一种坐标测量仪制造技术

本发明专利技术涉及测量设备技术领域，且公开了一种坐标测量仪，所述保护立柱固定连接有伸缩缸，所述气浮轴上设有用于检测气浮轴和导向轨之间间隙的间隙检测件，并且当所述间隙检测件检测到间隙小于设定值时，触发伸缩缸将保护立柱顶出，当气浮轴和导向轨间隙为正常值时，伸缩缸处于缩回状态。在间隙发生变化时，间隙内的气压发生变化，触发伸缩缸伸出立在气浮轴和导向轨之间，增加导向轨和气浮轴之间的弹性刚度，降低气浮轴和导向轨之间的碰撞几率，同时，活塞杆放大压力同时，也放大了移动量，使驱动塞和活塞杆的运动相对容易监控，进而可以有效监控气浮轴的运动情况，即时发现测量数据的异常。常。常。

【技术实现步骤摘要】
一种坐标测量仪


[0001]本专利技术涉及测量设备
，具体为一种坐标测量仪。

技术介绍

[0002]坐标测量机（CMM）用于通过利用机械或光学探针感测测量物体的表面上的离散点来测量测量物体的几何特征，在生产中，常用于对模具或产品的检测。
[0003]为了保证精度，坐标测量机通常采用气浮轴来支承测量件运动，气浮轴在工作时，节流的高压空气在支承构件之间产生气膜，使支承构件之间产生间隙，使其没有机械接触，将磨损降低到最低，从而确保精度始终保持稳定。但是，在坐标测量机工作时，测量头的快速移动时的速度变化以及供给气压的压力波动会引起负载或承载力的变化，使间隙减小甚至消失，支撑构件的配合工作面发生接触，使配合工作面产生刮痕、槽纹、凹坑等形式的损伤，影响运动的精确性，使测量产生较大的误差。
[0004]通常情况下，运动部件与平台之间通常设有多个气浮轴，个别气浮轴由于喷气口堵塞使得支撑力降低，进而使运动部件发生倾斜，而由于间隙的尺寸较小，现有的坐标测量机不能有效检测，不能及时发现问题，测量结果存在较大的误差却不可知。<br/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坐标测量仪，包括测量探针（1）、具有水平工作面的工作台（2）、改变测量探针（1）和工作台（2）相对位置的运动件（3）以及用于测量测量探针（1）在参考系中的位置，并将测量结果输出的控制单元，所述运动件（3）包括气浮轴（4）和导向轨（5）；所述气浮轴（4）的底部设有喷气口（6），所述喷气口（6）连接有高压气源，其特征在于：所述气浮轴（4）上设有保护立柱（7），所述保护立柱（7）固定连接有伸缩缸（9），所述气浮轴（4）上设有用于检测气浮轴（4）和导向轨（5）之间间隙的间隙检测件（8），并且当所述间隙检测件（8）检测到间隙小于设定值时，触发伸缩缸（9）将保护立柱（7）顶出，当气浮轴（4）和导向轨（5）间隙为正常值时，伸缩缸（9）处于缩回状态。2.根据权利要求1所述的一种坐标测量仪，其特征在于：所述伸缩缸（9）由气体驱动，所述伸缩缸（9）连通有驱动腔（10），所述驱动腔（10）与高压气源连通，所述间隙检测件（8）设于驱动腔（10）与高压气源之间，所述间隙检测件（8）为两位三通阀，所述间隙检测件（8）在间隙小于设定值时，连通高压气源与驱动腔（10）。3.根据权利要求2所述的一种坐标测量仪，其特征在于：所述间隙检测件（8）包括连通高压气源与驱动腔（10）的壳体（81），所述壳体（81）中活动连接有截断壳体（81）两侧连通的阀芯（82），所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何志奇，许学创，
申请(专利权)人：湖北上启计量检测有限公司，
类型：发明
国别省市：