透射反射快速切换的光学测量装置制造方法及图纸

本申请提供一种透射反射快速切换的光学测量装置，装置包括：光源，生成平行光束；第一离轴抛物面镜，接收平行光束，并聚焦于待测样品；样品位置调节组件，可以调节待测样品在光路中的设置状态，使得光束经过待测样品时，透射经过或被待测样品反射；第二离轴抛物面镜，接收透射经过待测样品的光束并反射；反射镜组件，第一离轴抛物面镜接收被待测样品反射回的光束并反射生成的平行光束，反射至反射镜组件；第三离轴抛物面镜，第三离轴抛物面镜将接收到的光束聚焦于探测器。本申请利用共享的离轴抛物面镜，只通过转动材料样品，即可方便地实现透射和反射光学测量的快速切换。装置的工作波长可大范围覆盖紫外

【技术实现步骤摘要】
透射反射快速切换的光学测量装置


[0001]本申请涉及光学测量设备领域，尤其涉及到一种透射反射快速切换的光学测量装置。

技术介绍

[0002]材料的光学透射和反射探测，是研究材料的物理、化学性质的重要手段。例如利用透射方法，可研究单层或少层二维材料、薄膜的光电特性，以及分析液体分子光谱研究化学特性。而利用反射方法，可研究超导、半导体等材料的能隙、声子结构、发光等性质。
[0003]单一的光学透射或反射装置，难以满足多种材料广泛的光学测量需要。而如果透射和反射光路各自采用独立的装置，在从透射切换到反射模式时，需要加入新的透镜或面镜组，这种做法不仅增加了成本，也占用样品周围宝贵的空间，影响短焦距小光斑的测量，也使得透射和反射模式之间的切换操作较为繁琐。如果利用透镜聚焦的方法，则受限于透镜的材质和镀膜等因素影响，其工作波段较窄，一般只能在紫外线、可见光、红外线的某一小段范围工作，且会或多或少地产生一定的色差。
[0004]而当需要在短时间内，同时满足对多种材料不同的光学透射和反射测量需求时，则需要测量装置能够实现短时间内的快速切换。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透射反射快速切换的光学测量装置，其特征在于，包括：光源，生成平行光束；第一离轴抛物面镜，接收所述光源生成的平行光束，并聚焦于待测样品；样品位置调节组件，与所述待测样品耦接，用于调节所述待测样品在光路中的设置状态，使得聚焦于所述待测样品的光束经过所述待测样品时，透射经过所述待测样品或被所述待测样品反射回所述第一离轴抛物面镜；第二离轴抛物面镜，接收透射经过所述待测样品的光束并反射生成平行光束；反射镜组件，所述第一离轴抛物面镜接收被所述待测样品反射回的光束并反射生成的平行光束，所述第一离轴抛物面镜反射生成的平行光束被反射至所述反射镜组件；第三离轴抛物面镜，接收所述第二离轴抛物面镜反射生成的平行光束，或接收被所述反射镜组件反射的光束，所述第三离轴抛物面镜将接收到的光束聚焦于探测器。2.根据权利要求1所述的透射反射快速切换的光学测量装置，其特征在于，所述样品位置调节组件包括：旋转台，所述旋转台与所述待测样品耦接，所述旋转台的旋转能够带动所述待测样品转动。3.根据权利要求1所述的透射反射快速切换的光学测量装置，其特征在于，所述第一离轴抛物面镜的直径大于所述第一离轴抛物面镜接收到的光束的直径的两倍。4.根据权利要求1所述的透射反射快速切换的光学测量装置，其特征在于，所述第二离轴抛物面镜的直径大于所述第二离轴抛物面镜接收到...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海云，谷鹏，熊启华，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：