正压负压可调的电源、其控制方法及包含其的镀膜设备技术

本申请是关于一种正负压可调的电源、其控制方法及包含其的镀膜设备。该电源包括：用于调整负压的第一调压电路、用于调整正压的第二调压电路与输出处理电路；输出处理电路中设有MOS管Q2以及MOS管Q3，用于选择切换第一调压电路或第二调压电路与第三调压电路串联作为输出；第二调压电路中设有滤波电感L2以及限流电感L3以及相关能量处理电路，第三调压电路中设有滤波电感L4以及限流电感L5以及相关能量处理电路。本申请提供的方案，具有输出电压范围宽、动态特性好、可抑制负载大电流冲击问题等优点，既满足实际负载相关需求，能提高镀膜效率与质量，还能保护负载，又能对电源本身提供更多的保护。更多的保护。

【技术实现步骤摘要】
正压负压可调的电源、其控制方法及包含其的镀膜设备


[0001]本申请涉及脉冲电源
，尤其涉及正压负压可调的电源、其控制方法及包含其的镀膜设备。

技术介绍

[0002]在脉冲镀膜过程中，当脉冲电源工作时，高电压还原离子，形成膜层，当电流关闭或提供一个低反向电压时，阴极区域附近的离子恢复到初始浓度，浓度极化消失，避免或减少拉弧现象，有助于下一次高压还原离子形成膜层。
[0003]现有技术中，公开号为CN110649809A的专利(一种大功率不对称双极性脉冲偏压电源、方法及其应用)中，该电源包括A电源、B电源、C电源，C电源分别与A电源、B电源的输出端连接；A电源电路、B电源电路的输入端分别与三相380V交流电源经过全桥整流滤波后的输出端连接，C电源为包括四只可控开关管QC1，QC2，QC3，QC4形成桥臂。
[0004]上述现有技术存在以下缺点：
[0005]输出未接电感进行电流抑制，容易在负载突变或短路的情况下，出现电流激增情况，容易造成MOS管损坏，甚至对镀膜对象产生损坏，因此，需要设计一种正负压可调的，能够防止负载突变或短路时造成镀膜对象或MOS管损坏的脉冲电源。

