一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，设置有回收池和废水池，通过检测水洁净的电阻值，用PLC控制器控制三通电磁阀门，将符合水洁净标准的水流入到回收池。本装置是通过更改半导体湿法设备制程工艺的回收管路，将符合水质要求的废水排入回收池内，进行回收再利用，把不符合要求的废水排入废水池。本装置是采用PLC控制器设定时间和设定电子水阻值计的参数来控制三通电磁阀门的转向，从而确定水是进入排放废水池还是进入回收池，这样设计的目的，在于可以将半导体湿法设备制程工艺流程中大部分相对洁净的去离子水予以回收，在较低的处理成本下再循环利用水资源，可以达到减少废水排放处理的目标。少废水排放处理的目标。少废水排放处理的目标。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置
[0001]本专利技术涉及一种回收水装置，具体地说涉及一种设置有回收池和废水池，通过检测水洁净的电阻值，用PLC控制器控制三通电磁阀门，将符合水洁净标准的水流入到回收池的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置。
技术介绍
[0002]现有的半导体湿法设备制程工艺中的废水都是通过手动阀门和废水管道直接排到废水池中，如果在半导体湿法设备制程工艺中有比较洁净的水流出，也只能白白地流入废水池，这样就很浪费宝贵的水资源。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种设置有回收池和废水池，通过检测水洁净的电阻值，用PLC控制器控制三通电磁阀门，将符合水洁净标准的水流入到回收池的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，包括制程设备箱体15、回收池13和废水池14，制程设备箱体15内置有一号制程设备16、二号制程设备17、三号制程设备18、四号制程设备19，一号制程设备16、二号制程设备17、三号制程设备18、四号制程设备19底部分别置有手动阀门10，手动阀门10连接电子水阻值计8，电子水阻值计8连接三通电磁阀门2，三通电磁阀门2出口端连接废水管道11，废水管道11连接到废水池14，三通电磁阀门2出口另一端连接回收水管道12，回收水管道12连接到回收池13，制程设备箱体15左侧上部安装复位按钮7和启动按钮9，制程设备箱体15左侧中上部安装报警灯3和报警喇叭4，制程设备箱体15左侧中下部安装PLC控制器1，制程设备箱体15左侧下部安装电池5和电源开关6。
[0005]本专利技术的有益效果是，通过更改半导体湿法设备制程工艺的回收管路，将符合水质要求的废水排入回收池内，进行回收再利用。把不符合要求的废水排入废水池。本装置是采用PLC控制器设定时间和设定电子水阻值计的参数来控制三通电磁阀门的转向，从而确定是进入排放废水池还是进入回收池，这样设计的目的，在于可以将半导体湿法设备制程工艺流程中大部分相对洁净的去离子水予以回收，在较低的处理成本下再循环利用水资源，可以达到减少废水排放处理的目标。
附图说明
[0006]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0007]图1是本专利技术的实施例一的结构图。
[0008]图2是本专利技术的实施例一的电路图。
[0009]图中：1.PLC控制器，2.三通电磁阀门，3.报警灯，4.报警喇叭，5.电池，6.电源开关，7.复位按钮，8.电子水阻值计，9.启动按钮，10.手动阀门，11.废水管道，12.回收水管
道，13.回收池，14.废水池，15.制程设备箱体，16.一号制程设备，17.二号制程设备，18.三号制程设备，19.四号制程设备。
具体实施方式
[0010]在图1所示实施例中，设置有PLC控制器(1)，三通电磁阀门(2)，报警灯(3)，报警喇叭(4)，电池(5)，电源开关(6)，复位按钮(7)，电子水阻值计(8)，启动按钮(9)，手动阀门(10)，废水管道(11)，回收水管道(12)，回收池(13)，废水池(14)，制程设备箱体(15)，一号制程设备(16)，二号制程设备(17)，三号制程设备(18)，四号制程设备(19)。
[0011]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，包括制程设备箱体(15)、回收池(13)和废水池(14)，制程设备箱体(15)内置有一号制程设备(16)、二号制程设备(17)、三号制程设备(18)、四号制程设备(19)，一号制程设备(16)、二号制程设备(17)、三号制程设备(18)、四号制程设备(19)底部分别置有手动阀门(10)，手动阀门(10)连接电子水阻值计(8)，电子水阻值计(8)连接三通电磁阀门(2)，三通电磁阀门(2)出口端连接废水管道(11)，废水管道(11)连接到废水池(14)，三通电磁阀门(2)出口另一端连接回收水管道(12)，回收水管道(12)连接到回收池(13)，制程设备箱体(15)左侧上部安装复位按钮(7)和启动按钮(9)，制程设备箱体(15)左侧中上部安装报警灯(3)和报警喇叭(4)，制程设备箱体(15)左侧中下部安装PLC控制器(1)，制程设备箱体(15)左侧下部安装电池(5)和电源开关(6)。
