圆形或者环形的凹槽，所述推动主体和所述固定座中的另一个上设置有多个限位凸块，所述多个限位凸块沿着所述凹槽的周向在不同位置处贴靠在所述凹槽的侧壁上，且所述推动主体相对于所述固定座沿所述周向方向可移动，其中所述推动件的移动方向为所述周向方向。5.根据权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述推动主体和所述固定座中的一个设有安装孔且另一个设有调节孔，所述调节孔为沿所述推动件的移动方向延伸的长孔，紧固件穿过所述调节孔并...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐乐，汤雄卫，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：