一种可移动的晶圆设备底座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可移动的晶圆设备底座，包括晶圆设备主体、支撑底座以及移动组件，移动组件通过支撑底座的左右两侧的液压杆末端与支撑底座上的垂向移动板连接，用于需要对晶圆设备主体移动至需要加工的位置时，通过液压缸的运行，液压杆伸展对垂向移动板支撑，使垂向移动板随着液压杆的推动下移，垂向移动板地面的万向滚轮与地面接触，通过万向滚轮与地面接触对支撑底座支撑脱离地面，从而实现对支撑底座上安装的晶圆设备主体进行移动，具有对晶圆设备主体根据使用需要移动方便的效果，以及液压杆通过液压缸驱动复位，垂向移动板随着液压杆的复位上移，使支撑底座的底端与地面接触，通过支撑底座对晶圆设备支撑稳定。通过支撑底座对晶圆设备支撑稳定。通过支撑底座对晶圆设备支撑稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种可移动的晶圆设备底座


[0001]本技术属于晶圆设备
，具体涉及一种可移动的晶圆设备底座。

技术介绍

[0002]晶圆被广泛应用于加工各种集成电路结构，而对晶圆所加工设备包括切割、划片、测量检测等，晶圆划片设备在对晶圆胚料划片加工时为了方便配合其他工序的加工，会对晶圆划片设备进行移动，而传统的晶圆划片设备底座为了保持对划片设备支撑的稳定，采用支撑腿对划片设备进行支撑，导致对晶圆划片设备移动的不便，而传统的可移动底座通过带有自锁结构的移动轮对设备移动后，通过自锁结构对底座锁定，而长时候后自锁结构有可能出现失灵的问题，导致自锁结构无法对底座与地面保持稳定支撑。
[0003]所以，为了方便对晶圆划片设备移动至合适的位置，本技术提供了一种方便移动的可移动的晶圆设备底座。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可移动的晶圆设备底座，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种可移动的晶圆设备底座，包括晶圆设备主体、支撑底座以及移动组件，所述支撑底座外侧的两个连接板上配合扭簧设有支撑板，所述晶圆设备主体设于支撑底座上，所述支撑板通过扭簧扭转与晶圆设备主体外侧面抵触限位；
[0007]所述移动组件包括设于支撑底座左右两侧的两个安装板、分别设于两个安装板上的液压缸、液压缸上液压杆末端连接的垂向移动板以及固定设于垂向移动板底端的万向滚轮，所述垂向移动板内侧设有贯穿支撑底座上垂向导槽的限位板，所述限位板与支撑底座内侧面贴合。
[0008]进一步的，所述支撑底座的顶面设有呈U型的限位挡板，所述晶圆设备主体底端的基座设于限位挡板内。
[0009]限位挡板用于对支撑底座支撑的晶圆设备主体底端限位支撑，保持支撑底座对晶圆设备主体支撑的稳定。
[0010]进一步的，所述限位挡板左右内侧的支撑弹簧末端设有与晶圆设备主体外侧壁抵紧的橡胶板。
[0011]橡胶板用于通过支撑弹簧的弹性支撑，对晶圆设备主体限定夹持在支撑底座上。
[0012]进一步的，所述垂向移动板上顶面的套筒与液压杆的末端套接，所述套筒通过手拧螺丝与液压杆末端固定。
[0013]液压缸以及液压杆需要拆卸时，通过手拧螺丝对垂向移动板与液压杆的连接松开，在不拆卸垂向移动板的状态下对液压杆或液压缸拆卸。
[0014]进一步的，所述垂向移动板底端至少设有两组万向滚轮。
[0015]两个垂向移动板的底端均设有两组万向滚轮，通过四个万向滚轮在垂向移动板下移与地面接触支撑时，保持对支撑底座支撑的平衡。
[0016]进一步的，所述支撑底座内中部设有比重块且支撑底座的底端设有橡胶缓冲垫。
[0017]橡胶缓冲垫用于在垂向移动板上移使支撑底座的底部与地面接触时，对支撑底板与地面呈缓冲接触。
[0018]本技术具有以下技术效果和优点：
[0019]该可移动的晶圆设备底座，通过支撑底座对晶圆设备主体底端的基座支撑，并在支撑底座上设置移动组件，晶圆设备主体底端的基座与支撑底座装配，具有可根据需要移动使用的设备与支撑底座装配，使用灵活性高；