技术实现思路

[0006]为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种正压负压可调的电源，该正压负压可调的电源，能够避免负载电流激增而导致镀膜对象损坏或者MOS管损坏的情况，有利于在镀膜进程中阴极区域附近的离子恢复到初始浓度，浓度极化消失，避免或减少拉弧现象，有助于下一次高压还原离子形成膜层，提高镀膜效率与质量。
[0007]本申请第一方面提供一种正压负压可调的电源，包括：
[0008]用于调整负压的第一调压电路、用于调整正压的第二调压电路与输出处理电路；
[0009]第一调压电路以及第二调压电路分别与输出处理电路连接；输出处理电路中设有MOS管Q2以及MOS管Q3，MOS管Q2以及MOS管Q3用于切换输入电压状态，其中，MOS管Q3与第一调压电路的输出端连接，MOS管Q2与第二调压电路的输出端连接；
[0010]第二调压电路中设有滤波电感L2以及限流电感L3，滤波电感L2以及限流电感L3与输出处理电路连通，滤波电感L2以及限流电感L3用于对输出电流限制。
[0011]在一种实施方式中，正压负压可调的电源，还包括：用于拓宽正压范围的第三调压电路；MOS管Q2与第二调压电路以及第三调压电路串联后的输出端连接；第三调压电路中设有滤波电感L4以及限流电感L5，滤波电感L4以及限流电感L5与输出处理电路连通，滤波电感L4以及限流电感L5对输出处理电流限制；
[0012]第一调压电路包括第一输入电路、整流桥D1以及负压调整电路，第一输入电路、整流桥D1以及负压调整电路依次连接；
[0013]第二调压电路包括第二输入电路、整流桥D4以及第一正压调整电路，第二输入电
路、整流桥D4以及第一正压调整电路依次连接；
[0014]第三调压电路包括第三输入电路、整流桥D10以及第二正压调整电路，第三输入电路、整流桥D10以及第二正压调整电路依次连接。
[0015]在一种实施方式中，第一正压调整电路包括MOS管Q6、二极管D5、滤波电感L2、MOS管Q4、电容C5、二极管D6、限流电感L3以及MOS管Q5；
[0016]MOS管Q6和二极管D5串联，且MOS管Q6和二极管D5串联的支路与整流桥D4之间设有储能电容C3以及储能电容C4；储能电容C3、储能电容C4以及MOS管Q6和二极管D5串联的支路依次并联；
[0017]MOS管Q4、电容C5和二极管D6串联，MOS管Q4、电容C5和二极管D6串联的支路与二极管D5并联；
[0018]限流电感L3与二极管D6并联，MOS管Q4关断时，二极管D6与限流电感L3构成一个续流回路。
[0019]MOS管Q5与MOS管Q4、电容C5和二极管D6串联的支路并联；
[0020]滤波电感L2的一端与MOS管Q5连接，滤波电感L2的另一端与二极管D5连接。
[0021]在一种实施方式中，第二正压调整电路包括MOS管Q9、二极管D11、滤波电感L4、MOS管Q7、电容C9、二极管D15、限流电感L5以及MOS管Q8；
[0022]MOS管Q9和二极管D11串联，且MOS管Q9和二极管D11串联的支路与整流桥D10之间设有储能电容C7以及储能电容C8；储能电容C7、储能电容C8以及MOS管Q9和二极管D11串联的支路依次并联；
[0023]MOS管Q7、电容C9和二极管D15串联，MOS管Q7、电容C9和二极管D15串联的支路与二极管D11并联；
[0024]限流电感L5与二极管D15并联；
[0025]MOS管Q8与MOS管Q7、电容C9和二极管D15串联的支路并联；
[0026]滤波电感L4的一端与MOS管Q8连接，滤波电感L4的另一端与二极管D11连接；
[0027]MOS管Q8与MOS管Q5串联连接。
[0028]在一种实施方式中，第一正压调整电路和输出处理电路之间还设有第一吸收电路；
[0029]第一吸收电路包括二极管D7、二极管D12以及电容C6；
[0030]电容C6与MOS管Q5并联；
[0031]二极管D12与电容C6串联，且二极管D12的正极与MOS管Q6的源极连接；
[0032]二极管D7的负极与MOS管Q5的源极连接，二极管D7的正极分别与二极管D12的负极以及电容C6连接。
[0033]在一种实施方式中，第二正压调整电路和输出处理电路之间还设有第二吸收电路；
[0034]第二吸收电路包括二极管D13、二极管D16以及电容C10；
[0035]电容C10与MOS管Q8并联；
[0036]二极管D16与电容C10串联，且二极管D16的正极与MOS管Q9的源极连接；
[0037]二极管D13的负极与MOS管Q8的源极连接，二极管D7的正极分别与二极管D16的负极以及电容C10连接。
