本实用新型专利技术提供了一种用于晶圆的遮光装置，包括：安装座，设置出气孔；遮光环，设置在安装座上；气路，设置在安装座内，气路与出气孔连通；其中，安装座不遮挡遮光环的通孔，气路能够将外部的气体通入出气孔，出气孔能够向晶圆喷射气体，以保证晶圆的退火光斑处的洁净度。基于本实用新型专利技术的技术方案，气路集成设置在遮光装置内，这样使得遮光装置具有双重功能，即遮光装置的遮光环能够对晶圆边缘处进行保护，避免退火过程中晶圆出现碎片的风险。通过遮光装置的气路和出气孔吹出洁净的气体，降低了对晶圆退火面的污染。进而满足了遮光装置的多功能要求，同时简化了整个激光退火装置的结构，从而方便激光退火装置的现场组装。而方便激光退火装置的现场组装。而方便激光退火装置的现场组装。
【技术实现步骤摘要】
用于晶圆的遮光装置
[0001]本技术涉及半导体设备的设计及制造
，特别地涉及一种用于晶圆的遮光装置。
技术介绍
[0002]目前，在半导体设备领域，当晶圆需要进行激光退火工序时，需要用激光对晶圆表面进行照射，激活晶圆内部的注入离子，由于晶圆的边缘结构强度较弱，当激光照射到晶圆边缘时，由于突发的热应力变形，晶圆容易出现碎片，所以需要遮光环对晶圆边缘进行保护。
[0003]然而，相关技术中的激光退火装置，其结构复杂，导致激光退火装置现场组装不便。
技术实现思路
[0004]针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种用于晶圆的遮光装置，解决了激光退火装置现场组装不方便的问题。
[0005]本技术的用于晶圆的遮光装置，包括：安装座，设置出气孔；遮光环，设置在安装座上；气路，设置在安装座内，气路与出气孔连通；其中，安装座不遮挡遮光环的通孔，气路能够将外部的气体通入出气孔，出气孔能够向晶圆喷射气体，以保证晶圆的退火光斑处的洁净度。
[0006]在一个实施方式中，气路包括：环形总路，沿遮光环的周向设置；轴向支路，轴向支路沿遮光环的轴向延伸设置；其中，轴向支路的一端与环形总路连通，其另一端与出气孔连通。通过本实施方式，环形总路能够将外部的气体导入轴向支路，进而通过出气孔喷向晶圆，从而实现了遮光装置的清洗功能。
[0007]在一个实施方式中，安装座的内壁面上开设有安装孔，安装孔与轴向支路连通，遮光装置还包括气路调节件，气路调节件设置在安装孔内，气路调节件的一端能够伸入轴向支路内调节轴向支路内气体的流量。通过本实施方式，通过将气路调节件的一端伸入轴向支路内，以调节轴向支路横截面的过流面积，这样实现了调节轴向支路内气体的流量，从而使得遮光装置的气路的流量可调。
[0008]在一个实施方式中，安装孔为螺纹孔，气路调节件与安装孔螺纹连接，通过旋拧气路调节件以调节出气孔的出气量。
[0009]在一个实施方式中，气路调节件包括顶丝和设置在顶丝端部的橡胶球头。通过本实施方式，橡胶球头具有密封功能，能够防止轴向支路内的气体从安装孔泄漏出，从而确保遮光装置的出气孔能够高效地吹出气体，以降低对晶圆退火面的污染。
[0010]在一个实施方式中，气路包括多个轴向支路，多个轴向支路沿遮光环的周向间隔设置，安装座的内壁面上开设有多个安装孔，多个安装孔与多个轴向支路一一对应地连通，遮光装置还包括多个气路调节件，多个气路调节件一一对应地设置在多个安装孔内。
[0011]在一个实施方式中，安装座的侧壁上开设有安装口，晶圆通过安装口侧向到达遮光环的下方。
[0012]在一个实施方式中，安装座上还设置有与气路连通的进气口，遮光装置还包括进气管，进气管与进气口连通。
[0013]在一个实施方式中，安装座的侧壁上还开设有避让口，避让口与安装口间隔设置，用于避让进气管。
[0014]在一个实施方式中，遮光环可拆卸地设置在安装座上。
[0015]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本技术的目的。
[0016]本技术提供的一种用于晶圆的遮光装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
[0017]气路集成设置在遮光装置内，这样使得遮光装置具有双重功能，即遮光装置的遮光环能够对晶圆边缘处进行保护，避免退火过程中晶圆出现碎片的风险。通过遮光装置的气路和出气孔吹出洁净的气体，降低了对晶圆退火面的污染。进而满足了遮光装置的多功能要求，同时简化了整个激光退火装置的结构，从而方便激光退火装置的现场组装。
附图说明
[0018]在下文中将基于实施例并参考附图来对本技术进行更详细的描述。其中：
[0019]图1显示了本技术的用于晶圆的遮光装置结构示意图；
[0020]图2显示了图1中的遮光装置的剖视图(以避让口的轴向对称面为剖面)；
[0021]图3显示了图2中的遮光装置的局部剖视图；
