【技术实现步骤摘要】
一种光纤盘线装置
[0001]本专利技术涉及光纤收纳走线
，具体而言，涉及一种光纤盘线装置。
技术介绍
[0002]在光栅测量系统中，光纤部件贯穿整个工作台的粗动框架与微动框架。粗动框架内涉及的光纤种类、功能、长度各不相同，并且在光刻机工件台工作时，运动引起的扰动对光纤传输影响极大。再者，根据读数头相对于微动框架的布局，由于光栅测量系统中四个读数头的安装位置不同，导致尾纤进入粗动框架的长短也不同。如果长短不一的光纤进入到粗动框架内，不但不利于光纤线缆的布局，也将带来不同形式、无规律可循的扰动，这些均会对测量精度产生极大的影响。因此，需要对光纤进行有效管理。
[0003]目前，市场上使用最广泛的光纤管理方案通常包括两个圆形盘线槽，通过将光纤依次缠绕进盘线槽，达到光纤管理的目的。然而，这种光纤管理方案，一般适用于长度较短、对管理盘摆放空间没有特殊要求且在相对静止的状态下使用的光纤，而且，即便如此，由于所涉及光纤的长度一般情况下会大于光纤管理装置内腔的长度，将其全部集成至圆形盘线槽内，且内部走线情况必然杂乱无章，且没有明确的光纤入口与出口，不利于后期工作人员维护。
[0004]虽然，目前市面上也有一些性能升级的光纤盘线装置，但是，这些光纤管理盘在使用时，仍然无法做到在有限的空间内对四组读数头尾纤进行分类和管理，不利于后续集成。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种光纤盘线装置，以解决现有光纤盘线装置无法对四组读数头尾纤进行分类和管理，不利于后续集成的技术问题。>[0006]本专利技术提供的光纤盘线装置，包括光纤整理盘，所述光纤整理盘具有沿走线方向依次设置的入口区域、盘线区域和出口区域，其中，所述入口区域设置有多个入口，所述盘线区域设置有多个盘线槽，所述出口区域设置有多个出口，所述入口的数量、所述盘线槽的数量和所述出口的数量相同，多个所述盘线槽的进线端分别与多个所述入口一一对应地连通，多个所述盘线槽的出线端分别与多个所述出口一一对应地连通，多个所述盘线槽互不连通；多个所述入口分别用于使多组读数头的光纤进入，多个所述盘线槽用于使多组所述光纤在相应的所述出口具有相同的出线长度，所述光纤为读数头的尾纤。
[0007]进一步地，所述多个入口包括第一入口、第二入口、第三入口和第四入口，所述多个盘线槽包括第一盘线槽、第二盘线槽、第三盘线槽和第四盘线槽，所述多个出口包括第一出口、第二出口、第三出口和第四出口，其中，所述第一入口、所述第一盘线槽和所述第一出口沿走线方向依次连通；所述第二入口、所述第二盘线槽和所述第二出口沿走线方向依次连通；所述第三入口、所述第三盘线槽和所述第三出口沿走线方向依次连通；所述第四入口、所述第四盘线槽和所述第四出口沿走线方向依次连通。
[0008]进一步地，所述盘线槽包括波浪形段、C形段、O形段、∞形段和直线段中的至少一
种或多种的组合。
[0009]进一步地，所述第一盘线槽包括第一C形线槽段和第一O形线槽段，所述第一C形线槽段的入口与所述第一入口连通，所述第一C形线槽段的出口与所述第一O形线槽段的入口连通，所述第一O形线槽段的出口与所述第一出口连通；和/或，所述第二盘线槽包括第二O形线槽段，所述第二O形线槽段的入口与所述第二入口连通，所述第二O形线槽段的出口与所述第二出口连通；和/或，所述第三盘线槽包括第二C形线槽段，所述第二C形线槽段的入口与所述第三入口连通，所述第二C形线槽段的出口与所述第三出口连通；和/或，所述第四盘线槽包括第一波浪形线槽段和第一∞形线槽段，所述第一波浪形线槽段的入口与所述第四入口连通，所述第一波浪形线槽段的出口与所述第一∞形线槽段的入口连通，所述第一∞形线槽段的出口与所述第四出口连通。
[0010]进一步地，所述第一C形线槽段环绕所述第二O形线槽段设置，和/或，所述第二C形线槽段环绕所述第一O形线槽段设置，和/或，所述第一波浪形线槽段和所述第一∞形线槽段均靠近所述光纤整理盘的轮廓设置。
[0011]进一步地，所述盘线槽具有宽槽段和窄槽段，所述窄槽段的槽宽不小于光纤的直径，所述宽槽段的槽宽大于所述窄槽段的槽宽。
[0012]进一步地，所述光纤整理盘在所述入口区域的高度低于其在所述出口区域的高度。
[0013]进一步地，所述光纤盘线装置还包括光纤固定结构，所述光纤固定结构安装于所述光纤整理盘，所述光纤固定结构用于将所述光纤限位于所述光纤整理盘。
[0014]进一步地，所述光纤固定结构包括多个光纤入口夹、多个光纤固定块和多个光纤出口夹，其中，多个所述光纤入口夹设置于所述入口区域，多个所述光纤固定块设置于所述盘线区域，多个所述光纤出口夹设置于所述出口区域。