[0020]移动组件通过支撑底座的左右两侧的液压杆末端与支撑底座上的垂向移动板连接，用于需要对晶圆设备主体移动至需要加工的位置时，通过液压缸的运行，液压杆伸展对垂向移动板支撑，使垂向移动板随着液压杆的推动下移，垂向移动板地面的万向滚轮与地面接触，通过万向滚轮与地面接触对支撑底座支撑脱离地面，从而实现对支撑底座上安装的晶圆设备主体进行移动，具有对晶圆设备主体根据使用需要移动方便的效果；并在移动至合适位置后，液压杆通过液压缸驱动复位，垂向移动板随着液压杆的复位上移，使支撑底座的底端与地面接触，万向滚轮脱离与地面的接触，保持支撑底座对晶圆设备支撑稳定。
附图说明
[0021]图1为本技术的结构示意图；
[0022]图2为本技术图1中移动轮与地面支撑的示意图；
[0023]图3为本技术图1中的A
‑
A剖面结构示意图。
[0024]图中：1、晶圆设备主体；2、支撑底座；3、安装板；4、连接板；5、支撑板；6、液压缸；7、液压杆；8、垂向移动板；9、万向滚轮；10、垂向导槽；11、限位板；12、限位挡板；13、支撑弹簧；14、橡胶板；15、套筒；16、比重块；17、橡胶缓冲垫。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术提供了如图1
‑
3所示的一种可移动的晶圆设备底座，包括晶圆设备主体1、支撑底座2以及移动组件，所述支撑底座2外侧的两个连接板4上配合扭簧设有支撑板5，连接板4用于对支撑板5的安装支撑，支撑板5用于在对晶圆设备主体1设于支撑底座2的上顶面时，支撑板5通过扭簧向下扭转呈坡面用于配合晶圆设备主体1移至限位挡板12内，并在移动后支撑板5随着扭簧的扭转作用力与晶圆设备主体1的外壁抵触，对晶圆设备主体1通过扭簧的扭转作用力限定在限位挡板12内；
[0027]所述晶圆设备主体1设于支撑底座2上，所述支撑底座2的顶面设有呈U型的限位挡板12，所述晶圆设备主体1底端的基座设于限位挡板12内。限位挡板12用于对支撑底座2支撑的晶圆设备主体1底端限位支撑，保持支撑底座2对晶圆设备主体1支撑的稳定。所述限位
挡板12左右内侧的支撑弹簧13末端设有与晶圆设备主体1外侧壁抵紧的橡胶板14。橡胶板14用于通过支撑弹簧13的弹性支撑，对晶圆设备主体1限定夹持在支撑底座2上。所述支撑板5通过扭簧扭转与晶圆设备主体1外侧面抵触限位；
[0028]所述移动组件包括设于支撑底座2左右两侧的两个安装板3、分别设于两个安装板3上的液压缸6、液压缸6上液压杆7末端连接的垂向移动板8以及固定设于垂向移动板8底端的万向滚轮9，所述垂向移动板8底端至少设有两组万向滚轮9。两个垂向移动板8的底端均设有两组万向滚轮9，通过四个万向滚轮9在垂向移动板8下移与地面接触支撑时，保持对支撑底座2支撑的平衡；
[0029]所述垂向移动板8上顶面的套筒15与液压杆7的末端套接，所述套筒15通过手拧螺丝与液压杆7末端固定。液压缸6以及液压杆7需要拆卸时，通过手拧螺丝对垂向移动板8与液压杆7的连接松开，在不拆卸垂向移动板8的状态下对液压杆7或液压缸6拆卸。所述垂向移动板8内侧设有贯穿支撑底座2上垂向导槽10的限位板11，所述限位板11与支撑底座2内侧面贴合。
[0030]所述支撑底座2内中部设有比重块16且支撑底座2的底端设有橡胶缓冲垫17。橡胶缓冲垫17用于在垂向移动板8上移使支撑底座2的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可移动的晶圆设备底座，包括晶圆设备主体（1）、支撑底座（2）以及移动组件，其特征在于：所述支撑底座（2）外侧的两个连接板（4）上配合扭簧设有支撑板（5），所述晶圆设备主体（1）设于支撑底座（2）上，所述支撑板（5）通过扭簧扭转与晶圆设备主体（1）外侧面抵触限位；所述移动组件包括设于支撑底座（2）左右两侧的两个安装板（3）、分别设于两个安装板（3）上的液压缸（6）、液压缸（6）上液压杆（7）末端连接的垂向移动板（8）以及固定设于垂向移动板（8）底端的万向滚轮（9），所述垂向移动板（8）内侧设有贯穿支撑底座（2）上垂向导槽（10）的限位板（11），所述限位板（11）与支撑底座（2）内侧面贴合。2.根据权利要求1所述的一种可移动的晶圆设备底座，其特征在于：所述支撑底座（2）的顶面设有呈U...

【专利技术属性】
技术研发人员：张辉，张玉林，尚华峰，
申请(专利权)人：无锡吉源众精密制造有限公司，
类型：新型
国别省市：