一种箱式退火炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种箱式退火炉，包括退火炉本体和滑动结构，所述退火炉本体的顶部设置有散热结构，所述退火炉本体的底部四角固定连接有底座，所述退火炉本体的前侧设置有炉门。本实用新型专利技术，通过设置滑动结构，滑动结构包括连接板、滑槽和托盘盒，将退火炉本体内部划分成多个部分，布局更加整齐，产品摆放不会乱，拉动绝缘拉手，托盘盒通过两侧的凸块在滑槽内滑动，产品放置和拿取都比较方便，托盘盒的四侧面和底面均开设多个通孔，可以使得产品在托盘盒内均匀受热，目前现有的多数退火炉内部结构简单，产品摆放麻烦，不易取出，费时费力，产品不能均匀受热，影响质量，该装置的应用避免了上述问题且有效提高了设备的实用性。上述问题且有效提高了设备的实用性。上述问题且有效提高了设备的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种箱式退火炉


[0001]本技术涉及箱式退火炉
，尤其涉及一种箱式退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，金属材料制品在制成成品前大多会进行退火处理，其主要目的是：消除加工过程中产生的硬化和残余应力，提高材料塑性和加工性能；改变材料的组织结构，获得所需要的晶粒度和晶粒取向，冷轧带钢在不断冷轧的过程中，其内部分子结构排列的改变为使冷轧带钢变得越来越硬，因此在每经过一道冷轧工序后就需要进行一次回火处理。
[0003]目前现有的多数退火炉内部结构简单，产品摆放麻烦，不易取出，费时费力，产品不能均匀受热，影响质量，多数退火炉没有设置降温，都是等待缓慢冷却再拿出产品，降低了工作效率，因此我们提出一种箱式退火炉。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种箱式退火炉。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种箱式退火炉，包括退火炉本体和滑动结构，所述滑动结构设置于退火炉本体的内部，所述退火炉本体的顶部设置有散热结构，所述退火炉本体的底部四角固定连接有底座，所述退火炉本体的前侧设置有炉门，所述退火炉本体的顶部zh中心处开设有散热口。
[0006]优选的，所述滑动结构包括连接板，所述连接板固定连接于退火炉本体的内部中间，所述退火炉本体的左右两侧内壁和连接板的两侧面均固定连接有多个滑槽，多个所述滑槽呈线性分布，所述滑槽两两之间设置有托盘盒。
[0007]优选的，所述托盘盒的左右两侧外表面固定连接有凸块，所述托盘盒的前后左右侧面和底面均开设有若干个呈均匀分布的通孔。
[0008]优选的，所述凸块与滑槽相适配，所述凸块滑动连接于滑槽的内部，所述托盘盒的前侧外表面固定连接有绝缘拉手。
[0009]优选的，所述散热结构包括顶板，所述顶板的四角贯穿开设有第二螺纹孔，所述退火炉本体的顶部四角开设有第一螺纹孔，所述顶板与退火炉本体通过四个固定螺栓分别穿过第一螺纹孔和第二螺纹孔固定连接。
[0010]优选的，所述顶板靠近退火炉本体的一侧面开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有散热风扇。
[0011]优选的，所述散热风扇设置于散热口的正上方，所述散热风扇不与退火炉本体的
顶部表面接触。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0013]1、本技术中，通过设置滑动结构，滑动结构包括连接板、滑槽和托盘盒，将退火炉本体内部划分成多个部分，布局更加整齐，产品摆放不会乱，拉动绝缘拉手，托盘盒通过两侧的凸块在滑槽内滑动，产品放置和拿取都比较方便，托盘盒的四侧面和底面均开设多个通孔，可以使得产品在托盘盒内均匀受热，目前现有的多数退火炉内部结构简单，产品摆放麻烦，不易取出，费时费力，产品不能均匀受热，影响质量，该装置的应用避免了上述问题且有效提高了设备的实用性。