[0022]图4显示了图1中的气路调节件的局部剖视图；
[0023]图5显示了本技术的激光退火装置的结构示意图。
[0024]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
[0025]附图标记：
[0026]10、安装座；11、出气孔；12、通孔；13、安装口；14、避让口；15、安装孔；20、遮光环；30、气路；31、环形总路；32、轴向支路；40、气管；50、气路调节件；51、顶丝；52、橡胶球头；60、连通孔；100、遮光装置；200、片台；300、光源；400、机械手；500、晶圆。
具体实施方式
[0027]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0028]需要说明的是，本申请中的气体为清洁的惰性气体，如氮气。
[0029]如图1至图3所示，本技术提供了一种用于晶圆500的遮光装置100，其包括安装座10、遮光环20和气路30。
[0030]其中，安装座10上设置有出气孔11，遮光环20设置在安装座10上，气路30设置在安装座10内，气路30与出气孔11连通。安装座10不遮挡遮光环20的通孔12，气路30能够将外部的气体通入出气孔11，出气孔11能够向晶圆500喷射气体，以保证晶圆500的退火光斑处的洁净度。
[0031]上述设置中，气路30集成设置在遮光装置100内，这样使得遮光装置100具有双重
功能，即遮光装置100的遮光环20能够对晶圆500边缘处进行保护，避免退火过程中晶圆500出现碎片的风险。通过遮光装置100的气路30和出气孔11吹出洁净的气体，降低了对晶圆500退火面的污染。进而满足了遮光装置100的多功能要求，同时简化了整个激光退火装置的结构，从而方便激光退火装置的现场组装。
[0032]具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，气路30包括环形总路31和轴向支路32。
[0033]其中，环形总路31沿遮光环20的周向设置，轴向支路32沿遮光环20的轴向延伸设置，轴向支路32的一端与环形总路31连通，其另一端与出气孔11连通。
[0034]上述设置中，环形总路31能够将外部的气体导入轴向支路32，进而通过出气孔11喷向晶圆500，从而实现了遮光装置100的清洗功能。
[0035]具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，安装座10的内壁面上开设有安装孔15，安装孔15与轴向支路32连通，遮光装置100还包括气路调节件50，气路调节件50设置在安装孔15内，气路调节件50的一端能够伸入轴向支路32内调节轴向支路32内气体的流量。
[0036]上述设置中，通过将气路调节件50的一端伸入轴向支路32内，以调节轴向支路32横截面的过流面积，这样实现了调节轴向支路32内气体的流量，从而使得遮光装置100的气路30的流量可调。
[0037]具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，安装孔15为螺纹孔，气路调节件50与安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的遮光装置，其特征在于，包括：安装座，设置出气孔；遮光环，设置在所述安装座上；气路，设置在所述安装座内，所述气路与所述出气孔连通；其中，所述安装座不遮挡所述遮光环的通孔，所述气路能够将外部的气体通入所述出气孔，所述出气孔能够向所述晶圆喷射所述气体，以保证所述晶圆的退火光斑处的洁净度。2.根据权利要求1所述的用于晶圆的遮光装置，其特征在于，所述气路包括：环形总路，沿所述遮光环的周向设置；轴向支路，所述轴向支路沿所述遮光环的轴向延伸设置；其中，所述轴向支路的一端与所述环形总路连通，其另一端与所述出气孔连通。3.根据权利要求2所述的用于晶圆的遮光装置，其特征在于，所述安装座的内壁面上开设有安装孔，所述安装孔与所述轴向支路连通，所述遮光装置还包括气路调节件，所述气路调节件设置在所述安装孔内，所述气路调节件的一端能够伸入所述轴向支路内调节所述轴向支路内气体的流量。4.根据权利要求3所述的用于晶圆的遮光装置，其特征在于，所述安装孔为螺纹孔，所述气路调节件与所述安装孔螺纹连接，通过旋拧所述气路调节件以调节所述出气孔的出气量。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：胡旭昭，侯晓弈，陈静，孙金召，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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