氢传感器、氢检测方法以及氢检测装置制造方法及图纸

氢传感器(1)具备：面状的第一电极(103)；面状的第二电极(106)，与第一电极对置地形成，具有露出部分(106e)；金属氧化物层(104)，被第一电极(103)以及第二电极(106)的两个面夹着，根据氢而电阻变化；以及两个第一端子(111)以及第二端子(112)，与第二电极(106)连接。与第二电极(106)连接。与第二电极(106)连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氢传感器、氢检测方法以及氢检测装置


[0001]本公开涉及氢传感器、氢检测方法以及氢检测装置。

技术介绍

[0002]专利文献1以及2公开了检测包含氢原子的气体分子的气体传感器。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2017/037984号
[0006]专利文献2：日本特开2017－22938号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]然而，根据现有技术，存在特别是对于低浓度的氢的检测性能差这一问题。
[0009]因此，本公开提供使对于低浓度的氢的检测性能提高的氢传感器、氢检测方法以及氢检测装置。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本公开一形态的氢传感器，具备：面状的第一电极；面状的第二电极，与所述第一电极对置地形成，具有露出部分；金属氧化物层，被所述第一电极以及所述第二电极的对置的两个面夹着，根据氢而电阻变化；两个端子，与所述第二电极连接；以及驱动电路，在通过向所述两个端子间施加电压而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种氢传感器，具备：面状的第一电极；面状的第二电极，与所述第一电极对置地形成，具有露出部分；金属氧化物层，被所述第一电极以及所述第二电极的对置的两个面夹着，根据氢而电阻变化；以及两个端子，与所述第二电极连接。2.根据权利要求1所述的氢传感器，在面状的所述第二电极的平面图中所述两个端子位于夹着所述露出部分的位置。3.根据权利要求2所述的氢传感器，所述两个端子被施加具有相互相反的极性的电压作为规定的电压。4.根据权利要求2或3所述的氢传感器，通过在所述露出部分的通电中，包含氢原子的气体分子与所述露出部分接触，从而所述第一电极以及所述第二电极之间的电阻变化。5.根据权利要求2至4中任一项所述的氢传感器，通过在所述露出部分的通电中，包含氢原子的气体分子与所述露出部分接触，从而所述两个端子间的电阻变化。6.根据权利要求1至5中任一项所述的氢传感器，在所述金属氧化物层的内部具备与所述第二电极相接并且与所述金属氧化物层相比缺氧度大的局部区域。7.根据权利要求1至5中任一项所述的氢传感器，在所述金属氧化物层的内部具备与所述第二电极相接并且与所述金属氧化物层相比电流容易流动的局部区域。8.根据权利要求1至7中任一项所述的氢传感器，具备：第一通孔，被连接于所述第一电极的两个面中的与所述金属氧化物层相反侧的面，在平面图中与所述露出部分具有重叠；以及连接端子，与所述第一通孔连接。9.根据权利要求8所述的氢传感器，所述两个端子经由与所述第二电极连接的两个第二通孔而与所述第二电极连接，所述第一通孔在所述平面图中位于两个所述第二通孔的中央部。10.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：本间运也，片山幸治，河合贤，
申请(专利权)人：新唐科技日本株式会社，
类型：发明
国别省市：