取放片设备及太阳电池加工装置制造方法及图纸

技术编号:35503564 阅读:24 留言:0更新日期:2022-11-09 14:14
本实用新型专利技术涉及一种取放片设备及太阳电池加工装置,包括:取放臂,配置为可移动设置,所述取放臂用于执行对硅片的取放作业,所述取放臂的内部形成有安装腔;以及发热件,所述发热件设置于所述安装腔内,所述发热件用于调节所述取放臂及其周围环境的湿度。加工时,取放臂首先承载硅片然后将硅片移动送入镀膜设备中,待镀膜加工结束后,再将硅片从镀膜设备中取出。由于取放臂内部的安装腔中设置有发热件,当设备长时间停止运转或者加工环境中的湿度偏高时,发热件可进行发热并产生高温,从而就能够降低取放臂及其周围环境的湿度,保证取放臂接触硅片时不会对硅片的绒面产生不良印记,保证产品良率。保证产品良率。保证产品良率。

【技术实现步骤摘要】
取放片设备及太阳电池加工装置


[0001]本技术涉及太阳电池加工
,特别是涉及一种取放片设备及太阳电池加工装置。

技术介绍

[0002]当前,随着工业4.0的持续推进,智能化机械装备的发展与完善将工业生产引向革命新时代,通过智能制造及智能控制系统,可以真正达到自动化工业生产及减轻劳动强度,提高生产效率。例如,在光伏行业中,光伏电池片的生产制备也已实现了自动化流水作业,在非晶硅工序加工过程中,硅片进出镀膜设备时需要依靠取放片机构来实现自动化移动,然而由于生产环境的湿度难以控制,湿度过大会对硅片的绒面产生影响,进而导致取放片机构接触硅片时在绒面上产生不良印记,极大地降低了产品良率。

技术实现思路

[0003]基于此,有必要提供一种取放片设备及太阳电池加工装置,旨在解决现有技术湿度偏大造成硅片绒面产生不良印记,降低产品良率的问题。
[0004]一方面,本申请提供一种取放片设备,其包括:
[0005]取放臂,配置为可移动设置,所述取放臂用于执行对硅片的取放作业,所述取放臂的内部形成有安装腔;以及r/>[0006]发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取放片设备,其特征在于,包括:取放臂,配置为可移动设置,所述取放臂用于执行对硅片的取放作业,所述取放臂的内部形成有安装腔;以及发热件,所述发热件设置于所述安装腔内,所述发热件用于调节所述取放臂及其周围环境的湿度。2.根据权利要求1所述的取放片设备,其特征在于,所述取放片设备还包括封板,所述取放臂还设有用于所述发热件进出所述安装腔的安装口,所述封板与所述安装口密封配合并与所述发热件抵接。3.根据权利要求1所述的取放片设备,其特征在于,所述取放片设备还包括固定座和进气接头,所述进气接头设置于所述固定座上,所述取放臂的内部还形成有气流通道,所述取放臂还开设有吸附孔,所述进气接头和所述吸附孔分别与所述气流通道连通。4.根据权利要求3所述的取放片设备,其特征在于,所述取放片设备还包括柔性垫,所述柔性垫设置于所述取放臂上并用于与所述硅片接触。5.根据权利要求4所述的取放片设备,其特征在于,所述柔性垫设有过气孔,所述过气孔与所述吸附孔连通。...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨姚李健张智富范斌
申请(专利权)人:中威新能源成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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