泛半导体设备用密封条安装治具制造技术

本说明书实施例提供一种泛半导体设备用密封条安装治具，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；手柄用于操作人员握持；引导滚轮通过第一安装轴活动安装于手柄的第一端，引导滚轮的表面设置有凹槽，凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；平整滚轮通过第二安装轴活动安装于手柄的第二端，平整滚轮为圆柱形。在安装密封条时，推动两个滚轮在待安装密封条的半导体设备的表面滚动，引导滚轮引导密封条进入安装沟槽中，然后由平整滚轮将密封条平整的压入沟槽，操作简单，加快安装速度，提高安装平整度，并且能够满足半导体生产的洁净度要求，不产生静电或粉尘，不损伤半导体设备。不损伤半导体设备。不损伤半导体设备。

【技术实现步骤摘要】
泛半导体设备用密封条安装治具


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种泛半导体设备用密封条安装治具。

技术介绍

[0002]在泛半导体设备的制程过程中，需要为某些部件提供密封。在密封部件安装时，如将密封条或密封圈安装进安装沟槽时，操作人员普遍使用手工安装的方式，凭借手感将密封条或密封圈按压进沟槽中，安装的平整度和速度依赖操作人员的经验，统一性差；在安装宽度较大或长度较长的密封条或密封圈时，需要多名操作人员同时操作，平整度很难保证，安装时间长。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本说明书实施例提供一种泛半导体设备用密封条安装治具，便于操作，通用性好，能够提高密封条安装的平整度，加快安装速度。
[0004]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0005]一种泛半导体设备用密封条安装治具，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；
[0006]所述手柄用于操作人员握持；
[0007]所述引导滚轮通过第一安装轴活动安装于所述手柄的第一端，所述引导滚轮的表面设置有凹槽，所述凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；
[0008]所述平整滚轮通过第二安装轴活动安装于所述手柄的第二端，所述平整滚轮为圆柱形。
[0009]在上述方案中，在一个手柄上活动安装两个滚轮，操作人员通过手柄推动两个滚轮在待安装密封条的半导体设备的表面沿引导滚轮所在方向滚动，在推动过程中，引导滚轮上的凹槽引导密封条进入安装沟槽中，然后由平整滚轮将密封条平整的压入沟槽，从而方便完成安装密封条的操作，加快安装速度，提高密封条安装的平整度。
[0010]本专利技术还提供一种方案，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径相同。
[0011]本专利技术还提供一种方案，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径均为35mm。
[0012]本专利技术还提供一种方案，所述第一安装轴和所述第二安装轴由不锈钢材料制成。
[0013]本专利技术还提供一种方案，所述手柄的形状包括C形或U形。
[0014]本专利技术还提供一种方案，所述手柄的水平宽度为18mm。
[0015]本专利技术还提供一种方案，所述引导滚轮的宽度为10mm。
[0016]本专利技术还提供一种方案，所述凹槽的截面形状包括圆弧形。
[0017]本专利技术还提供一种方案，所述凹槽的深度为0.77mm，所述凹槽的圆弧半径为1.76mm。
[0018]本专利技术还提供一种方案，所述手柄、所述引导滚轮和所述平整滚轮的边缘位置均
设置有倒角。
[0019]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：本专利技术提供的泛半导体设备用密封条安装治具，操作简单，降低密封条的安装难度，单人即可完成密封条的安装，节省安装时间；通用性好，适用各种截面形状的密封条，不同的操作人员都能将密封条正确的、平整的安装进半导体设备的安装槽中，保证安装效果；采用聚四氟乙烯制成接触半导体设备的部件，能够满足半导体生产的洁净度要求，不产生静电或粉尘，不损伤半导体设备。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0021]图1是手工安装密封条的示意图；
[0022]图2是本专利技术所提出的密封条安装治具一实施例的正视示意图；
[0023]图3是本专利技术所提出的密封条安装治具一实施例的俯视示意图；
[0024]图4是本专利技术所提出的密封条安装治具一实施例的侧视示意图；
[0025]图5是本专利技术所提出的密封条安装治具压入密封条时的立体示意图；
[0026]图6是本专利技术所提出的密封条安装治具推动方向的侧视示意图；
[0027]图7是专利技术所提出的密封条安装治具压入密封条后的立体示意图；
[0028]图8是专利技术所提出的密封条安装治具一实施例的引导滚轮处的局部放大示意图。
具体实施方式
[0029]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0030]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0031]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0032]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘
制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0033]另外，本说明书的描述中，需要理解的是，本说明书的示例实施例中所描述的“上”、“下”、“内”、“外”等方位词，“第一”、“第二”、“第三”、等数量词，是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本说明书的示例实施例的限定。
[0034]参考
技术介绍
中所述，现有技术在为半导体设备安装密封条(或密封圈，密封圈可以认为是一个两端相互连接的密封条)时，操作人员普遍使用手摁以及凭个人感觉逐步将密封条安装进沟槽，导致的结果是密封条在安装进沟槽后平整度不够，会存在安装不到位、不平整的情况，密封条的表面呈现波浪形，如图1所示。此外，这种凭手工和人员经验一点一点将密封条安装进沟槽的方法，时间长、效率低，在安装较大或较长尺寸的密封条时，安装速度和平整度更加难以保证。
[0035]为了解决上述问题，专利技术人提出一种密封条安装治具，用于泛半导体行业中的半导体设备上的密封条的安装。上述的密封条安装治具由三个部分组合而成，包括一个手柄和安装其上的两个滚轮。第一个滚轮为引导用的滚轮，主要作用是：在滚动时定位密封条，并限制密封条的滑动及偏移；第二滚轮为平整用的滚轮，主要作用是：将定位后的密封条平整的压入沟槽中。并且，因为是在半导体设备上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种泛半导体设备用密封条安装治具，其特征在于，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；所述手柄用于操作人员握持；所述引导滚轮通过第一安装轴活动安装于所述手柄的第一端，所述引导滚轮的表面设置有凹槽，所述凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；所述平整滚轮通过第二安装轴活动安装于所述手柄的第二端，所述平整滚轮为圆柱形。2.根据权利要求1所述的泛半导体设备用密封条安装治具，其特征在于，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径相同。3.根据权利要求2所述的泛半导体设备用密封条安装治具，其特征在于，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径均为35mm。4.根据权利要求1所述的泛半导体设备用密封条安装治具，其特征在于，所述第一安装轴和所述第二安装轴由不锈钢材...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚家庄，伍云浪，刘臻毅，
申请(专利权)人：上海森桓新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：