带阻抗测量的电源及其控制方法技术

本申请是关于一种带阻抗测量的电源及其控制方法。该电源包括：系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块；功率电路模块和阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接；系统控制单元分别与功率电路模块以及阻抗测量模块电连接，系统控制单元用于根据接收的控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态。本申请提供的方案，能够实现载具阻抗的监测，确保载具在最佳的阻抗状态，提升沉积工艺的效率，提高工艺操作人员的安全性，确保沉积工艺的质量。确保沉积工艺的质量。

【技术实现步骤摘要】
带阻抗测量的电源及其控制方法


[0001]本申请涉及电源
，尤其涉及带阻抗测量的电源及其控制方法。

技术介绍

[0002]目前沉积工艺沉积的薄膜具有导电性，覆盖在石墨舟表面后导致相邻电极之间的绝缘变差，直接影响等离子放电情况，继而使得石墨舟的可使用次数减小，传统技术上虽然已经在绝缘结构上做了改进，但是石墨舟阻抗值随着使用次数而变小仍然是设备重点关注的问题之一，同时考虑到石墨舟规格不统一，且阻抗变化较快，因此有必要对石墨舟的阻抗值进行在线监测以配合工艺参数随石墨舟使用次数变化做适应性自动调整，也方便生产对石墨舟使用。
[0003]现有包含石墨舟在内的载具阻抗测量方法是在工艺结束后人工拆除电极接线端子，通过万用表手动测量电极两端的阻抗值，这种方式影响工艺效率，电源输出存在漏电压可能导致危险，高温也会危害操作人员安全。因此，需要对载具的阻抗值进行监测，确保沉积工艺的质量。

