本发明专利技术公开一种光路调谐装置及方法，涉及激光技术领域，以在较低误差的情况下，对环形腔的光路进行调节，从而保证激光质量满足要求。所述装置中，当光线转出模组处在光线转出模式时，其位于所述放大腔的传输光路，用于将放大种子光转出至光学测量单元；所述光学测量单元用于测量放大种子光的光学信息，并发送至控制设备；控制设备用于根据接收的光学信息确定放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，根据放大种子光的特征参数和所述预设特征参数，调谐放大种子光相应的可调反射件的姿态角。所述方法应用上述技术方案所提的装置执行。本发明专利技术提供的光路调谐装置用于激光光路调谐中。路调谐中。路调谐中。
【技术实现步骤摘要】
一种光路调谐装置及方法
[0001]本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种光路调谐装置及方法。
技术介绍
[0002]随着光刻节点即将进入32nm节点，ArF准分子光刻已经成为主流，并有望应用到更低的22nm节点和16nm节点。随着光刻节点的降低，可以采用环形腔技术保证ArF准分子激光器具有更加稳定的窄谱线宽度、更大的输出功率、更高的剂量稳定性和更长的气体寿命。由此可见，准确控制激光束穿过放大腔的增益区，决定了环形腔技术的成败。
[0003]现有技术中，准分子激光器的光路较长，模块化程度高，各环节耦合度下降，导致环形腔的光路传输调整难度比较高。虽然也引入了激光引导方式调试环形腔的光路传输，但是操作人员难以控制其中存在的各种误差，到不到预期效果。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种光路调谐装置及方法，以在较低误差的情况下，对环形腔的光路进行调节，从而保证激光质量满足要求。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供一种光路调谐装置，应用于具有放大腔和至少一级可调反射件的激光传输系统，每级所述可调反射件用于向放大腔反射生成相应放大种子光的入射种子光；所述光路调谐装置包括：光线转出模组、光学测量单元以及与所述光学测量单元通信的控制设备；
[0006]当所述光线转出模组处在光线转出模式时，所述光线转出模组位于所述放大腔的传输光路，用于将所述放大腔出射的放大种子光转出至所述光学测量单元；所述光学测量单元用于测量所述放大种子光的光学信息，向所述控制设备发送所述光学信息；
[0007]所述控制设备用于接收所述光学测量单元发送的所述光学信息，根据所述光学信息确定所述放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，根据所述放大种子光的特征参数和所述预设特征参数，调谐所述放大种子光相应的可调反射件的姿态角。
[0008]与现有技术相比，本专利技术提供的光路调谐装置中，当光线转出模组处在光线转出模式时，光线转出模组位于放大腔的传输光路，使得光线转出模组可以将放大腔出射的放大种子光转出至光学测量单元，从而保证光学测量单元可以测量放大种子光的光学信息。同时，由于控制设备与光学测量单元通信，使得控制设备可以接收光学测量单元发送的光学信息，因此，控制设备根据光学测量单元发送的光学信息确定放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，可以根据放大种子光的特征参数和预设特征参数，调谐放大种子光相应的可调反射件的姿态角。在此之后。该可调反射件向放大腔反射相应的入射种子光后，从放大腔出射的相应放大种子光的光学信息满足预设特征参数。由此可见，本专利技术提供的光路调谐装置以可调反射件的调试为辅助，将重点放在放大种子光的特征参数上，使得放大种子光的光学信息确定的放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，根据放大种子光的特征参数和预设特征参数调整相应可调反射件的姿态角，从而确保经过
激光传输系统的输出光能量值和光束质量等满足用户要求。不仅如此，以光线转出模组将放大种子光转出激光传输系统，直接利用光学测量单元测量光线，还可以避免采用辅助可见激光引导光路调试光路所产生的误差，并减少所引起的光学元件误差。
[0009]本专利技术还提供一种光路调谐方法，应用于具有激光传输系统和光路调谐装置的光路调谐系统；所述激光传输系统包括放大腔以及至少一级可调反射件，每级所述可调反射件用于向放大腔提供生成相应放大种子光的入射种子光；所述光路调谐装置具有光线转出模组、光学测量单元和控制设备；所述光路调谐方法包括：
[0010]当所述光线转出模组处在光线转出模式时，所述光线转出模组将所述放大腔出射的放大种子光转出至所述光学测量单元；所述光学测量单元测量所述放大种子光的光学信息，向所述控制设备发送所述光学信息；
[0011]所述控制设备接收所述光学测量单元发送的所述光学信息，根据所述光学信息确定所述放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，根据所述放大种子光的特征参数和所述预设特征参数，调谐所述放大种子光相应的可调反射件的姿态角。
