本发明专利技术实施例公开了一种晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装置，涉及图像处理技术领域，所述方法包括：获取针对晶圆包装的图像信息；对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；基于判断结果生成对应的检测结果。通过采用图像识别的方式自动对晶圆包装的碎片风险进行识别，从而快速、准确地确定晶圆的碎片风险，提高了对晶圆的检测效率、检测精确性。测精确性。测精确性。
【技术实现步骤摘要】
晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装置
[0001]本专利技术涉及图像识别
，具体地涉及一种晶圆包装的自动检测方法、一种晶圆包装的自动检测装置以及一种计算机可读存储介质。
技术介绍
[0002]随着科技的不断发展，智能化设备的不断普及，人们对芯片的需求量越来越大，因此芯片的生产量也越来越大。
[0003]在芯片的生产过程中，首先需要由上游企业生产出晶圆，然后运输至后续的生产制造厂进行后续加工以生产出所需要的芯片，因此晶圆的安全、可靠运输至关重要。
[0004]在实际应用过程中，技术人员发现在晶圆被生产出来后运输至客户端的过程中，会存在碎片的问题，而碎片问题主要由几个方面造成：1、在晶圆生产并经过颗粒检测之后，包装过程中被放偏或错位时，会导致碎片；2、晶圆自身的应力导致在运输过程中也会出现碎片问题。
[0005]为了解决上述技术问题，现有技术中往往采用人工检查的方式对晶圆在放置过程中的放置情况进行检查，以对放置错误或存在碎片风险的晶圆继续处理，然而人工检查存在判断错误、漏检以及标准不一致的问题，同时检查过程没有照片可追溯，因此无法满足企业的实际需求。
技术实现思路
[0006]为了克服现有技术中存在的上述技术问题，本专利技术实施例提供一种晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装置，通过采用图像识别的方式自动对晶圆包装的碎片风险进行识别，从而快速、准确地确定晶圆的碎片风险，提高了对晶圆的检测效率、检测精确性。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术实施例提供一种晶圆包装的自动检测方法，所述方法包括：获取针对晶圆包装的图像信息；对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；基于判断结果生成对应的检测结果。
[0008]优选地，所述获取针对晶圆包装的图像信息，包括：获取所述晶圆包装在第一亮度下的第一图像；获取所述晶圆包装在第二亮度下的第二图像；将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包装的图像信息。
[0009]优选地，所述对所述图像信息进行处理，获得处理后图像，包括：对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理，获得去噪后第一图像和去噪后第二图像；对所述去噪后第一图像和所述去噪后第二图像执行灰度处理，获得第一灰度图像和第二灰度图像；对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合操作，生成第一融合后图像；获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像；分别对所述第一通道图像和实时第二通道图像进行增强处理，获得增强后第一图像和增强后第二图像；对所述增强后第一图像和所述增强后第二图
像执行第二融合操作，生成第二融合后图像；基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图像。
[0010]优选地，所述对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果，包括：对所述处理后图像进行裂纹识别，获得裂纹识别信息；基于所述裂纹识别信息判断所述处理后图像中的晶圆是否存在裂纹；若所述晶圆存在裂纹，生成晶圆破裂的状态识别结果；若所述晶圆不存在裂纹，对所述处理后图像进行晶圆间距识别，获得间距识别信息；基于所述间距识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况；若所述晶圆存在偏放状况，生成晶圆偏放的状态识别结果；若所述晶圆不存在偏放状况，生成晶圆摆放正常的状态识别结果。
[0011]优选地，所述方法还包括：在确定存在碎片风险之后，获取存在碎片风险的风险晶圆；从所述处理后图像中提取所述风险晶圆预设范围的区域图像；对所述区域图像进行异常分析，生成对应的异常风险因子；建立所述异常风险因子和所述区域图像之间的关联关系，存储并反馈所述区域图像和所述异常风险因子。
[0012]相应的，本专利技术还提供一种晶圆包装的自动检测装置，所述装置包括：图像获取单元，用于获取针对晶圆包装的图像信息；处理单元，用于对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；识别单元，用于对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；判断单元，用于基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；结果生成单元，用于基于判断结果生成对应的检测结果。
[0013]优选地，所述图像获取单元包括：第一图像获取模块，用于获取所述晶圆包装在第一亮度下的第一图像；第二图像获取模块，用于获取所述晶圆包装在第二亮度下的第二图像；图像确定模块，用于将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包装的图像信息。