技术实现思路

[0004]为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种带阻抗测量的电源及其控制方法，该带阻抗测量的电源，能够实现载具阻抗的监测，确保载具在最佳的阻抗状态，提升沉积工艺的效率，提高工艺操作人员的安全性，确保沉积工艺的质量。
[0005]本申请第一方面提供一种带阻抗测量的电源，包括：
[0006]系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块；
[0007]功率电路模块和阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接；
[0008]系统控制单元分别与功率电路模块以及阻抗测量模块电连接，系统控制单元用于根据接收的控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态。
[0009]在一种实施方式中，带阻抗测量的电源还包括：第一双路双切开关和第二双路双切开关；
[0010]第一双路双切开关包含开关S1和开关S2；
[0011]第二双路双切开关包含开关S3和开关S4；
[0012]第一双路双切开关设置于功率电路模块和输入电极之间，用于控制功率电路模块与输入电极之间的通断；
[0013]第二双路双切开关设置于阻抗测量模块和输入电极之间，用于控制阻抗测量模块与输入电极之间的通断。
[0014]在一种实施方式中，开关S1和开关S4连接形成第一节点，第一节点与输入电极连接；
[0015]开关S2和开关S3连接形成第二节点，第二节点与输入电极连接。
[0016]在一种实施方式中，阻抗测量模块中设有恒压源以及阻抗档位调节装置，恒压源
用于在测量阻抗值时提供恒定电压，阻抗档位调节装置用于调节阻抗值的测量量程。
[0017]在一种实施方式中，阻抗测量模块中设有电压源进行分压测量，通过分到的电压以及分压电阻的阻值进行逆向计算得到电阻阻值；
[0018]或
[0019]阻抗测量模块中设有电流源；
[0020]或
[0021]阻抗测量模块中设有专用阻抗测量芯片或者专用测量仪表；
[0022]或
[0023]阻抗测量模块用于直接测量功率部分输出，通过计算电压和电流的比值确定阻抗值。
[0024]在一种实施方式中，系统控制单元中设有显示设备，显示设备用于显示阻抗测量模块测量得到的阻抗值。
[0025]在一种实施方式中，阻抗测量模块为设置于电源内部的模块，或者阻抗测量模块为外挂于电源外部的模块。
[0026]本申请第二方面提供一种带阻抗测量电源的控制方法，用于控制如第一方面中任一项的带阻抗测量的电源，包括：
[0027]接收控制指令，控制指令包括放电指令以及测量指令；
[0028]根据控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态。
[0029]在一种实施方式中，根据控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态，包括：
[0030]根据控制指令控制第一双路双切开关和/或第二双路双切开关的通断；第一双路双切开关设置于功率电路模块和输入电极之间，第二双路双切开关设置于阻抗测量模块和输入电极之间。
[0031]在一种实施方式中，根据控制指令控制第一双路双切开关和/或第二双路双切开关的通断，包括：
[0032]若未接收放电指令以及测量指令，则控制第一双路双切开关以及第二双路双切开关断开，避免非输出电压接至输出端，对输出端造成损害；
[0033]若接收放电指令，则控制第一双路双切开关接通，通过电压、电流以及功率参数确定阻抗值；
[0034]若接收测量指令，则控制第二双路双切开关接通；
[0035]若接收放电指令以及测量指令，则控制第一双路双切开关以及第二双路双切开关接通。
[0036]在一种实施方式中，根据控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态之后，还包括：
[0037]获取阻抗测量模块初次测量的初始阻抗值；
[0038]根据初始阻抗值调整阻抗档位调节装置的测量量程，得到目标量程；
[0039]基于目标量程测量得到目标阻抗值。
[0040]在一种实施方式中，基于目标量程测量得到目标阻抗值之后，还包括：
[0041]将目标阻抗值与阻抗阈值对比，若目标阻抗值小于阻抗阈值，则生成载具清洗提
醒信息；
[0042]根据目标阻抗值以及原始设定阻抗值确定阻抗衰减比例，根据阻抗衰减比例确定电源功率补偿比例以及工艺时间补偿比例。
[0043]本申请提供的技术方案可以包括以下有益效果：
[0044]本申请提供的带阻抗测量的电源包括系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块，其中，功率电路模块和阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接，系统控制单元分别与功率电路模块以及阻抗测量模块电连接，系统控制单元用于根据接收的控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态，从而电源既能够在对载具进行供电，也能够对载具的阻抗值进行监测，确保载具处于最佳阻抗状态，避免因硅片碎片、倒片以及导通阻抗过小等问题而影响沉积工艺的生产质量，提升生产效率以及生产质量，提升工艺操作人员的安全性。
[0045]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0046]通过结合附图对本申请示例性实施方式进行更详细的描述，本申请的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本申请示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
[0047]图1是本申请实施例示出的带阻抗测量的电源的电路结构示意图；
[0048]图2是本申请实施例示出的带阻抗测量的电源对载具进行监测的示意图；
[0049]图3是本申请实施例示出的带阻抗测量电源的控制方法的流程示意图；
[0050]图4是本申请实施例示出的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0051]下面将参照附图更详细地描述本申请的优选实施方式。虽然附图中显示了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带阻抗测量的电源，其特征在于，包括：系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块；所述功率电路模块和所述阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接；所述系统控制单元分别与所述功率电路模块以及所述阻抗测量模块电连接，所述系统控制单元用于根据接收的控制指令控制所述功率电路模块以及所述阻抗测量模块与所述输入电极之间的通断状态。2.根据权利要求1所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，还包括：第一双路双切开关和第二双路双切开关；所述第一双路双切开关包含开关S1和开关S2；所述第二双路双切开关包含开关S3和开关S4；所述第一双路双切开关设置于所述功率电路模块和所述输入电极之间，用于控制所述功率电路模块与所述输入电极之间的通断；所述第二双路双切开关设置于所述阻抗测量模块和所述输入电极之间，用于控制所述阻抗测量模块与所述输入电极之间的通断。3.根据权利要求2所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，所述开关S1和所述开关S4连接形成第一节点，所述第一节点与所述输入电极连接；所述开关S2和所述开关S3连接形成第二节点，所述第二节点与所述输入电极连接。4.根据权利要求1所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，所述阻抗测量模块中设有恒压源以及阻抗档位调节装置，所述恒压源用于在测量阻抗值时提供恒定电压，所述阻抗档位调节装置用于调节阻抗值的测量量程。5.根据权利要求1所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，所述阻抗测量模块中设有电压源进行分压测量，通过分到的电压以及分压电阻的阻值进行逆向计算得到电阻阻值；或所述阻抗测量模块中设有电流源；或所述阻抗测量模块中设有专用阻抗测量芯片或者专用测量仪表；或所述阻抗测量模块用于直接测量功率部分输出，通过计算电压和电流的比值确定阻抗值。6.根据权利要求1所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，所述系统控制单元中设有显示设备，所述显示设备用于显示所述阻抗测量模块测量得到的阻抗值。7.根据权利要求1所述的带阻抗测量的电源，其特征在于，所述阻抗测量模块为设置于电源内部的模块，或者所述阻抗测量模块为外挂于电源外部的模...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘力，张小彬，黄璞，李旺鹏，
申请(专利权)人：固赢科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：