曲面光学微结构磁流变抛光装置及其应用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种曲面光学微结构磁流变抛光装置及其应用方法，本发明专利技术装置包括支撑机构和设于支撑机构上方的磁流变抛光组件，支撑机构包括旋转台和设于旋转台上的工作台，工作台上设有用于固定曲面光学微结构工件的夹具，磁流变抛光组件包括运动调节机构、抛光轮以及磁流变抛光液循环系统，抛光轮安装在运动调节机构上，磁流变抛光液循环系统的磁流变抛光液喷射出口布置于抛光轮上侧以用于将磁流变抛光液喷射到抛光轮的圆周上，抛光轮为磁性以用于吸附磁流变抛光液中的磁性磨粒。本发明专利技术采用抛光轮以偏转角度以适应不同曲面基底的光学微结构抛光，具有抛光加工速度快、加工效率高的优点。的优点。的优点。

【技术实现步骤摘要】
曲面光学微结构磁流变抛光装置及其应用方法


[0001]本专利技术涉及光学元件的微结构抛光技术，具体涉及一种曲面光学微结构磁流变抛光装置及其应用方法。

技术介绍

[0002]微结构化功能表面以其优异的性能，在先进科学和工业领域得到广泛应用，但是其性能因制造方法表面质量受到限制。金刚石车削工艺的高加工精度已被证明适用于加工不连续的微结构和自由曲面等高级功能光学表面。但是直接车削获得的曲面光学微结构工件表面仍然存在刀痕和毛刺，削弱其光学性能，故还需对车削获得的曲面光学微结构工件进行光整加工。
[0003]现有技术中常采用超声波磁流变复合抛光的方法对硬脆材料的表面进行研磨加工，如公布号为CN205342683U、CN1613605A等中国专利文献，记载了在超声波发生装置的下部设置磁性研磨头，超声研磨装置产生高频振动，使得磨粒在超声振动和压力下不停冲击工件表面，同时利用超声振动产生空化现象强化抛光研磨的作用。公布号为CN 111215970 A的中国专利文献提出了一种双超声辅助磁力抛光微结构模具的装置和方法适用于硬质合金微结构模具的抛光，通过机床本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曲面光学微结构磁流变抛光装置，其特征在于，包括支撑机构(1)和设于支撑机构(1)上方的磁流变抛光组件(2)，所述支撑机构(1)包括旋转台(11)和设于旋转台(11)上的工作台(12)，所述工作台(12)上设有用于固定曲面光学微结构工件的夹具，所述磁流变抛光组件(2)包括运动调节机构(21)、抛光轮(22)以及磁流变抛光液循环系统(23)，所述抛光轮(22)安装在运动调节机构(21)上，所述磁流变抛光液循环系统(23)的磁流变抛光液喷射出口布置于抛光轮(22)上侧以用于将磁流变抛光液喷射到抛光轮(22)的圆周上，所述抛光轮(22)为磁性以用于吸附磁流变抛光液中的磁性磨粒。2.根据权利要求1所述的曲面光学微结构磁流变抛光装置，其特征在于，所述支撑机构(1)安装在X轴运动组件上，所述运动调节机构(21)包括依次相连的Y轴平移运动组件(211)、Z轴平移运动组件(212)以及A轴转动运动组件(213)，所述抛光轮(22)安装在A轴转动运动组件(213)的端面上，且所述抛光轮(22)带有驱动机构以用于驱动抛光轮(22)绕抛光轮(22)的轴心B自转。3.根据权利要求1所述的曲面光学微结构磁流变抛光装置，其特征在于，所述抛光轮(22)采用钕铁硼材料制成。4.根据权利要求1所述的曲面光学微结构磁流变抛光装置，其特征在于，所述旋转台(11)和工作台(12)之间通过一微振动装置(13)相连，所述微振动装置(13)用于在抛光轮(22)进行抛光作业时对曲面光学微结构工件施加振动，使得抛光轮(22)表面上吸附的磁性磨粒持续冲击曲面光学微结构工件的微结构表面以提高磁流变抛光磨料的相对速度、增大磁流变抛光磨料的抛光压力。5.根据权利要求4所述的曲面光学微结构磁流变抛光装置，其特征在于，所述微振动装置(13)的振动频率为20～50Hz、振幅为2～5mm。6.一种权利要求1～5中任意一项所述的曲面光学微结构磁流变抛光装置的应用方法，其特征在于，包括：S1、配置含有磁性磨粒的磁流变抛光液并装入磁流变抛光液循环系统(23)；S2、将曲面光学微结构工件安装到工...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭小强，胡皓，李煌，关朝亮，戴一帆，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：