本实用新型专利技术提供一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，包括：支撑架；泵固定支座，固定于支撑架上，用于固定保养后的泵；马达，固定于支撑架上，用于驱动保养后的泵；第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；第一漏液检测装置，固定于第一盛液盘的内腔底面；第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；第二管路模块，用于和保养后的泵的下进液口和下出液口连接；PLC，固定于所述支撑架上，并分别和所述马达、第一漏液检测装置、第一管路模块、第二管路模块连接通讯。漏液检测装置可检测泵是否漏液，通过检测马达的负载变化进而得出泵的负载变化是否符合要求，可减少产品不良或报废，且避免耽误生产。免耽误生产。免耽误生产。
【技术实现步骤摘要】
一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置
[0001]本技术涉及涂布机的保养
，特别是一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置。
技术介绍
[0002]现有涂布机的注射泵为厂内自行保养，通常为人员手工保养及更换密封圈，保养受人为因素的影响，无法量化保养的效果，发生保养不当时会造成泵漏液或负载超出允许的范围。
[0003]而现有技术中，保养完成后，通常都是直接将泵安装回原位，对泵的保养质量是否符合要求，该要求通常为是否会漏液及负载是否合格，通常没有做检测，现有技术中也没有相应设备进行检测，这就造成泵只有在上机生产后，才能发现泵保养不合格，而此时既耽误生产，又造成生产浪费，不良率增加。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题，在于提供一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，可检测泵保养的质量是否符合要求，减少产品不良或报废，且避免耽误生产。
[0005]本技术是这样实现的：一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，包括：
[0006]支撑架；
[0007]泵固定支座，固定于所述支撑架上，用于固定保养后的泵；
[0008]马达，固定于所述支撑架上，用于驱动保养后的泵；
[0009]第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；
[0010]第一漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面；
[0011]第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；
[0012]第二管路模块，用于和保养后的泵的下进液口和下出液口连接；
[0013]PLC，固定于所述支撑架上，并分别和所述马达、第一漏液检测装置、第一管路模块、第二管路模块连接通讯。
[0014]进一步地，所述第一管路模块包括：
[0015]第一密封容器，设有第一泄压阀、第一接口、第二接口及第一加液口；所述第一加液口设有第一堵头；所述第一密封容器固定于所述支撑架上；
[0016]第一气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第一接口气密性连接，出口用于和所述上进液口气密性连接；
[0017]第一电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0018]第二气控阀，固定连接于所述支撑架，出口和所述第二接口气密性连接，进口用于和所述上出液口气密性连接；
[0019]第二电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0020]第三电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0021]第一压力表，连接于所述第一密封容器和第三电磁阀之间，并通信连接于所述PLC。
[0022]进一步地，所述第二管路模块包括：
[0023]第二密封容器，设有第二泄压阀、第三接口及第二加液口；所述第二加液口设有第二堵头；所述第二密封容器固定于所述支撑架上；
[0024]第三气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第三接口气密性连接，出口用于和所述下进液口气密性连接；
[0025]第四电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第三气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0026]第四气控阀，固定连接于所述支撑架，出口用于和排出容器连接，进口用于和所述下出液口气密性连接；
[0027]第五电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第四气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0028]第六电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0029]第二压力表，连接于所述第二密封容器和第六电磁阀之间，并通信连接于所述PLC。
[0030]进一步地，还包括：
[0031]第一调压阀，固定于所述支撑架上，出口分别和所述第三电磁阀与第六电磁阀气密性连接，且通信连接于所述PLC；
[0032]过滤调压阀，固定于所述支撑架上，出口分别气密性地连接于所述第一调压阀的进口、第一电磁阀、第二电磁阀、第四电磁阀及第五电磁阀，且通信连接于PLC；
[0033]手动阀，固定于所述支撑架上，一端和所述过滤调压阀的进口气密性连接，另一端用于连接气源。
[0034]进一步地，还包括备用电磁阀，固定于所述支撑架，并和所述过滤调压阀的出口气密性连接，且通信连接于所述PLC。
[0035]进一步地，还包括阀座，固定于所述支撑架，且和所述过滤调压阀的出口气密性连接；