[0038]在一种实施方式中，负压调整电路包括MOS管Q1、二极管D2、电容C2以及电感L1；
[0039]负压调整电路和整流桥D1之间设有储能电容C1；
[0040]二极管D2与储能电容C1并联；
[0041]MOS管Q1的源极与储能电容C1连接，MOS管Q1的漏极与二极管D2的正极连接；
[0042]电容C2与二极管D2并联；
[0043]电感L1的一端与二极管D2的正极连接，电感L1的另一端与电容C2连接。
[0044]在一种实施方式中，输出处理电路还包括二极管D3、二极管D8以及二极管D17；
[0045]MOS管Q3的漏极与电容C2连接，MOS管Q3的源极与二极管D3的正极连接；
[0046]二极管D8的正极分别与电容C6以及二极管D12的负极连接；MOS管Q2的漏极与电容C6连接；
[0047]电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种正压负压可调的电源，其特征在于，包括：用于调整负压的第一调压电路、用于调整正压的第二调压电路与输出处理电路；所述第一调压电路以及所述第二调压电路分别与所述输出处理电路连接；所述输出处理电路中设有MOS管Q2以及MOS管Q3，所述MOS管Q2以及所述MOS管Q3用于切换输入电压状态，其中，所述MOS管Q3与所述第一调压电路的输出端连接，所述MOS管Q2与所述第二调压电路的输出端连接；所述第二调压电路中设有滤波电感L2以及限流电感L3，所述滤波电感L2以及所述限流电感L3与所述输出处理电路连通，所述滤波电感L2以及所述限流电感L3用于对输出电流限制。2.根据权利要求1所述的正压负压可调的电源，其特征在于，还包括：用于拓宽正压范围的第三调压电路；所述MOS管Q2与所述第二调压电路以及所述第三调压电路串联后的输出端连接；所述第三调压电路中设有滤波电感L4以及限流电感L5，所述滤波电感L4以及所述限流电感L5与所述输出处理电路连通，所述滤波电感L4以及所述限流电感L5对输出处理电流限制；所述第一调压电路包括第一输入电路、整流桥D1以及负压调整电路，所述第一输入电路、所述整流桥D1以及所述负压调整电路依次连接；所述第二调压电路包括第二输入电路、整流桥D4以及第一正压调整电路，所述第二输入电路、所述整流桥D4以及所述第一正压调整电路依次连接；所述第三调压电路包括第三输入电路、整流桥D10以及第二正压调整电路，所述第三输入电路、所述整流桥D10以及所述第二正压调整电路依次连接。3.根据权利要求1、2所述的正压负压可调的电源，其特征在于，所述第一正压调整电路包括MOS管Q6、二极管D5、所述滤波电感L2、MOS管Q4、电容C5、二极管D6、所述限流电感L3以及MOS管Q5；所述MOS管Q6和所述二极管D5串联，且所述MOS管Q6和所述二极管D5串联的支路与所述整流桥D4之间设有储能电容C3以及储能电容C4；所述储能电容C3、所述储能电容C4以及所述MOS管Q6和所述二极管D5串联的支路依次并联；所述MOS管Q4、所述电容C5和所述二极管D6串联，所述MOS管Q4、所述电容C5和所述二极管D6串联的支路与所述二极管D5并联；所述限流电感L3与所述二极管D6并联，所述MOS管Q4关断时，所述二极管D6与所述限流电感L3构成一个续流回路。所述MOS管Q5与所述MOS管Q4、所述电容C5和所述二极管D6串联的支路并联；所述滤波电感L2的一端与所述MOS管Q5连接，所述滤波电感L2的另一端与所述二极管D5连接。4.根据权利要求1、2、3所述的正压负压可调的电源，其特征在于，所述第二正压调整电路包括MOS管Q9、二极管D11、所述滤波电感L4、MOS管Q7、电容C9、二极管D15、所述限流电感L5以及MOS管Q8；所述MOS管Q9和所述二极管D11串联，且所述MOS管Q9和所述二极管D11串联的支路与所述整流桥D10之间设有储能电容C7以及储能电容C8；所述储能电容C7、所述储能电容C8以及所述MOS管Q9和所述二极管D11串联的支路依次并联；
所述MOS管Q7、所述电容C9和所述二极管D15串联，所述MOS管Q7、所述电容C9和所述二极管D15串联的支路与所述二极管D11并联；所述限流电感L5与所述二极管D15并联；所述MOS管Q8与所述MOS管Q7、所述电容C9和所述二极管D15串联的支路并联；所述滤波电感L4的一端与所述MOS管Q8连接，所述滤波电感L4的另一端与所述二极管D11连接；所述M...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘力，张小彬，
申请(专利权)人：固赢科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：