[0014]2、本技术中，通过设置散热结构，该结构通过固定螺栓将顶板固定在退火炉本体的顶部，安装拆卸较为方便，在顶板的内侧凹槽内设置了散热风扇，需要对退火炉本体内降温时，散热风扇将风通过散热口吹向退火炉本体内部，从而完成内部的降温，目前现有的多数退火炉没有设置降温，都是等待缓慢冷却再拿出产品，降低了工作效率，该装置的应用避免了上述问题且有效提高了设备的易用性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出一种箱式退火炉的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出一种箱式退火炉的内部展开立体结构示意图；
[0017]图3为本技术提出一种箱式退火炉的内部展开的部分立体结构示意图；
[0018]图4为本技术提出一种箱式退火炉的托盘盒的立体结构示意图；
[0019]图5为本技术提出一种箱式退火炉的散热结构的立体结构示意图。
[0020]图例说明：1、退火炉本体；2、底座；3、炉门；4、滑动结构；5、散热结构；6、散热口；41、连接板；42、滑槽；43、托盘盒；44、凸块；45、绝缘拉手；46、通孔；51、顶板；52、固定螺栓；53、第一螺纹孔；54、第二螺纹孔；55、凹槽；56、散热风扇。
具体实施方式
[0021]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0023]实施例1，如图1
‑
5所示，本技术提供了一种箱式退火炉，包括退火炉本体1和滑动结构4，滑动结构4设置于退火炉本体1的内部，退火炉本体1的顶部设置有散热结构5。
[0024]下面具体说一下其滑动结构4和散热结构5的具体设置和作用。
[0025]如图1和图2、图3、图4所示，滑动结构4包括连接板41，连接板41固定连接于退火炉本体1的内部中间，退火炉本体1的左右两侧内壁和连接板41的两侧面均固定连接有多个滑槽42，多个滑槽42呈线性分布，滑槽42两两之间设置有托盘盒43，托盘盒43的左右两侧外表面固定连接有凸块44，托盘盒43的前后左右侧面和底面均开设有若干个呈均匀分布的通孔46，凸块44与滑槽42相适配，凸块44滑动连接于滑槽42的内部，托盘盒43的前侧外表面固定
连接有绝缘拉手45。
[0026]其整个滑动结构4达到的效果为，通过设置滑动结构4，滑动结构4包括连接板41、滑槽42和托盘盒43，将退火炉本体1内部划分成多个部分，布局更加整齐，产品摆放不会乱，拉动绝缘拉手45，托盘盒43通过两侧的凸块44在滑槽42内滑动，产品放置和拿取都比较方便，托盘盒43的四侧面和底面均开设多个通孔46，可以使得产品在托盘盒43内均匀受热，目前现有的多数退火炉内部结构简单，产品摆放麻烦，不易取出，费时费力，产品不能均匀受热，影响质量，该装置的应用避免了上述问题且有效提高了设备的实用性。
[0027]如图1和图2、图5所示，散热结构5包括顶板51，顶板51的四角贯穿开设有第二螺纹孔54，退火炉本体1的顶部四角开设有第一螺纹孔53，顶板51与退火炉本体1通过四个固定螺栓52分别穿过第一螺纹孔53和第二螺纹孔54固定连接，顶板51靠近退火炉本体1的一侧面开设有凹槽55，凹槽55的内部设置有散热风扇56，散热风扇56设置于散热口6的正上方，散热风扇56不与退火炉本体1的顶部表面接触。
[0028]其整个的散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种箱式退火炉，包括退火炉本体（1）和滑动结构（4），其特征在于：所述滑动结构（4）设置于退火炉本体（1）的内部，所述退火炉本体（1）的顶部设置有散热结构（5），所述退火炉本体（1）的底部四角固定连接有底座（2），所述退火炉本体（1）的前侧设置有炉门（3），所述退火炉本体（1）的顶部zh中心处开设有散热口（6）。2.根据权利要求1所述的一种箱式退火炉，其特征在于：所述滑动结构（4）包括连接板（41），所述连接板（41）固定连接于退火炉本体（1）的内部中间，所述退火炉本体（1）的左右两侧内壁和连接板（41）的两侧面均固定连接有多个滑槽（42），多个所述滑槽（42）呈线性分布，所述滑槽（42）两两之间设置有托盘盒（43）。3.根据权利要求2所述的一种箱式退火炉，其特征在于：所述托盘盒（43）的左右两侧外表面固定连接有凸块（44），所述托盘盒（43）的前后左右侧面和底面均开设有若干个呈均匀分布的通孔（46）。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：董福根，
申请(专利权)人：南京卓磊炉业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：