[0036]其中，所述第一电磁阀、第二电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀及备用电磁阀并联连接于所述阀座。
[0037]进一步地，还包括：
[0038]第二盛液盘，固定于所述支撑架；其中，所述第一密封容器和第二密封容器分别固定于所述第二盛液盘内；
[0039]第二漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面，并通信连接于所述PLC。
[0040]进一步地，所述泵固定支座包括：
[0041]固定底板，固定于所述支撑架；所述马达固定于所述固定底板；
[0042]抱夹座，有两个，竖直间隔固定于所述固定底板；
[0043]丝杆，旋转地连接于所述固定底板，并呈竖直布置，且和所述马达的输出轴连接；
[0044]螺母，和所述丝杆螺纹连接；
[0045]接口卡盘，固定于所述固定底板，并位于所述抱夹座下方同轴布置；
[0046]滑轨，竖向固定于所述固定底板；
[0047]滑块，滑动连接于所述滑轨；
[0048]梅花螺栓，固定于所述滑块，并用于和保养后的泵的活塞杆连接。
[0049]进一步地，所述支撑架包括：
[0050]支撑脚架；
[0051]柜体，设有柜门，并固定于所述支撑脚架上；所述柜门上设有可视窗；
[0052]其中，所述泵固定支座和第一盛液盘固定于所述柜体内；所述PLC的控制面板固定于所述柜体的侧面。
[0053]进一步地，还包括：
[0054]报警装置，固定于所述支撑架上，并通信连接于所述PLC。
[0055]电源开关，固定连接于所述支撑架上，并电连接于所述PLC；
[0056]第一行程开关，固定于所述泵固定支座上，并和PLC通信连接，且用于检测泵的活塞杆伸出到位；
[0057]第二行程开关，固定于所述泵固定支座上，并和PLC通信连接，且用于检测泵的活塞杆缩回到位。
[0058]本技术具有如下优点：一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，包括：支撑架；泵固定支座，固定于所述支撑架上，用于固定保养后的泵；马达，固定于所述支撑架上，用于驱动保养后的泵；第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；第一漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面；第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；第二管路模块，用于和保本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，其特征在于：包括：支撑架；泵固定支座，固定于所述支撑架上，用于固定保养后的泵；马达，固定于所述支撑架上，用于驱动保养后的泵；第一盛液盘，固定于所述支撑架，并位于所述泵固定支座下方；第一漏液检测装置，固定于是第一盛液盘的内腔底面；第一管路模块，用于和保养后的泵的上进液口和上出液口连接；第二管路模块，用于和保养后的泵的下进液口和下出液口连接；PLC，固定于所述支撑架上，并分别和所述马达、第一漏液检测装置、第一管路模块、第二管路模块连接通讯。2.根据权利要求1所述的一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，其特征在于：所述第一管路模块包括：第一密封容器，设有第一泄压阀、第一接口、第二接口及第一加液口；所述第一加液口设有第一堵头；所述第一密封容器固定于所述支撑架上；第一气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第一接口气密性连接，出口用于和所述上进液口气密性连接；第一电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第二气控阀，固定连接于所述支撑架，出口和所述第二接口气密性连接，进口用于和所述上出液口气密性连接；第二电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第三电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第一密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；第一压力表，连接于所述第一密封容器和第三电磁阀之间，并通信连接于所述PLC。3.根据权利要求2所述的一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，其特征在于：所述第二管路模块包括：第二密封容器，设有第二泄压阀、第三接口及第二加液口；所述第二加液口设有第二堵头；所述第二密封容器固定于所述支撑架上；第三气控阀，固定连接于所述支撑架，进口和所述第三接口气密性连接，出口用于和所述下进液口气密性连接；第四电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第三气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第四气控阀，固定连接于所述支撑架，出口用于和排出容器连接，进口用于和所述下出液口气密性连接；第五电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第四气控阀的控制口气密性连接，且通信连接于所述PLC；第六电磁阀，固定于所述支撑架上，并和所述第二密封容器气密性连接，且通信连接于所述PLC；
第二压力表，连接于所述第二密封容器和第六电磁阀之间，并通信连接于所述PLC。4.根据权利要求3所述的一种涂布机光阻供应系统的泵保养质量的检测装置，其特征在于：还包括：第一调压阀，固定于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：林国波，林剑航，谢曙光，张廷育，汪家伟，林志维，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：
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