[0014]优选地，所述处理单元包括：第一处理模块，用于对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理，获得去噪后第一图像和去噪后第二图像；对所述去噪后第一图像和所述去噪后第二图像执行灰度处理，获得第一灰度图像和第二灰度图像；对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合操作，生成第一融合后图像；第二处理模块，用于获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像；分别对所述第一通道图像和实时第二通道图像进行增强处理，获得增强后第一图像和增强后第二图像；对所述增强后第一图像和所述增强后第二图像执行第二融合操作，生成第二融合后图像；处理确认模块，用于基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图像。
[0015]优选地，所述识别单元具体用于：对所述处理后图像进行裂纹识别，获得裂纹识别信息；基于所述裂纹识别信息判断所述处理后图像中的晶圆是否存在裂纹；若所述晶圆存在裂纹，生成晶圆破裂的状态识别结果；若所述晶圆不存在裂纹，对所述处理后图像进行晶圆间距识别，获得间距识别信息；基于所述间距识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况；若所述晶圆存在偏放状况，生成晶圆偏放的状态识别结果；若所述晶圆不存在偏放状况，生成晶圆摆放正常的状态识别结果。
[0016]优选地，所述装置还包括定位单元，所述定位单元用于：在确定存在碎片风险之后，获取存在碎片风险的风险晶圆；从所述处理后图像中提取所述风险晶圆预设范围的区域图像；对所述区域图像进行异常分析，生成对应的异常风险因子；建立所述异常风险因子和所述区域图像之间的关联关系，存储并反馈所述区域图像和所述异常风险因子。
[0017]另一方面，本专利技术还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本专利技术提供的方法。
[0018]通过本专利技术提供的技术方案，本专利技术至少具有如下技术效果：
[0019]通过采用不同光照的方式获取晶圆包装的图像，并进行图像融合处理，以及通过对图像的灰度进行通道加权处理以及图像增强处理，使得处理后图像具有更高的清晰度、更突出的细节，提高了在对晶圆包装识别过程中的识别精确性；
[0020]另一方面，通过对晶圆包装在各种风险情况下的特征进行识别，快速、准确识别出晶圆是否存在碎片风险，提高了企业的产品合格率，满足了企业的实际需求。
[0021]本专利技术实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆包装的自动检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取针对晶圆包装的图像信息；对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；基于判断结果生成对应的检测结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取针对晶圆包装的图像信息，包括：获取所述晶圆包装在第一亮度下的第一图像；获取所述晶圆包装在第二亮度下的第二图像；将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包装的图像信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述图像信息进行处理，获得处理后图像，包括：对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理，获得去噪后第一图像和去噪后第二图像；对所述去噪后第一图像和所述去噪后第二图像执行灰度处理，获得第一灰度图像和第二灰度图像；对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合操作，生成第一融合后图像；获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像；分别对所述第一通道图像和实时第二通道图像进行增强处理，获得增强后第一图像和增强后第二图像；对所述增强后第一图像和所述增强后第二图像执行第二融合操作，生成第二融合后图像；基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图像。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果，包括：对所述处理后图像进行裂纹识别，获得裂纹识别信息；基于所述裂纹识别信息判断所述处理后图像中的晶圆是否存在裂纹；若所述晶圆存在裂纹，生成晶圆破裂的状态识别结果；若所述晶圆不存在裂纹，对所述处理后图像进行晶圆间距识别，获得间距识别信息；基于所述间距识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况；若所述晶圆存在偏放状况，生成晶圆偏放的状态识别结果；若所述晶圆不存在偏放状况，生成晶圆摆放正常的状态识别结果。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在确定存在碎片风险之后，获取存在碎片风险的风险晶圆；从所述处理后图像中提取所述风险晶圆预设范围的区域图像；对所述区域图像进行异常分析，生成对应的异常风险因子；建立所述异常风险因子和所述区域图像之间的关联关系，存储并反馈所述区域图像和所述异常风险因子。
6.一种晶圆包装的自动检测装置，其特征在于，所述装置包括：图像获取单元，用于获取针对晶圆包装的图像信息；处理单元，用于对所述图像信息进行处理，获...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴勇，蔡爱军，顾广安，
申请(专利权)人：上海晶盟硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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