[0012]与现有技术相比，本专利技术提供的光路调谐方法的有益效果与上述技术方案所述光路调谐装置的有益效果相同，在此不做赘述。
[0013]本专利技术还提供一种光路调谐系统，包括：激光传输系统以及至少一个上述技术方案所述光路调谐装置；所述激光传输系统包括放大腔以及至少一级可调反射件，每级所述可调反射件用于向放大腔提供生成相应放大种子光的入射种子光。
[0014]与现有技术相比，本专利技术提供的光路调谐系统的有益效果与上述技术方案所述光路调谐装置的有益效果相同，在此不做赘述。
[0015]本专利技术还提供一种准分子激光设备，包括上述技术方案所述光路调谐装置，所述光路调谐装置包括的光线转出模组位于所述准分子激光器的机壳内。
[0016]与现有技术相比，本专利技术提供的准分子激光设备的有益效果与上述技术方案所述光路调谐装置的有益效果相同，在此不做赘述。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为相关技术中环形腔结构的准分子激光设备结构示意图；
[0019]图2为本专利技术实施例提供的光路调谐系统的结构示意图；
[0020]图3为本专利技术实施例提供的光路调谐装置的结构示意图；
[0021]图4为本专利技术实施例中光斑尺寸的结构示意图；
[0022]图5为本专利技术实施例提供的光路调谐方法的流程图。
具体实施方式
[0023]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另
一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0025]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光路调谐装置，其特征在于，应用于具有放大腔和至少一级可调反射件的激光传输系统，每级所述可调反射件用于向放大腔反射入射种子光，所述放大腔用于根据所述入射种子光出射相应放大种子光；所述光路调谐装置包括：光线转出模组、光学测量单元以及与所述光学测量单元通信的控制设备；当所述光线转出模组处在光线转出模式时，所述光线转出模组位于所述放大腔的传输光路，用于将所述放大腔出射的放大种子光转出至所述光学测量单元；所述光学测量单元用于测量所述放大种子光的光学信息，向所述控制设备发送所述光学信息；所述控制设备用于接收所述光学测量单元发送的所述光学信息，根据所述光学信息确定所述放大种子光的特征参数不满足预设特征参数的情况下，根据所述放大种子光的特征参数和所述预设特征参数，调谐所述放大种子光相应的可调反射件的姿态角。2.根据权利要求1所述的光路调谐装置，其特征在于，所述光线转出模组为可移动反射元件；所述可移动反射元件包括：驱动机构以及设在所述驱动机构上的反射元件；其中，所述驱动机构为丝杆螺母机构或直线导轨机构；和/或，所述驱动机构的驱动方向与所述放大腔的放大种子光的传播方向大于0
°
。3.根据权利要求1所述的光路调谐装置，其特征在于，所述控制设备与所述光线转出模组通信；当所述光线转出模组处于空闲模式时，所述光线转出模组位于所述放大腔的传输光路之外的区域；所述控制设备用于控制所述光线转出模组在所述空闲模式和所述光线转出模式之间转换。4.根据权利要求1～3任一项所述的光路调谐装置，其特征在于，所述光学测量单元包括光探测器以及设在所述光探测器的探测面上的成像镜头，所述光探测器与所述控制设备通信；其中，所述成像镜头为双远心镜头；当所述光线转出模组处在光线转出模式时，所述光线转出模组位于所述成像镜头的景深范围内；和/或，所述光探测器为热释电探测器、磁光效应传感器中的一种，所述控制设备具有显示界面。5.根据权利要求1～3任一项所述的光路调谐装置，其特征在于，所述光路调谐装置还包括用于集成在所述激光传输系统上的透光窗口，所述透光窗口位于所述光线转出模组与所述光学测量单元之间，所述透光窗口具有形成抗反射膜的透光镜片。6.根据权利要求1～3任一项所述的光路调谐装置，其特征在于，所述控制设备用于根据所述放大种子光的特征参数和所述预设特征参数，间歇式调谐所述放大种子光相应的可调反射件的姿态角。7.根据权利要求1～3任一项所述的光路调谐装置，其特征在于，所述至少一级可调反射件包括第一级可调反射件和第二级可调反射件，所述放大腔具有第一透光端和第二透光端，所述第一级可调反射件靠近所述第一透光端，所述第二级可调反射件靠近所述第二透光端；所述第一级可调反射件用于将种子光作为入射种子光反射至所述放大腔，使得所述放大腔出射一次放大种子光；所述第二级可调反射将用于接收所述放大腔出射的一次放大种子光，将所述一次放大
种子光作为入射种子光反射至所述放大腔，使得所述放大腔出射二次放大种子光；当所述第二级可调反射件包括多个第二级可调反射件的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张艳茹，常庆麒，孔令浩，徐向宇，江锐，李梦龙，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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