[0012]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，PLC控制器(1)的第1脚电连接启动按钮(9)一端，PLC控制器(1)的第2脚电连接电子水阻值计(8)一端，PLC控制器(1)的第3脚电连接复位按钮(7)一端，PLC控制器(1)的第4脚电连接复位按钮(7)另一端，PLC控制器(1)的第5脚电连接电源开关(6)一端，电源开关(6)另一端电连接电池(5)负极端，PLC控制器(1)的第6脚电连接三通电磁阀门(2)一端，PLC控制器(1)的第7脚电连接报警灯(3)一端，PLC控制器(1)的第8脚电连接报警喇叭(4)一端，PLC控制器(1)的第10脚电连接电池(5)正极端、报警喇叭(4)另一端、报警灯(3)另一端、三通电磁阀门(2)另一端、电子水阻值计(8)另一端、启动按钮(9)另一端。
[0013]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，一号制程设备(16)，二号制程设备(17)，三号制程设备(18)，四号制程设备(19)最多可以扩展到不超过100个。
[0014]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，三通电磁阀门(2)选用转向电磁阀门，三通电磁阀门(2)通电状态为连接回收水管道(12)，三通电磁阀门(2)断电状态为连接废水管道(11)。
[0015]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，PLC控制器(1)可以设定时间与电子水阻值计的参数来确定三通电磁阀门(2)的通电，控制三通电磁阀门(2)的转向。
[0016]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，通过更改半导体湿法设备制程工艺的回收管路，将符合水质要求的废水排入回收池内，进行回收再利用。把不符合要求的废水排入废水池。本装置是采用PLC控制器设定时间和设定电子水阻值计的参数来控制三通电磁阀门的转向，从而确定是进入排放废水池还是进入回收池，这样设
计的目的，在于可以将半导体湿法设备制程工艺流程中大部分相对洁净的去离子水予以回收，在较低的处理成本下再循环利用水资源，可以达到减少废水排放处理的目标。
[0017]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，PLC控制器在满足时间条件后，若水质能通过要求，就排入回收系统中；若水质不能满足要求，就排入废水系统中，直到水质符合要求才排入回收水系统中。
[0018]实施本专利技术的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，具体减废的效益，要根据制程工艺的要求，在设备的程序编程上做相关设定，至少可以减少1/3的废水排放量。
[0019]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，包括制程设备箱体(15)、回收池(13)和废水池(14)，其特征在于，在所述制程设备箱体(15)内置有一号制程设备(16)、二号制程设备(17)、三号制程设备(18)、四号制程设备(19)，一号制程设备(16)、二号制程设备(17)、三号制程设备(18)、四号制程设备(19)底部分别置有手动阀门(10)，手动阀门(10)连接电子水阻值计(8)，电子水阻值计(8)连接三通电磁阀门(2)，三通电磁阀门(2)出口端连接废水管道(11)，废水管道(11)连接到废水池(14)，三通电磁阀门(2)出口另一端连接回收水管道(12)，回收水管道(12)连接到回收池(13)，制程设备箱体(15)左侧上部安装复位按钮(7)和启动按钮(9)，制程设备箱体(15)左侧中上部安装报警灯(3)和报警喇叭(4)，制程设备箱体(15)左侧中下部安装PLC控制器(1)，制程设备箱体(15)左侧下部安装电池(5)和电源开关(6)。2.根据权利要求1所述的一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，其特征在所述PLC控制器(1)的第1脚电连接启动按钮(9)一端，PLC控制器(1)的第2脚电连接电子水阻值计(8)一端，PLC控制器(1)的第3脚电连接复位按钮(7)一端，P...
【专利技术属性】
技术研发人员：林正辉，
申请(专利权)人：力集泓光电科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：
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