[0015]进一步地，所述光纤整理盘的材质为光敏树脂。
[0016]本专利技术光纤盘线装置带来的有益效果是：
[0017]通过在光纤整理盘设置沿走线方向依次排布的入口区域、盘线区域和出口区域，其中，入口区域设置有多个入口，盘线区域设置有与入口数量相同的多个盘线槽，出口区域设置有与盘线槽数量相同的多个出口，使得每个入口对应一个盘线槽，每个盘线槽对应一个出口。
[0018]以入口的数量、盘线槽的数量和出口的数量为四个时，对该光纤盘线装置进行说明。当需要对四组读数头尾纤进行分类和管理时，可以分别使四组读数头尾纤由四个入口进入，之后，在四个盘线槽分别经过盘线操作后，由四个出口引出，此时，四组读数头的尾纤在四个出口处具有相同的出线长度。
[0019]该光纤盘线装置能够实现对四组读数头尾纤的分类和管理，使得四组读数头的尾纤分别由不同的入口进入，再经过不同的盘线槽的盘线后由不同的出口引出，为四组读数头尾纤由光刻机工件台进入粗动框架提供了有效的路径，并使得四组读数头的尾纤在各自的出口处具有相同的出线长度。该光纤盘线装置具有明确的光纤入口和出口，同时各组光纤盘线相互独立，利于后期工作人员维护；出口处具有相同的出线长度，利于后续集成。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0021]图1为本专利技术实施例一提供的光纤盘线装置相对于工件台和粗动框架的安装示意图；
[0022]图2为本专利技术实施例一提供的光纤盘线装置对读数头光纤进行盘线的示意图；
[0023]图3为本专利技术实施例一提供的光纤盘线装置在光纤整理盘入口区域的局部结构示意图；
[0024]图4为本专利技术实施例一提供的光纤盘线装置的结构示意图；
[0025]图5为本专利技术实施例一提供的光纤盘线装置的光纤出口夹对光纤进行固定时的结构示意图；
[0026]图6为本专利技术实施例二提供的光纤盘线装置的结构示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]11
‑
第二读数头本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光纤盘线装置，其特征在于，包括光纤整理盘(14)，所述光纤整理盘(14)具有沿走线方向依次设置的入口区域、盘线区域和出口区域，其中，所述入口区域设置有多个入口，所述盘线区域设置有多个盘线槽，所述出口区域设置有多个出口，所述入口的数量、所述盘线槽的数量和所述出口的数量相同，多个所述盘线槽的进线端分别与多个所述入口一一对应地连通，多个所述盘线槽的出线端分别与多个所述出口一一对应地连通，多个所述盘线槽互不连通；多个所述入口分别用于使多组读数头的光纤进入，多个所述盘线槽用于使多组所述光纤在相应的所述出口具有相同的出线长度，所述光纤为读数头的尾纤(13)。2.根据权利要求1所述的光纤盘线装置，其特征在于，所述多个入口包括第一入口(31)、第二入口(32)、第三入口(33)和第四入口(34)，所述多个盘线槽包括第一盘线槽、第二盘线槽、第三盘线槽和第四盘线槽，所述多个出口包括第一出口(41)、第二出口(42)、第三出口(43)和第四出口(44)，其中，所述第一入口(31)、所述第一盘线槽和所述第一出口(41)沿走线方向依次连通；所述第二入口(32)、所述第二盘线槽和所述第二出口(42)沿走线方向依次连通；所述第三入口(33)、所述第三盘线槽和所述第三出口(43)沿走线方向依次连通；所述第四入口(34)、所述第四盘线槽和所述第四出口(44)沿走线方向依次连通。3.根据权利要求2所述的光纤盘线装置，其特征在于，所述盘线槽包括波浪形段、C形段、O形段、∞形段和直线段中的至少一种或多种的组合。4.根据权利要求3所述的光纤盘线装置，其特征在于，所述第一盘线槽包括第一C形线槽段(204)和第一O形线槽段(207)，所述第一C形线槽段(204)的入口与所述第一入口(31)连通，所述第一C形线槽段(204)的出口与所述第一O形线槽段(207)的入口连通，所述第一O形线槽段(207)的出口与所述第一出口(41)连通；和/或，所述第二盘线槽包括第二O形线槽段(205)，所述第二O形线槽段(205)的入口与所述第二入口(32)连通，所述第二O形线槽段(205)的出口与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙展，高立冬，常密生，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。